特許第6471371号(P6471371)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6471371モリブデンシルシクロペンタジエニル錯体、シリルアリル錯体、及び、薄膜堆積におけるその使用
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  • 特許6471371-モリブデンシルシクロペンタジエニル錯体、シリルアリル錯体、及び、薄膜堆積におけるその使用 図000017
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