特許6478879オゾン供給装置、オゾン供給方法、荷電粒子ビーム描画システム、および荷電粒子ビーム描画方法

発明の名称　オゾン供給装置、オゾン供給方法、荷電粒子ビーム描画システム、および荷電粒子ビーム描画方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 556 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 571 位（40件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6478879

公報発行日　2019年3月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6478879

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