特許 6486770 切削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6486770

(24)【登録日】2019年3月1日

(45)【発行日】2019年3月20日

(54)【発明の名称】切削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/12 20060101AFI20190311BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20190311BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20190311BHJP

   B24B 53/00 20060101ALI20190311BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20190311BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20190311BHJP

【ＦＩ】

   B24B53/12

   B24B41/06 Z

   B24B27/06 M

   B24B53/00 K

   H01L21/304 601Z

   H01L21/78 F

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-102531(P2015-102531)

(22)【出願日】2015年5月20日

(65)【公開番号】特開2016-215314(P2016-215314A)

(43)【公開日】2016年12月22日

【審査請求日】2018年3月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100132067

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 喜雅

(74)【代理人】

【識別番号】100137903

【弁理士】

【氏名又は名称】菅野 亨

(74)【代理人】

【識別番号】100150304

【弁理士】

【氏名又は名称】溝口 勉

(72)【発明者】

【氏名】松山 敏文

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−１６４５３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０９８０２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２１００３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２３３７９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１０３２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１４４１８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２０２２６５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ５３／００ − ５３／１２

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２３Ｑ ３／０２ − ３／０８

Ｂ２５Ｂ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の被加工物を吸引保持する吸引面を有する保持テーブルと、該保持テーブルで吸引保持する被加工物に切削水を供給させつつ切削ブレードで被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、
被加工物を吸引保持する該保持テーブルの吸引力を維持させる吸引力維持手段を含み、
該吸引力維持手段は、
該吸引面を第１の吸引源に連通させる第１の配管と、該第１の配管の途中で、該第１の吸引源に向かう上側の流出口と第２の吸引源に向かう下側の流出口とに分岐する分岐管と、該下側の流出口と該第２の吸引源とを連通させる第２の配管と、を備え、
該第１の吸引源と該第２の吸引源とは、エジェクタであって、エアを供給する供給口と、エアを排出する排出口と、該供給口から該排出口にエアを流通させる事で負圧を発生する負圧発生部に連通する吸引口と、を備え、
該分岐管の断面積を該第１の配管の断面積より大きく形成させ、該第１の配管から該第１の配管よりも断面積が大きい該分岐管に移ったときに気体と液体を含む流体の流速が遅くなると共に該分岐管の形状によって、該吸引面から吸引された該流体のうちの、該気体は該分岐管の該上側の流出口に向かって進み該第１の吸引源で吸引させ、該液体は該分岐管の該下側の流出口に向かって下降して該第２の吸引源で吸引させ、該第２の吸引源の該排出口から排水させ、該吸引面の吸引力を維持させることを特徴とする切削装置。

【請求項2】

該分岐管が、該第１の配管の水平部分の途中で、該第１の吸引源に向かう上側の流出口と第２の吸引源に向かう該第１の配管の水平部分に対し垂直部分を有し該第１の配管の下側の流出口とに分岐することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ドレッサーボードを用いて切削ブレードのドレスを行う切削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

切削装置では、切削加工中に定期的に切削ブレードをドレスして切削ブレードの切削力を維持させている。切削ブレードのドレスは、保持テーブル上に吸引保持された被加工物としてのドレッサーボードの表面に切削ブレードを切り込ませて行われる（例えば、特許文献１参照）。ドレッサーボードの表面に切削ブレードで切削溝が形成されると、ドレッサーボードの表裏の応力バランスに崩れが生じてドレッサーボードの一方の面（上面）が凹状に反る。ドレッサーボードの反りによって保持テーブルの上面とドレッサーボードの下面とに隙間が形成されて、この隙間から切削水が浸入して吸引力が低下する。

【0003】

このため、保持テーブルの上面とドレッサーボードの下面に隙間が形成されないように、切削溝の形成に伴うドレッサーボードの反りを保持テーブルで規制する構成が検討されている。ドレッサーボードの反りを抑える構成としては、保持テーブル上でドレッサーボードの両端を機械的に押えてドレッサーボードの反りを規制する構成が検討されている（例えば、特許文献２参照）。同様に、保持テーブル上でドレッサーボードの一端を機械的に押えると共にドレッサーボードの他端側を強く吸引保持してドレッサーボードの反りを規制する構成も検討されている（例えば、特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３−２２７１３号公報

【特許文献2】特開２０１１−２５８６８９号公報

【特許文献3】特許第５３５０９０８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献２、３のようにドレッサーボードの反りを機械的に規制する構成では、保持テーブルの構成が複雑になっていた。ドレッサーボードの反りを抑えるために、強力な吸引ポンプを使用することも考えられるが、大きな設備が必要となるという問題があった。また、大きな吸引ポンプを用いずに吸引力を維持させるために、隙間から浸入した切削水をタンクに溜めて、定期的に排水する構成も考えられる。通常、センサー等で切削水を吸引しているかを検出して、バルブを切換えることでタンクから切削水を排水するが、バルブの切換えの僅かなタイミングで吸引力が低下するという問題がある。

【0006】

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、保持テーブル上の被加工物に反りが生じても、被加工物に対する吸引力を維持できる切削装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の切削装置は、板状の被加工物を吸引保持する吸引面を有する保持テーブルと、該保持テーブルで吸引保持する被加工物に切削水を供給させつつ切削ブレードで被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、被加工物を吸引保持する該保持テーブルの吸引力を維持させる吸引力維持手段を含み、該吸引力維持手段は、該吸引面を第１の吸引源に連通させる第１の配管と、該第１の配管の途中で、該第１の吸引源に向かう上側の流出口と第２の吸引源に向かう下側の流出口とに分岐する分岐管と、該下側の流出口と該第２の吸引源とを連通させる第２の配管と、を備え、該第１の吸引源と該第２の吸引源とは、エジェクタであって、エアを供給する供給口と、エアを排出する排出口と、該供給口から該排出口にエアを流通させる事で負圧を発生する負圧発生部に連通する吸引口と、を備え、該分岐管の断面積を該第１の配管の断面積より大きく形成させ、該第１の配管から該第１の配管よりも断面積が大きい該分岐管に移ったときに気体と液体を含む流体の流速が遅くなると共に該分岐管の形状によって、該吸引面から吸引された該流体のうちの、該気体は該分岐管の該上側の流出口に向かって進み該第１の吸引源で吸引させ、該液体は該分岐管の該下側の流出口に向かって下降して該第２の吸引源で吸引させ、該第２の吸引源の該排出口から排水させ、該吸引面の吸引力を維持させることを特徴とする。

【0008】

この構成によれば、分岐管の断面積を第１の配管の断面積よりも大きく形成して断面積に違いを生じさせることで、保持テーブルの吸引面から吸引された気体と液体の流速が第１の配管から分岐管に移ったときに遅くなる。この流速の低下により、気体は分岐管の上側の流出口に向かって進み、液体は自重によって分岐管の下側の流出口に向かって下降するため、気体と液体とが適切に分離される。分岐管で分離した液体が第２の吸引源に吸引されることで、保持テーブルの吸引面から気体と共に液体が吸引された場合であっても、被加工物を保持テーブルに吸引保持させる第１の吸引源による吸引力が維持される。よって、吸引力の強いポンプ等の大きな吸引設備を用いる必要がなく、第１の吸引源及び第２の吸引源に比較的吸引力の弱いエジェクタを用いることできる。よって、被加工物の吸引設備を小型化することができる。
また、本発明の切削装置においては、該分岐管が、該第１の配管の水平部分の途中で、該第１の吸引源に向かう上側の流出口と第２の吸引源に向かう該第１の配管の水平部分に対し垂直部分を有し該第１の配管の下側の流出口とに分岐する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、分岐管の断面積を第１の配管の断面積よりも大きく形成して、気体と液体とを適切に分離することで、保持テーブルの吸引面から気体と共に液体が吸引されても被加工物に対する吸引力を維持できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。

【図2】本実施の形態に係る保持テーブル及び吸引経路の模式図である。

【図3】本実施の形態に係る切削装置によるドレス動作の遷移図である。

【図4】本実施の形態に係るドレッサーボードに対するドレス順序の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る切削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係る切削装置は、図１に示す構成に限定されない。ここでは、一対の切削ブレードを備えた切削装置を例示するが、この構成に限定されない。本発明は、被加工物としてドレッサーボードを用いて切削ブレードのドレッシングを行う切削装置であれば、どのような切削装置にも適用可能である。

【0012】

図１に示すように、切削装置１は、切削ブレード５２を有する一対の切削手段５とワークＷを保持したチャックテーブル３とを相対移動させてワークＷを切削するように構成されている。ワークＷは、ダイシングテープ９７を介してリングフレーム９８に支持された状態で切削装置１に搬入される。なお、ワークＷは、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板に半導体デバイスが形成された半導体ウェーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア系の無機材料基板に光デバイスが形成された光デバイスウェーハでもよい。なお、ワークＷは、デバイス形成前の半導体基板や無機材料基板でもよい。

【0013】

切削装置１の基台２の上面中央は、Ｘ軸方向に延在するように矩形状に開口されており、この開口を覆うように移動板３１及び防水カバー３２が設けられている。移動板３１上には、Ｚ軸回りに回転可能なチャックテーブル３が設けられている。防水カバー３２及び移動板３１の下方には、チャックテーブル３をＸ軸方向に移動させる加工送り手段（不図示）が設けられている。チャックテーブル３の上面にはワークＷを保持する保持面３３が形成されている。チャックテーブル３の周囲には、ワークＷの周囲のリングフレーム９８を挟持固定する４つのクランプ部３４が設けられている。

【0014】

また、移動板３１上のチャックテーブル３の近傍には、吸引面４１を有する保持テーブル４が設けられており、吸引面４１には板状の被加工物としてのドレッサーボード９１が吸引保持されている。保持テーブル４の吸引面４１は、多数の吸引溝や吸引孔が形成されており、吸引面４１に生じる負圧によってドレッサーボード９１が吸引保持される。ドレッサーボード９１は、グリーンカーボランダム（ＧＣ）、ホワイトアランダム（ＷＡ）系の砥粒をレジンボンド等のボンド剤で上面視矩形の板状に固めて成形される。ドレッサーボード９１に切削ブレード５２を切り込ませることで切削ブレード５２がドレスされる。

【0015】

また、基台２の上面には、Ｘ軸方向に延在する開口を跨ぐように立設した門型の柱部２１が設けられている。門型の柱部２１には、一対の切削手段５をＹ軸方向に移動させるインデックス送り手段７と、一対の切削手段５をＺ軸方向に移動させる切り込み送り手段８とが設けられている。インデックス送り手段７は、柱部２１の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール７１と、一対のガイドレール７１にスライド可能に設置されたモータ駆動の一対のＹ軸テーブル７２とを有している。切り込み送り手段８は、各Ｙ軸テーブル７２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール８１と、一対のガイドレール８１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル８２とを有している。

【0016】

各Ｚ軸テーブル８２の下部には、ワークＷを切削する切削手段５が設けられている。また、各Ｙ軸テーブル７２の背面側には、図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ７３が螺合されている。また、各Ｚ軸テーブル８２の背面側には、図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ８３が螺合されている。Ｙ軸テーブル７２用のボールネジ７３、Ｚ軸テーブル８２用のボールネジ８３の一端部には、それぞれ駆動モータ７４、８４が連結されている。これら駆動モータ７４、８４によりボールネジ７３、８３が回転駆動されることで、一対の切削手段５がガイドレール７１、８１に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。

【0017】

一対の切削手段５は、ハウジング５１から突出したスピンドル（不図示）の先端に切削ブレード５２を回転可能に装着して構成される。切削ブレード５２は、例えば、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドで固めて円板状に成形されている。また、切削手段５のハウジング５１には、ワークＷの上面を撮像する撮像手段５３が設けられており、撮像手段５３の撮像画像に基づいてワークＷに対して切削ブレード５２がアライメントされる。一対の切削手段５は、切削ノズル（不図示）からワークＷに切削水を噴射しながら、切削ブレード５２でワークＷを切削する。

【0018】

このように構成された切削装置１では、切削ブレード５２の切削に寄与した箇所から消耗し始めて切削ブレード５２の先端形状が崩れるので、定期的に切削ブレード５２の先端に対してドレッサーボード９１を用いてドレスが実施される。切削ブレード５２のドレスは、保持テーブル４の吸引面４１で吸引保持するドレッサーボード９１に切削水を供給させつつ、高速回転した切削ブレード５２でドレッサーボード９１を切削することで行われる。これにより、切削ブレード５２が目立てされると共に、切削加工によって消耗した切削ブレード５２の先端形状が整えられる。

【0019】

このとき、ドレッサーボード９１と保持テーブル４の間には、砥粒の凹凸によって微細な隙間が空けられているが、微量の切削水が進入するだけであり、保持テーブル４の吸引力に悪影響を及ぼすことがない。しかしながら、ドレスが繰り返されてドレッサーボード９１に凹状に反りが生じると、ドレッサーボード９１と保持テーブル４の間に比較的大きな隙間が空けられて気体と共に切削水も吸引されて吸引力を維持できないおそれがある。このため、ドレッサーボード９１の反りを抑えて保持テーブル４内への液体の進入を防いで吸引力を維持する構成が検討されているが、保持テーブル４が複雑な構成となってしまう。

【0020】

そこで、本発明者は、ドレッサーボード９１が反った状態でも、ドレッサーボード９１に対する吸引力を維持する構成を検討した。切削装置１では、吸引面４１から吸引源に向かう管路の途中にＴ字形状の分岐管６１（図２参照）を設けて気体の通る経路と切削水が通る経路を分け、一方の吸引源で気体を吸引してドレッサーボード９１を保持すると共に、他方の吸引源で切削水を排水して吸引力の低下を抑えるようにしている。これにより、保持テーブル４から気体と共に液体が吸引されても、保持テーブル４の吸引力を維持できるため、ドレッサーボード９１が反った状態でも、保持テーブル４にドレッサーボード９１を吸引保持し続けることができる。

【0021】

以下、保持テーブルの吸引経路について詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係る保持テーブル及び吸引経路の模式図である。なお、本実施の形態に係る保持テーブル及び吸引経路はこの構成に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。

【0022】

保持テーブル４の下方には、ドレッサーボード９１に対する保持テーブル４の吸引力を維持させる吸引力維持手段６が設けられている。吸引力維持手段６は、保持テーブル４の吸引面４１を第１の吸引源６４に連通させる第１の配管６５と、第１の配管６５の途中で第１の吸引源６４に向かう上側の流出口６２と第２の吸引源６６に向かう下側の流出口６３とに分岐するＴ字形状の分岐管６１と、下側の流出口６３と第２の吸引源６６とを連通させる第２の配管６７とを備えている。すなわち、第１の配管６５の途中に設けた分岐管６１によって、第１の吸引源６４に向かう吸引経路と第２の吸引源６６に向かう吸引経路に分岐されている。

【0023】

第１、第２の吸引源６４、６６は、いわゆるエジェクタであり、供給口１１ａ、１５ａから供給されたエアが排出口１１ｂ、１５ｂから排出される。供給口１１ａ、１５ａにはそれぞれバルブ１２、１６を介してエア供給源１３、１７が接続されており、排出口１１ｂ、１５ｂにはそれぞれ排気ボックス１４、１８が接続されている。また、供給口１１ａ、１５ａと排出口１１ｂ、１５ｂの中間部分には、断面積を狭めて供給口１１ａ、１５ａから排出口１１ｂ、１５ｂにエアを流通させて負圧を発生する負圧発生部１１ｃ、１５ｃが形成されている。第１、第２の吸引源６４、６６の側面には、負圧発生部１１ｃ、１５ｃに連通する吸引口１１ｄ、１５ｄが形成されている。

【0024】

第１の配管６５の吸引路は、吸引口１１ｄを通じて第１の吸引源６４の負圧発生部１１ｃに連通している。エア供給源１３から供給されたエアが供給口１１ａから排出口１１ｂに流れることで、吸引口１１ｄを通じて第１の配管６５の吸引路から流体が引き寄せられる。同様に、第２の配管６７の吸引路は、吸引口１５ｄを通じて第２の吸引源６６の負圧発生部１５ｃに連通している。エア供給源１７から供給されたエアが供給口１５ａから排出口１５ｂに流れることで、吸引口１５ｄを通じて第２の配管６７の吸引路から流体が引き寄せられる。排出口１１ｂ、１５ｂから排出された流体は、排気ボックス１４、１８のフィルタによって流体に混入する塵や水分が捕集される。

【0025】

このように、第１、第２の配管６５、６７の吸引路が負圧にされることで、保持テーブル４の吸引面４１に吸引力が発生する。分岐管６１の断面積Ｓ１は、第１の配管６５の断面積Ｓ２より大きく形成されている。分岐管６１の断面積と第１の配管６５の断面積の違いによって、保持テーブル４の吸引面４１から吸引された流体が第１の配管６５から分岐管６１に移ったときに流体の流速が遅くなる。よって、ドレッサーボード９１に反りが生じて保持テーブル４の吸引面４１からエア（気体）と切削水（液体）を含む流体が吸引されても、分岐管６１での流体の流速の低下によってエアと切削水とが適切に分離される。

【0026】

そして、分岐管６１の分岐形状によって、吸引面４１から吸引されたエアは分岐管６１の上側の流出口６２に向かって進み、吸引面４１から吸引された切削水は分岐管６１の下側の流出口６３に向かって自重によって下降する。分岐管６１で分離された切削水は第２の吸引源６６に吸引されて第２の配管６７から排出されることで、第１の吸引源６４による吸引面４１の吸引力が維持される。よって、ドレッサーボード９１に反りが生じても（図中２点鎖線）、第１の吸引源６４による吸引面４１の吸引力が低下することがなく、保持テーブル４にドレッサーボード９１を吸引保持し続けることが可能になっている。

【0027】

次に図３及び図４を参照して、ドレッサーボードを用いた切削ブレードのドレスについて詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係るドレス動作の遷移図である。図４は、本実施の形態に係るドレッサーボードに対する切削順序の説明図である。

【0028】

図３Ａに示すように、バルブ１２、１６が開かれてエア供給源１３、１７からエアが供給され、第１、第２の吸引源６４、６６によって第１、第２の配管６５、６７内の流体が引き込まれる。第１、第２の吸引源６４、６６によって保持テーブル４の吸引面４１に負圧が発生され、保持テーブル４上のドレッサーボード９１が吸引面４１に吸引保持される。そして、切削ブレード５２によってドレッサーボード９１の一端側から切り込まれて切削溝９２が形成される。切削ブレード５２によるドレッサーボード９１に対する切り込みによって、切削ブレード５２の外周面が目立てられると共に、切削ブレード５２の先端形状が整えられる。

【0029】

ドレッサーボード９１には、切削ブレード５２による切り込みによって切削溝９２が形成されるが、この切削溝９２がドレッサーボード９１の表面側にだけ形成されることでドレッサーボード９１の表裏の応力バランスが崩れ始めている。しかしながら、このドレス動作の初期段階では、ドレッサーボード９１の表面側の収縮力よりも、ドレッサーボード９１自体の剛性や吸引面４１による吸引力が強いため、ドレッサーボード９１が反ることなく保持テーブル４上に保持される。よって、吸引面４１を通じて第１、第２の吸引源６４、６６に切削水が引き込まれることがない。

【0030】

図３Ｂに示すように、切削ブレード５２によるドレッサーボード９１に対する切り込みが繰り返されるにつれて、ドレッサーボード９１の表面側の収縮力が大きくなる。ドレッサーボード９１の表面側の収縮力がドレッサーボード９１自体の剛性や吸引面４１による吸引力よりも強くなることでドレッサーボード９１の応力バランスが完全に崩れて、ドレッサーボード９１の一端側に反りが発生する。これにより、保持テーブル４の吸引面４１とドレッサーボード９１の下面との間に隙間が形成されて、この隙間から破線矢印に示すエアと実線矢印に示す切削水を含む流体が吸引面４１に吸引される。

【0031】

吸引面４１から吸引された流体は、保持テーブル４の内部流路４２を通り、第１の配管６５の途中に設けられた分岐管６１に送られる。分岐管６１の流路の断面積は第１の配管６５の流路の断面積よりも大きく形成されており、第１の配管６５から分岐管６１に流体が入り込んだときに流体の速度が低下する。そして、流体内のエアは分岐管６１を直進して上側の流出口６２から第１の吸引源６４に吸引され、流体内の切削水は分岐管６１で自重によって下方に引き寄せられて下側の流出口６３から第２の吸引源６６に吸引される。このようにして、分岐管６１においてエアと切削水とが適切に分離されて、それぞれ別々の吸引路で吸引される。

【0032】

このように、第２の吸引源６６に主に切削水を吸引させて、第１の吸引源６４にはエアを吸引させることで、第１の吸引源６４による吸引力の低下を抑えている。よって、ドレッサーボード９１に反りが生じて保持テーブル４の吸引面４１からエアと切削水が吸引された場合であっても、切削水は第２の吸引源６６に吸引させて第１の吸引源６４にエアを吸引させ続けることができる。よって、吸引源として吸引ポンプ等の吸引力の強い吸引設備を設ける必要がなく、比較的吸引力の弱いエジェクタを用いてドレッサーボード９１を吸引保持することができる。

【0033】

第１、第２の吸引源６４、６６として同一のエジェクタを使用してもよいし、第１、第２の吸引源６４、６６として吸引力の異なるエジェクタを使用してもよい。例えば、第１の吸引源６４として既存のエジェクタを使用して、第２の吸引源６６として少なくとも切削水を吸引可能な吸引力を有するエジェクタを使用してもよい。よって、第２の吸引源６６として、第１の吸引源６４よりも吸引力が弱い小型のエジェクタを使用することも可能である。このような構成であっても、第１の吸引源６４の吸引力の低下が抑えられるため、ドレッサーボード９１が反った場合でも適切に吸引保持し続けることができる。

【0034】

続いて、ドレッサーボード９１に対する切削ブレード５２のドレス順序について説明する。図４Ａは、ドレッサーボード９１の中央から両側に向かって、ドレッサーボード９１を左右バランスよくドレスに使用する場合を示している。この場合、ドレッサーボード９１の中央から切り込みを行い、ドレッサーボード９１の切削溝９２が左右一方に偏らないようにすることで、ドレッサーボード９１の表面側の収縮力が部分的に強くならないようにしている。しかしながら、ドレッサーボード９１に多数の切削溝９２が形成されることで、ドレッサーボード９１の両端に小さな反りが生じて、保持テーブル４とドレッサーボード９１の間に隙間が形成される。

【0035】

保持テーブル４とドレッサーボード９１の間に隙間が形成されても、ドレッサーボード９１を吸引面４１に吸引保持することができるが、ドレッサーボード９１に反りが生じた箇所を切削ブレード５２のドレスに使用することはできない。すなわち、このドレス順序では、切削ブレード５２に切り込まれていないドレッサーボード９１の両端側の領域Ａ１を、切削ブレード５２のドレスに使用することができない。よって、切削ブレード５２のドレスに使用可能な残りの領域は、領域Ａ１の内側の領域Ａ２に限定されてしまう。このようなドレス順序ではドレッサーボード９１を有効利用することはできない。

【0036】

図４Ｂは、板状のドレッサーボード９１の一端側から順にドレスに使用する場合を示している。この場合、ドレッサーボード９１の一端側から切り込みを行い、ドレッサーボード９１の切削溝９２が一端側に集中的に形成される。このため、早い段階でドレッサーボード９１の応力バランスが崩れて、ドレッサーボード９１の一端側に大きな反りが生じて、保持テーブル４の吸引面４１とドレッサーボード９１の下面との間に隙間が形成される。なお、ドレッサーボード９１の一端側には切削溝９２が既に形成されており、切削ブレード５２のドレスに使用することはない。

【0037】

上記したように、保持テーブル４とドレッサーボード９１の間に隙間が形成されても、ドレッサーボード９１を吸引面４１に吸引保持することができる。このとき、ドレッサーボード９１に反りが生じた箇所は、既に切削ブレード５２のドレスに使用した箇所であり、切削ブレード５２のドレスに使用していない箇所には反りが生じていない。すなわち、このドレス順序では、ドレッサーボード９１の既に切削溝９２が形成した領域Ａ３に反りが生じるため、反りが生じていない残りの領域Ａ４を切削ブレード５２のドレスに使用することができる。このようなドレス順序によりドレッサーボード９１を有効活用することができる。

【0038】

本実施の形態のように、ドレッサーボード９１が保持テーブル４上で反ることを前提とした構成では、図４Ａに示すドレス順序よりも図４Ｂに示すドレス順序でドレスすることで、ドレッサーボード９１の全体を有効活用することが可能になっている。

【0039】

以上のように、本実施の形態に係る切削装置１では、分岐管６１の断面積を第１の配管６５の断面積よりも大きく形成して断面積に違いを生じさせることで、保持テーブル４の吸引面４１から吸引されたエアと切削水の流速が第１の配管６５から分岐管６１に移ったときに遅くなる。この流速の低下により、エアは分岐管６１の上側の流出口６２に向かって進み、切削水は自重によって分岐管６１の下側の流出口６３に向かって下降するため、エアと切削水とが適切に分離される。分岐管６１で分離した切削水が第２の吸引源６６に吸引されることで、保持テーブル４の吸引面４１からエアと共に切削水が吸引された場合であっても、ドレッサーボード９１を保持テーブル４に吸引保持させる第１の吸引源６４による吸引力が維持される。よって、吸引量の大きいポンプ等の大きな吸引設備を用いる必要がなく、第１の吸引源６４及び第２の吸引源６６に比較的吸引量の小さいエジェクタを用いることできる。

【0040】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0041】

例えば、上記した実施の形態においては、第１、第２の吸引源６４、６６のそれぞれに対して個別にエア供給源１３、１７及びバルブ１２、１６を接続したが、この構成に限定されない。例えば、第１、第２の吸引源６４、６６に共通のエア供給源及びバルブを設けてもよい。第１、第２の吸引源６４、６６でエア供給源及びバルブを共通にすることにより、装置構成を簡略化することができる。このような構成でも、保持テーブル４上でドレッサーボード９１に反りが生じた時の保持テーブル４における吸引力の低下を抑えることができる。

【0042】

また、上記した実施の形態においては、Ｔ字形状の分岐管６１を使用したが、分岐管６１の形状はＴ字形状に限定されない。分岐管６１は、第１の配管６５よりも断面積が大きく、上側の流出口６２と下側の流出口６３によって気体と液体を分離可能に分岐していればよい。例えば、分岐管６１が斜め上方と斜め下方に分岐した横向きＹ字形状に形成されてもよいし、分岐管６１が上下に分岐した横向きＴ字形状に形成されてもよい。また、分岐管６１は、気体と液体を分離可能であれば二股以上に分岐されていてもよい。

【0043】

また、上記した実施の形態においては、切削装置１としてブレードダイシング用の切削装置を例示したが、この構成に限定されない。切削装置１は、エッジトリミング用の切削装置であってもよい。エッジトリミング用の切削装置の場合には、切削ブレードの先端をフラットに整形するフラットドレスが実施されてもよい。

【0044】

また、上記した実施の形態においては、被加工物としてドレッサーボード９１を例示して説明したが、この構成に限定されない。被加工物は、保持テーブル４の吸引面４１に保持される板状の物体であればよく、例えば、セットアップ用のサンプルとして使用されるダミーワークであってもよい。

【産業上の利用可能性】

【0045】

以上説明したように、本発明は、保持テーブル上の被加工物に反りが生じても、被加工物に対する吸引力を維持できるという効果を有し、特に、ドレッサーボードを用いて切削ブレードのドレッシングを行う切削装置に有用である。

【符号の説明】

【0046】

１ 切削装置
４ 保持テーブル
５ 切削手段
６ 吸引力維持手段
１１ａ 第１の吸引源の供給口
１１ｂ 第１の吸引源の排出口
１１ｃ 第１の吸引源の負圧発生部
１１ｄ 第１の吸引源の吸引口
１５ａ 第２の吸引源の供給口
１５ｂ 第２の吸引源の排出口
１５ｃ 第２の吸引源の負圧発生部
１５ｄ 第２の吸引源の吸引口
４１ 保持テーブルの吸引面
５２ 切削ブレード
６１ 分岐管
６２ 分岐管の上側の流出口
６３ 分岐管の下側の流出口
６４ 第１の吸引源（エジェクタ）
６５ 第１の配管
６６ 第２の吸引源（エジェクタ）
６７ 第２の配管
９１ ドレッサーボード（被加工物）
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】