特許 6487355 アライメント装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6487355

(24)【登録日】2019年3月1日

(45)【発行日】2019年3月20日

(54)【発明の名称】アライメント装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20190311BHJP

   H01L 21/60 20060101ALI20190311BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20190311BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/02 B

   H01L21/60 311T

   H01L21/68 K

   H01L21/68 F

【請求項の数】15

【全頁数】36

(21)【出願番号】特願2016-44659(P2016-44659)

(22)【出願日】2016年3月8日

(65)【公開番号】特開2017-162919(P2017-162919A)

(43)【公開日】2017年9月14日

【審査請求日】2018年3月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】304019355

【氏名又は名称】ボンドテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100117673

【弁理士】

【氏名又は名称】中島 了

(72)【発明者】

【氏名】山内 朗

【審査官】 土谷 慎吾

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２３１６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１０／０３８４５４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−２４８８９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２１００６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０６６２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−００８２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１４２２９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１５６６５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／００−２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

２つの対象物の位置合わせを行うアライメント装置であって、
第１の対象物に設けられた第１のアライメントマークと第２の対象物に設けられた第２のアライメントマークとの２つのマークを撮像することによって、前記２つの対象物の位置ずれを測定する測定手段と、
前記測定手段によって測定された前記位置ずれを解消するように前記２つの対象物を相対的に移動する駆動手段と、
を備え、
前記測定手段は、
撮像部と、
前記撮像部を移動する駆動機構と、
を有し、
前記駆動機構は、
固定側部材と、
前記固定側部材に対して少なくとも１つの方向に移動可能な移動側部材と、
を有し、
前記撮像部は、
前記移動側部材の移動に伴って前記少なくとも１つの方向に移動し、
前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記移動側部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項2】

請求項１に記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記少なくとも１つの方向における移動後においては、エアの負圧によって前記固定側部材に吸着されて保持されることを特徴とするアライメント装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のアライメント装置において、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動前に前記第１のアライメントマークを撮像し、当該移動後に前記第２のアライメントマークを撮像することによって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを互いに異なる位置で撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項4】

請求項３に記載のアライメント装置において、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとをフォーカス調整方向における互いに異なる位置で撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項5】

請求項３に記載のアライメント装置において、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとは、前記２つの対象物の対向面に平行な方向において互いに異なる位置に配置されており、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記対向面に平行な方向において互いに異なる位置で前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項6】

請求項３に記載のアライメント装置において、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとは、前記２つの対象物の対向面に平行な方向において互いに異なる位置に配置されており、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記対向面に平行な方向とフォーカス調整方向との双方において互いに異なる位置で前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項7】

請求項１または請求項２に記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記２つの対象物の直前のアライメント対象物である他の２つの対象物にそれぞれ付された１組のアライメントマークに関する撮像後に前記少なくとも１つの方向に移動し、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記１組のアライメントマークに関する直前の撮像位置とは異なる位置にて、前記２つのマークの少なくとも一方を撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項8】

請求項１または請求項２に記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記２つの対象物において前記２つのマークとは別に設けられた１組のアライメントマークに関する撮影後に、前記少なくとも１つの方向に移動し、
前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記１組のアライメントマークに関する直前の撮像位置とは異なる位置にて、前記２つのマークの少なくとも一方を撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項9】

請求項１から請求項８のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記移動側部材と前記固定側部材との間にエア供給が行われた状態で、前記少なくとも１つの方向において前記固定側部材に対して移動されることを特徴とするアライメント装置。

【請求項10】

請求項１から請求項９のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向にのみ移動可能な第１の移動部材を有し、
前記撮像部は、
前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作に伴って、前記第１の方向に移動し、
前記第１の方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項11】

請求項１から請求項９のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向と第２の方向との２つの方向に移動可能な第１の移動部材を有し、
前記撮像部は、
前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向および／または前記第２の方向における移動動作に伴って、前記少なくとも１つの方向に移動し、
前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項12】

請求項１から請求項９のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、
前記固定側部材に対して第１の方向に移動可能な第１の移動部材と、
前記第１の移動部材に対して第２の方向に移動可能な第２の移動部材と、
を有し、
前記撮像部は、
前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作と、前記第１の移動部材と前記第２の移動部材との間での前記第２の方向における第２の移動動作とのうちの少なくとも一方の移動動作に伴って、前記少なくとも１つの方向に移動し、
前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持され且つ前記第２の移動部材が前記第１の移動部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項13】

請求項１から請求項９のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記移動側部材は、
前記固定側部材に対して第１の方向に移動可能な第１の移動部材と、
前記第１の移動部材に対して第２の方向に移動可能な第２の移動部材と、
前記第２の移動部材に対して第３の方向に移動可能な第３の移動部材と、
を有し、
前記撮像部は、前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作と、前記第１の移動部材と前記第２の移動部材との間での前記第２の方向における第２の移動動作と、前記第２の移動部材と前記第３の移動部材との間での前記第３の方向における第３の移動動作とのうちの少なくとも１つの移動動作後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持され且つ前記第２の移動部材が前記第１の移動部材に対して面接触して保持され且つ前記第３の移動部材が前記第２の移動部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とするアライメント装置。

【請求項14】

請求項１から請求項１３のいずれかに記載のアライメント装置において、
前記固定側部材は、前記アライメント装置のベース部材に対して直接的または間接的に固定される部材と前記ベース部材自体とのいずれかであり、
前記ベース部材は、制振機構によって制振されることを特徴とするアライメント装置。

【請求項15】

請求項１４に記載のアライメント装置において、
前記制振機構は、アクティブ制振機構であることを特徴とするアライメント装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、２つの対象物の位置合わせを行うアライメント装置（ボンディング装置等）およびそれに関連する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

２つの対象物（たとえば、２枚の基板）を対向した状態で位置合わせする技術が存在する（特許文献１，２等参照）。当該２つの対象物の位置合わせ（アライメント）においては、２対のアライメントマーク（アライメント用のマーク）が用いられる。

【0003】

たとえば、特許文献１には、次のような技術が記載されている。

【0004】

具体的には、上側の対象物に設けられたアライメントマークを撮影して第１の撮影画像が取得されるとともに、下側の対象物に設けられたアライメントマークを撮影して第２の撮影画像が取得される。つぎに、これらの２つの撮影画像に基づいて両アライメントマークのマーク位置がそれぞれ特定されるとともに両アライメントマーク間の位置ずれ（Δｘａ，Δｙａ）が求められる。そして、この位置ずれを解消するように２つの対象物が移動される。

【0005】

ところで、上側の対象物のアライメントマークの水平位置（Ｘ方向位置および／またはＹ方向位置）と下側の対象物のアライメントマークの水平位置とは、必ずしも同一の位置でないこと等がある。そのため、撮像部は、一方の対象物のアライメントマークを撮影した後、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動して、他方の対象物のアライメントマークを撮影することがある。

【0006】

また、上側の対象物のアライメントマークの鉛直位置（Ｚ方向位置）と下側の対象物のアライメントマークの鉛直位置とは、必ずしも十分に近接していないことがある。この場合には、両アライメントマークに関する撮影画像の合焦状態を確保するために、まず、上側の対象物のアライメントマークを合焦させて撮影した後、鉛直方向（Ｚ方向）に移動してフォーカス位置を移動し、今度は他方の対象物のアライメントマークを合焦させて撮影することがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１０−２６７６８２号公報

【特許文献2】特開２０１１−６６２８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

このように撮像部（カメラ）は、或るアライメントマークに関する撮影画像を撮像し、その後、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とのうちの少なくとも１つの方向への移動を挟んで、当該或るアライメントマークとは別のアライメントマークに関する撮影画像を撮影することがある。

【0009】

ところで、このような撮像部の移動を実現するための駆動機構としては、従来、ボールベアリングを用いた移動機構が用いられている。ボールベアリングを利用した移動機構においては、２つの移動部材がボールベアリングを介して移動される。

【0010】

しかしながら、このような駆動機構（ボールベアリングを利用した移動機構）によって撮像部を移動させる場合において、本願発明者は次のような問題に直面した。具体的には、非常に微細な位置合わせを行うに際して、撮像部を移動して停止させた後において、当該撮像部の振動が十分には収束しない、との問題である。

【0011】

図２６は、このような振動を説明する図である。より詳細には、撮像部は、上下方向に対向して配置された２つの対象物のうちの上側の対象物のアライメントマークを撮影した後に、今度は下側の対象物のアライメントマークを撮影するために、移動を開始し所定位置にまで移動して停止する。しかしながら、駆動が停止して一定期間（待機期間）待機した後であっても、停止時の揺れ（振動）が所定の精度にまでは収束しない。図２６に示すように、撮像部の揺れは、所望の精度（たとえば、０．２μｍ（マイクロメートル））よりも大きな揺れ（たとえば、５μｍ（マイクロメートル）程度）にまでしか収束しない。端的に言えば、撮像部の揺れが残存したままである。このような揺れが残存した状態では、正確な位置合わせを行うことは容易ではない。なお、待機期間が比較的短い場合には、当該問題は顕著である。ただし、これに限定されず、待機期間が比較的長い場合でも、当該問題が生じることもある。

【0012】

また、上述のような状況のみならず、その他の状況においても、撮像部の移動に応じて揺れが残存する、との上述の問題が生じ得る。

【0013】

そこで、この発明は、撮像部の揺れを抑制して、正確な位置合わせを行うことが可能なアライメント技術を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

上記課題を解決すべく、請求項１の発明は、２つの対象物の位置合わせを行うアライメント装置であって、第１の対象物に設けられた第１のアライメントマークと第２の対象物に設けられた第２のアライメントマークとの２つのマークを撮像することによって、前記２つの対象物の位置ずれを測定する測定手段と、前記測定手段によって測定された前記位置ずれを解消するように前記２つの対象物を相対的に移動する駆動手段と、を備え、前記測定手段は、撮像部と、前記撮像部を移動する駆動機構と、を有し、前記駆動機構は、固定側部材と、前記固定側部材に対して少なくとも１つの方向に移動可能な移動側部材と、を有し、前記撮像部は、前記移動側部材の移動に伴って前記少なくとも１つの方向に移動し、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記移動側部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とする。

【0015】

請求項２の発明は、請求項１の発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記少なくとも１つの方向における移動後においては、エアの負圧によって前記固定側部材に吸着されて保持されることを特徴とする。

【0016】

請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係るアライメント装置において、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動前に前記第１のアライメントマークを撮像し、当該移動後に前記第２のアライメントマークを撮像することによって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを互いに異なる位置で撮像することを特徴とする。

【0017】

請求項４の発明は、請求項３の発明に係るアライメント装置において、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとをフォーカス調整方向における互いに異なる位置で撮像することを特徴とする。

【0018】

請求項５の発明は、請求項３の発明に係るアライメント装置において、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとは、前記２つの対象物の対向面に平行な方向において互いに異なる位置に配置されており、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記対向面に平行な方向において互いに異なる位置で前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像することを特徴とする。

【0019】

請求項６の発明は、請求項３の発明に係るアライメント装置において、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとは、前記２つの対象物の対向面に平行な方向において互いに異なる位置に配置されており、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動動作を伴うことによって、前記対向面に平行な方向とフォーカス調整方向との双方において互いに異なる位置で前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像することを特徴とする。

【0020】

請求項７の発明は、請求項１または請求項２の発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記２つの対象物の直前のアライメント対象物である他の２つの対象物にそれぞれ付された１組のアライメントマークに関する撮像後に前記少なくとも１つの方向に移動し、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記１組のアライメントマークに関する直前の撮像位置とは異なる位置にて、前記２つのマークの少なくとも一方を撮像することを特徴とする。

【0021】

請求項８の発明は、請求項１または請求項２の発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記２つの対象物において前記２つのマークとは別に設けられた１組のアライメントマークに関する撮影後に、前記少なくとも１つの方向に移動し、前記撮像部は、前記移動側部材の前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記１組のアライメントマークに関する直前の撮像位置とは異なる位置にて、前記２つのマークの少なくとも一方を撮像することを特徴とする。

【0022】

請求項９の発明は、請求項１から請求項８のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記移動側部材と前記固定側部材との間にエア供給が行われた状態で、前記少なくとも１つの方向において前記固定側部材に対して移動されることを特徴とする。

【0023】

請求項１０の発明は、請求項１から請求項９のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向にのみ移動可能な第１の移動部材を有し、前記撮像部は、前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作に伴って、前記第１の方向に移動し、前記第１の方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とする。

【0024】

請求項１１の発明は、請求項１から請求項９のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向と第２の方向との２つの方向に移動可能な第１の移動部材を有し、前記撮像部は、前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向および／または前記第２の方向における移動動作に伴って、前記少なくとも１つの方向に移動し、前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とする。

【0025】

請求項１２の発明は、請求項１から請求項９のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向に移動可能な第１の移動部材と、前記第１の移動部材に対して第２の方向に移動可能な第２の移動部材と、を有し、前記撮像部は、前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作と、前記第１の移動部材と前記第２の移動部材との間での前記第２の方向における第２の移動動作とのうちの少なくとも一方の移動動作に伴って、前記少なくとも１つの方向に移動し、前記少なくとも１つの方向における移動後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持され且つ前記第２の移動部材が前記第１の移動部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とする。

【0026】

請求項１３の発明は、請求項１から請求項９のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記移動側部材は、前記固定側部材に対して第１の方向に移動可能な第１の移動部材と、前記第１の移動部材に対して第２の方向に移動可能な第２の移動部材と、前記第２の移動部材に対して第３の方向に移動可能な第３の移動部材と、を有し、前記撮像部は、前記固定側部材と前記第１の移動部材との間での前記第１の方向における第１の移動動作と、前記第１の移動部材と前記第２の移動部材との間での前記第２の方向における第２の移動動作と、前記第２の移動部材と前記第３の移動部材との間での前記第３の方向における第３の移動動作とのうちの少なくとも１つの移動動作後において、前記第１の移動部材が前記固定側部材に対して面接触して保持され且つ前記第２の移動部材が前記第１の移動部材に対して面接触して保持され且つ前記第３の移動部材が前記第２の移動部材に対して面接触して保持された状態で、前記２つのマークのうちの少なくとも一方のマークを撮像することを特徴とする。

【0027】

請求項１４の発明は、請求項１から請求項１３のいずれかの発明に係るアライメント装置において、前記固定側部材は、前記アライメント装置のベース部材に対して直接的または間接的に固定される部材と前記ベース部材自体とのいずれかであり、前記ベース部材は、制振機構によって制振されることを特徴とする。

【0028】

請求項１５の発明は、請求項１４の発明に係るアライメント装置において、前記制振機構は、アクティブ制振機構であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0029】

請求項１から請求項１５に記載の発明によれば、撮像部の揺れを抑制して、正確な位置合わせを行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】本発明の実施形態に係るアライメント装置の内部構造を示す図である。

【図2】アライメントマークが付された一方の対象物（基板）を示す平面図である。

【図3】アライメントマークが付された他方の対象物（基板）を示す平面図である。

【図4】２つのマークの位置関係を示す図である。

【図5】２つのマークの位置ずれを示す図である。

【図6】２つの対象物が対向配置されている状態（離間状態）を示す側面図である。

【図7】２つの対象物が対向配置されている状態（接触状態）を示す側面図である。

【図8】異なる水平位置にアライメントマークが設けられた対象物を示す図である。

【図9】各撮影画像の撮影範囲等を示す図である。

【図10】異なる水平位置にアライメントマークを有する２つの対象物が対向配置されている状態（離間状態）を示す側面図である。

【図11】撮像部の駆動機構の正面図である。

【図12】撮像部の駆動機構の斜視図である。

【図13】撮像部の駆動機構の分解斜視図である。

【図14】Ｚ方向移動部材とＸ方向移動部材（ガイド部）との接触状態を示す図である。

【図15】別の２つの対象物が対向配置されている状態（離間状態）を示す側面図である。

【図16】２つの対象物が対向配置されている状態（接触状態）を示す側面図である。

【図17】変形例に係る駆動機構を示す平面図である。

【図18】当該変形例に係る駆動機構によるＸ方向移動を示す図である。

【図19】当該変形例に係る駆動機構によるＹ方向移動を示す図である。

【図20】基板とモールドとが対向配置された状態（離間状態）を示す側面図である。

【図21】基板とモールドとが対向配置された状態（接触状態）を示す側面図である。

【図22】変形例に係るマーク位置等を示す図である。

【図23】従来技術に係るアライメント装置を示す図である。

【図24】従来技術に係るカメラ移動機構（ボールベアリングを用いた移動機構）を示す図である。

【図25】図２４のＡ−Ａ’断面を示す図である。

【図26】従来技術において、撮像部の停止時の揺れ（振動）が十分には収束しない様子を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

【0032】

＜１．第１実施形態＞
＜１−１．装置構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るアライメント装置１（１Ａとも称する）の内部構造を示す図である。なお、以下、各図においては、便宜上、ＸＹＺ直交座標系を用いて方向等を示している。

【0033】

アライメント装置１は、減圧下のチャンバ（真空チャンバ）２内で、被接合物（ここでは基板）９１と被接合物（ここでは基板）９２とを対向させて加圧および加熱し、両被接合物９１，９２を接合する装置である。このアライメント装置１は、ヘッド２２に保持された基板９２とステージ１２に保持された基板９１とを接合する接合装置であるとも表現される。なお、ここでは基板９１，９２として、半導体基板を例示するが、これに限定されず、ガラス基板などが用いられてもよい。また、両被接合物９１，９２は、それぞれ、（アライメント動作の）対象物などとも表現される。

【0034】

また、両対象物９１，９２の接合表面には、表面活性化処理が予め施されている。ここでは、アライメント装置１の外部の装置において、両対象物９１，９２に対する表面活性化処理が予め施され、その後、当該両対象物９１，９２がアライメント装置１に搬入されるものとする。

【0035】

表面活性化処理は、両対象物９１，９２の接合表面を活性化する処理であり、ビーム照射部を用いて特定物質（例えばアルゴン）を放出すること等により実行される。当該ビーム照射部は、イオン化された特定物質（アルゴン等）を電界で加速し両対象物９１，９２の接合表面に向けて当該特定物質を放出することにより、両対象物９１，９２の接合表面を活性化する。換言すれば、ビーム照射部は、両対象物９１，９２の接合表面に向けてエネルギー波を照射することによって、両対象物９１，９２の接合表面を活性化する。ビーム照射部としては、原子ビーム照射装置およびイオンビーム照射装置等が用いられる。

【0036】

このアライメント装置（接合装置）１は、両対象物９１，９２の処理空間である真空チャンバ２を備える。真空チャンバ２は、排気管６と排気弁７とを介して真空ポンプ５に接続されている。真空ポンプ５の吸引動作に応じて真空チャンバ２内の圧力が低減（減圧）されることによって、真空チャンバ２は真空状態にされる。また、排気弁７は、その開閉動作と排気流量の調整動作とによって、真空チャンバ２内の真空度を調整することができる。

【0037】

上側の対象物９２は、ヘッド２２（より詳細にはその先端部に設けられた静電チャックあるいは機械式チャック等）によって保持される。同様に、下側の対象物９１は、当該ステージ１２（より詳細にはその先端部に設けられた静電チャックあるいは機械式チャック等）によって保持される。

【0038】

ヘッド２２は、当該ヘッド２２に内蔵されたヒータ２２ｈによって加熱され、ヘッド２２に保持された対象物９２の温度を調整することができる。同様に、ステージ１２は、当該ステージ１２に内蔵されたヒータ１２ｈによって加熱され、ステージ１２上の対象物９１の温度を調整することができる。また、ヘッド２２は、当該ヘッド２２に内蔵された空冷式の冷却装置等によって当該ヘッド２２自身を室温付近にまで急速に冷却することもできる。ステージ１２も同様である。ヒータ１２ｈ，２２ｈ（特に２２ｈ）は、対象物上の金属バンプを溶融させる加熱手段（溶融手段）等として機能するとともに、当該金属バンプを冷却して再び固化させる冷却手段（固化手段）等としても機能する。すなわち、ヒータ１２ｈ，２２ｈ（特に２２ｈ）は、金属バンプを加熱または冷却する加熱冷却手段として機能する。

【0039】

これらのヘッド２２およびステージ１２は、いずれも、真空チャンバ２内において、移動可能に設置されている。

【0040】

ステージ１２は、スライド移動機構１４によってＹ方向に移動（並進移動）可能である。ステージ１２は、比較的奥側の待機位置と比較的手前側の接合位置（ヘッド２２直下の位置（図１参照））との間でＹ方向において移動する。スライド移動機構１４は高精度の位置検出器（リニアスケール）を有しており、ステージ１２は高精度に位置決めされる。

【0041】

ヘッド２２は、アライメントテーブル２３によってＸ方向およびＹ方向（水平平面に平行な２つの並進方向）に移動（並進移動）されるとともに、回転駆動機構２５によってθ方向（Ｚ軸に平行な軸周りの回転方向）に回転される。ヘッド２２は、後述する位置認識部２８による位置検出結果等に基づいてアライメントテーブル２３および回転駆動機構２５によって駆動され、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向におけるアライメント動作が実行される。このように、鉛直方向（Ｚ方向）に垂直な平面（水平平面）に沿った各方向（Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向）（端的に言えば水平方向）において、ステージ１２とヘッド２２とが相対的に移動することによって、ステージ１２に保持された対象物９１とヘッド２２に保持された対象物９２とが水平方向においてアライメントされる。

【0042】

また、ヘッド２２は、Ｚ軸昇降駆動機構２６によってＺ方向に移動（昇降）される。ステージ１２とヘッド２２とがＺ方向に相対的に移動することによって、ステージ１２に保持された対象物９１とヘッド２２に保持された対象物９２とが接触し加圧されて接合される。なお、Ｚ軸昇降駆動機構２６は、複数の圧力検出センサ（ロードセル等）２９，３２により検出された信号に基づいて、接合時の加圧力を制御することも可能である。

【0043】

アライメント装置１は、位置認識部２８（後述）を備えており、当該位置認識部２８は２つの撮像部７５（７５Ｍ，７５Ｎ）を備えている。各撮像部７５は、たとえば、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１（図２参照）と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２（図３参照）とをそれぞれ撮像することによって、当該２つの対象物９１，９２の位置ずれ（Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向における位置ずれ）を測定する。

【0044】

そして、当該位置ずれを解消するようにヘッド２２がステージ１２に対して相対的に駆動されることによって、両対象物９１，９２が相対的に駆動され、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向におけるアライメント動作が実行される。

【0045】

このように、アライメント装置１は、２つの対象物９１，９２の位置合わせを行う装置である。

【0046】

＜１−２．アライメントマーク＞
図２および図３に示すように、両対象物９１，９２には、それぞれ、位置合わせ用のマーク（以下、アライメントマークなどとも称する）ＭＫが付されている。ここでは、一方の対象物９１に２つのアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ）（図２参照）が設けられ、他方の対象物９２にも２つのアライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ）（図３参照）が設けられる。

【0047】

ここでは、対象物９１に設けられた２つのアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ（ＭＫ１とも総称する）は、それぞれ、円環形状を有するパターンマークである（図２参照）。一方、対象物９２に設けられた２つのアライメントマークＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ（ＭＫ２とも総称する）は、円形状を有するパターンマークである（図３参照）。アライメントマークＭＫ２の円の外径は、アライメントマークＭＫ１の円環部の内径よりも小さい。

【0048】

なお、ここでは、円形状等のマークがアライメントマークＭＫとして利用されているが、これに限定されず、各種の他の形状（枠形状および十字形状等）のマークがアライメントマークＭＫとして利用されてもよい。

【0049】

また、各アライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ）は、下側の対象物９１の表面（詳細には上側表面）に配置されており、各アライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ）は、上側の対象物９２の表面（詳細には下側表面）に配置されている。

【0050】

図２に示すように、同一対象物９１内の２つのアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂは、当該２つのマークＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ間距離が比較的大きくなるように、基板９１上にて互いに大きく離れて配置される。より詳細には、基板９１の両端付近において、これらのアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂが配置される。たとえば、３００ｍｍ（ミリメートル）の直径を有する基板９１において、アライメントマークＭＫ１ａが基板９１の左端付近（たとえば、左端から中心側へ５ｍｍ（ミリメートル）の位置）に配置され、他方のアライメントマークＭＫ１ｂが基板９１の右端付近（たとえば、右端から中心側へ５ｍｍ（ミリメートル）の位置）に配置される。なお、２つのマークＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ間距離を大きくすることによれば、特に回転方向の位置ずれの検出精度および位置合わせ精度を向上させることが可能である。

【0051】

図３に示すように、同一対象物９２内の２つのアライメントマークＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂも同様に配置される。具体的には、２つのアライメントマークＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂは、基板９２上にて互いに大きく離れて配置される。たとえば、３００ｍｍ（ミリメートル）の直径を有する基板９２において、アライメントマークＭＫ２ａが基板９２の左端付近（たとえば、左端から中心側へ５ｍｍ（ミリメートル）の位置）に配置され、他方のアライメントマークＭＫ２ｂが基板９２の右端付近（たとえば、右端から中心側へ５ｍｍ（ミリメートル）の位置）に配置される。

【0052】

両対象物９１，９２が上下に対向配置された状態（対向配置状態）においては、対象物９２のアライメントマークＭＫ２ａは、対象物９１のアライメントマークＭＫ１ａの近傍領域に配置される。同様に、当該対向配置状態においては、対象物９２のアライメントマークＭＫ２ｂは、対象物９１のアライメントマークＭＫ１ｂの近傍領域に配置される（図４および図６等参照）。

【0053】

＜１−３．位置認識部＞
アライメント装置１は、対象物９１，９２の水平位置（詳細にはＸ，Ｙ，θ）を認識する位置認識部２８を備えている。位置認識部２８は、アライメント動作のための位置測定動作を実行することが可能である。より詳細には、位置認識部２８は、両対象物９１，９２の水平位置の位置ずれ（詳細にはΔｘ，Δｙ，Δθ）を測定することが可能である。

【0054】

図１に示すように、位置認識部２８は、対象物９１，９２等に関する光像を画像データとして取得する２つの撮像部（カメラ）７５（それぞれ７５Ｍ，７５Ｎとも称する）を有する。撮像部７５Ｍ，７５Ｎは、それぞれ、同軸照明系を有している。なお、撮像部７５Ｍ，７５Ｎの各同軸照明系の光源としては、両対象物９１，９２およびステージ１２等を透過する光（例えば赤外光）が用いられる。

【0055】

各撮像部７５（７５Ｍ，７５Ｎ）は、それぞれ、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２とを撮像することによって、当該２つの対象物９１，９２の位置ずれ（Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向における位置ずれ）を測定する。

【0056】

具体的には、図１の左側に設けられた撮像部７５Ｍは、対象物９１の左側に設けられたアライメントマークＭＫ１ａに関する撮影画像Ｇ１ａ（図４参照）を撮影するとともに、対象物９２の左側に設けられたアライメントマークＭＫ２ａに関する撮影画像Ｇ２ａ（図４参照）を撮影する。

【0057】

また、図１の右側に設けられた撮像部７５Ｎは、対象物９１の右側に設けられたアライメントマークＭＫ１ｂに関する撮影画像Ｇ１ｂ（図４参照）を撮影するとともに、対象物９２の右側に設けられたアライメントマークＭＫ２ｂに関する撮影画像Ｇ２ｂ（図４参照）を撮影する。

【0058】

下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１に関する撮影画像Ｇ１（Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ）は、次のようにして撮影される。まず、図１に示すように、撮像部７５における同軸照明系の光源（不図示）から出射された光は、上方に進行し、透光性を有する窓部２ｂ（図１）等を透過した後に対象物９１のマークＭＫ１で反射されると、今度は逆向き（下向き）に進行する。そして、当該光は、再び窓部２ｂを透過して撮像部７５内の撮像素子に到達する。位置認識部２８は、このようにして対象物９１に関する光像（マークＭＫ１を含む画像）を撮影画像Ｇ１（Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ）として取得する。

【0059】

また、上側の対象物９２のアライメントマークＭＫ２に関する撮影画像Ｇ２（Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ）は、次のようにして撮影される。まず、撮像部７５における同軸照明系の光源（不図示）から出射された光は、上方に進行し、窓部２ｂ（図１）および両対象物９１，９２を透過した後に対象物９２のマークＭＫ２で反射されると、今度は逆向き（下向き）に進行する。そして、当該光は、再び窓部２ｂ等を透過して撮像部７５内の撮像素子に到達する。位置認識部２８は、このようにして対象物９２に関する光像（マークＭＫ２を含む画像）を撮影画像Ｇ２（Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ）として取得する。

【0060】

そして、アライメント装置１は、撮影画像Ｇ１ａ，Ｇ２ａに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘａ，Δｙａ）を求める（図５参照）。図５は、１組のマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａが互いにずれている状態を示している。

【0061】

また、アライメント装置１は、撮影画像Ｇ１ｂ，Ｇ２ｂに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘｂ，Δｙｂ）を求める。

【0062】

その後、位置認識部２８は、これら２組のマークの位置ずれ（Δｘａ，Δｙａ），（Δｘｂ，Δｙｂ）と２組のマークの幾何学的関係とに基づいて、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向における両被接合物９１，９２の相対的ずれΔＤ（詳細にはΔｘ，Δｙ，Δθ）を算出（検出）する。そして、位置認識部２８により認識された当該相対的ずれΔＤが低減されるように、ステージ１２が２つの並進方向（Ｘ方向およびＹ方向）と回転方向（θ方向）とに駆動される。これにより、両被接合物９１，９２が略水平平面に平行な方向に相対的に移動され、上記の位置ずれΔＤが補正される。

【0063】

このようにして、略鉛直方向（Ｚ方向）に垂直な平面（略水平平面）内における位置ずれΔＤ（詳細にはΔｘ，Δｙ，Δθ）が測定（検出）され、当該位置ずれΔＤを補正するアライメント動作（位置合わせ動作）が実行される。このような測定動作（検出動作）およびアライメント動作は、アライメント装置１のコントローラ（不図示）の制御下において実行される。

【0064】

＜１−４．水平位置合わせ動作＞
ここにおいて、各対象物上でのアライメントマークの位置は、対象物の種類（基板種類等）によって異なることがある。たとえば、或る対象物（基板等）ではマーク間距離が２９０ｍｍであるのに対して、他の対象物（基板等）ではマーク間距離が２９６ｍｍであってもよい。換言すれば、上側の対象物のアライメントマークの水平位置（Ｘ方向位置および／またはＹ方向位置）と下側の対象物のアライメントマークの水平位置とは、必ずしも同一の位置でないことがある。

【0065】

図８は、対象物９１とは異なる水平位置（ここではＸ方向位置）にアライメントマークＭＫが設けられた対象物９２（基板）を示す図である。図８の対象物９２（９２ｂ）においては、アライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ）は、対象物９１のアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ）の位置（２点鎖線のＸ方向位置参照）とは異なるＸ方向位置（より詳細には、比較的外周側）に設けられている。

【0066】

このような場合には、各撮像部７５をＸ方向（および／またはＹ方向）に移動させることによって、２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の各撮影範囲を変更する。これによれば、各撮像部７５（７５Ｍ，７５Ｎ）の視野範囲（撮影範囲）がそれほど大きくない場合においても、各アライメントマークＭＫ１，ＭＫ２をより確実に撮影範囲内に収めることが可能である。

【0067】

具体的には、撮像部７５（７５Ｍ，７５Ｎ）は、まず、一方の対象物（たとえば、下側の対象物９１）のアライメントマーク（ＭＫ１）を撮影（撮影画像Ｇ１を取得）する。次に、当該撮像部７５は、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動する（撮影位置を変更する）。その後、当該撮像部７５は、今度は他方の対象物（たとえば、上側の対象物９２）のアライメントマーク（ＭＫ２）を撮影（撮影画像Ｇ２を取得）する（図９参照）。換言すれば、撮像部７５は、次の撮影用の位置へと移動した後に、当該次の撮影を実行する。

【0068】

なお、比較的左側（−Ｘ側）の撮像部７５Ｍは、図９に示すように、アライメントマークＭＫ１ａの水平位置（理論位置）を中心とする撮影画像Ｇ１ａを撮影画像Ｇ１として撮像するとともに、アライメントマークＭＫ２ａの水平位置を中心とする撮影画像Ｇ２ａを撮影画像Ｇ２として撮像する。また、比較的右側（＋Ｘ側）の撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ１ｂの水平位置を中心とする撮影画像Ｇ１ｂを撮影画像Ｇ１として撮像するとともに、アライメントマークＭＫ２ｂの水平位置を中心とする撮影画像Ｇ２ｂを撮影画像Ｇ２として撮像する。

【0069】

そして、アライメント装置１は、２つの撮影画像Ｇ１ａ，Ｇ２ａに基づいて、２つのマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの位置ずれ（Δｘａ，Δｙａ）を求める。同様に、アライメント装置１は、２つの撮影画像Ｇ１ｂ，Ｇ２ｂに基づいて、２つのマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの位置ずれ（Δｘｂ，Δｙｂ）を求める。なお、撮影画像Ｇ１ａにおけるカメラ座標系と撮影画像Ｇ２ａにおけるカメラ座標系との間のキャリブレーション、および撮影画像Ｇ１ｂにおけるカメラ座標系と撮影画像Ｇ２ｂにおけるカメラ座標系との間のキャリブレーションは、予め行われているものとする。

【0070】

＜１−５．フォーカス合わせ動作＞
また、撮像部７５は、合焦状態の調整をＺ方向駆動によって実現することができる。換言すれば、撮像部７５は、Ｚ方向に駆動されること（フォーカス調整方向において異なる位置に移動されること）によって、フォーカス調整を実現することが可能である。

【0071】

たとえば、上述のように、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１の鉛直位置（Ｚ方向位置）と上側の対象物９２のアライメントマークＭＫ２の鉛直位置とは、必ずしも十分に近接していないことがある。このような場合には、両アライメントマークに関する撮影画像の合焦状態を確保するために、まず、撮像部７５（７５Ｍ，７５Ｎ）は、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１を合焦させて撮影画像Ｇ１を撮影した後、鉛直方向（Ｚ方向）に移動してフォーカス位置を移動し、今度は上側の対象物９２のアライメントマークＭＫ２を合焦させて撮影画像Ｇ２を撮影することがある。換言すれば、撮像部７５をＺ方向に移動させることによって、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１が合焦する状態と、上側の対象物９２のアライメントマークＭＫ２が合焦する状態とを切り換える。なお、Ｚ方向の移動を伴うフォーカス合わせ動作は、必ずしも常に行われることを要しない。たとえば、上下方向に離間した２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の中間位置にフォーカスを合わせることによって、当該２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の位置が認識される場合等においては、Ｚ方向の移動を伴うフォーカス合わせ動作は行われなくてもよい。

【0072】

このように撮像部７５は、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうちの少なくとも１つの方向における移動の前後において、それぞれ、撮像動作を実行する。

【0073】

このような状況において、上述のように仮に従来技術を用いて撮像部７５を駆動する場合には、撮像部７５が移動し停止すると、当該撮像部７５の振動が十分には収束しない、との問題が生じ得る。

【0074】

そこで、この実施形態においては、次のような駆動機構７０を用いて撮像部７５を駆動する。以下、撮像部７５の駆動機構７０について詳細に説明する。

【0075】

＜１−６．撮像部の駆動機構７０＞
アライメント装置１は、各撮像部７５Ｍ，７５Ｎを駆動するための駆動機構７０（７０Ｍ，７０Ｎ）（カメラ移動機構とも称する）を有する（図１１等参照）。各駆動機構７０Ｍ，７０Ｎは、左右対称の構成を有する。ここでは、一方の駆動機構７０Ｎについて詳細に説明し、他方の駆動機構７０Ｍの説明を省略する。

【0076】

図１１は、駆動機構７０の正面図であり、図１２は、駆動機構７０の斜視図であり、図１３は、駆動機構７０の分解斜視図である。これらの図に示すように、駆動機構７０は、ベース部材３とＹ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２とＺ方向移動部材７３とを有している。

【0077】

３つの移動部材７１、７２，７３は、ベース部材３に対して少なくとも１つの方向（ここでは、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向の３つの方向）に移動可能な移動側部材（あるいは移動側部材群）である、とも表現される。また、ベース部材３は、固定側部材（アライメント装置１にて固定される側の部材）であるとも表現される。また、撮像部７５は、移動側部材（より詳細にはＺ方向移動部材７３）に直接的に固定されている。ただし、これに限定されず、撮像部７５は、移動側部材に対して間接的に固定されてもよい。

【0078】

Ｙ方向移動部材７１は、アライメント装置１のベース部材３に対してＹ方向に移動可能な部材である。Ｙ方向移動部材７１は、平板状の部材である。詳細には、Ｙ方向移動部材７１は、Ｙ方向に伸延する部分とＸ方向に伸延する部分とで構成される（平面視）略十字形状の部材である。Ｙ方向移動部材７１は、一部の中空部を除き、ほぼその全底面に亘ってベース部材３に支持される。

【0079】

ベース部材３においては、Ｙ方向移動部材７１をＹ方向に案内するための複数のガイドピン７６が固定されている。Ｙ方向移動部材７１は、当該複数のガイドピン７６に案内されてベース部材３に対してＹ方向に移動することが可能である。詳細には、Ｙ方向移動部材７１の＋Ｘ側に設けられた２本のガイドピン７６に沿ってＹ方向移動部材７１の＋Ｘ側の側面（垂直平面）７１ｐが移動し、且つ、Ｙ方向移動部材７１の−Ｘ側に設けられた２本のガイドピン７６に沿ってＹ方向移動部材７１の−Ｘ側の側面７１ｑが移動することによって、Ｙ方向移動部材７１はＹ方向に移動する。Ｙ方向移動部材７１は、駆動部７４ｙ（サーボモータ等）によってＹ方向に駆動される。

【0080】

Ｘ方向移動部材７２は、Ｙ方向移動部材７１に対してＸ方向に移動可能な部材である。Ｘ方向移動部材７２は、Ｘ方向に伸延する略平板形状部分（平面部とも称する）７２ｂと当該略平板形状部分７２ｂの上側（＋Ｚ側）に配置された略四角柱部分であるガイド部７８とを有して構成される部材である。ガイド部７８は、Ｚ方向に伸延する中空部分（略直方体形状）を有している。ガイド部７８は、当該中空部分にＺ方向移動部材７３を収容するとともに、当該中空部分を利用してＺ方向移動部材７３のＺ方向の移動を案内する（後述）。Ｘ方向移動部材７２は、一部の中空部を除き、ほぼその全底面に亘ってＹ方向移動部材７１に支持されている。

【0081】

Ｙ方向移動部材７１においては、Ｘ方向移動部材７２をＸ方向に案内するための複数のガイドピン７７が固定されている。Ｘ方向移動部材７２は、当該複数のガイドピン７７に案内されてＸ方向に移動することが可能である。詳細には、Ｘ方向移動部材７２の＋Ｙ側に設けられた２本のガイドピン７７に沿ってＸ方向移動部材７２の＋Ｙ側の側面（垂直平面）７２ｒが移動し、且つ、Ｘ方向移動部材７２の−Ｙ側に設けられた２本のガイドピン７７に沿ってＸ方向移動部材７２の−Ｙ側の側面７２ｓが移動することによって、Ｘ方向移動部材７２はＸ方向に移動する。Ｘ方向移動部材７２は、駆動部７４ｘ（サーボモータ等）によってＸ方向に駆動される。

【0082】

Ｚ方向移動部材７３は、略四角柱形状を有する部材であって、Ｘ方向移動部材７２に対してＺ方向に移動可能な部材である。

【0083】

Ｘ方向移動部材７２においては、Ｚ方向移動部材７３をＺ方向に案内するためのガイド部７８が固定されている。ガイド部７８は、４つのガイド壁（板状の垂直平面部材）７８ｐ，７８ｑ，７８ｒ，７８ｓで囲まれた中空の四角柱形状を有している。

【0084】

Ｚ方向移動部材７３は、Ｘ方向移動部材７２のガイド部７８に案内されてＺ方向に移動することが可能である。詳細には、Ｚ方向移動部材７３の−Ｘ側の側面７３ｑがガイド部７８の−Ｘ側のガイド壁７８ｑの内側面（＋Ｘ側の面）に沿って移動し且つＺ方向移動部材７３の−Ｙ側の側面７３ｓがガイド部７８の−Ｙ側のガイド壁７８ｓの内側面に沿って移動することによって、Ｚ方向移動部材７３はＺ方向に移動する。Ｚ方向移動部材７３は、駆動部７４ｚ（サーボモータ等）によってＺ方向に駆動される。

【0085】

また、図１４に示すように、ガイド部７８の＋Ｘ側のガイド壁７８ｐの内側面（−Ｘ側の面）には、−Ｘ側（図１４で右向き）への付勢力を伴う複数のガイドローラ７９（７９ｘ）が設けられている。Ｚ方向移動部材７３の移動時においては、複数のガイドローラ７９によってＺ方向移動部材７３が案内される。一方、Ｚ方向移動部材７３の非移動時においては、当該付勢力に応じてＺ方向移動部材７３（詳細には、側面７３ｑ）がガイド部７８の−Ｘ側のガイド壁７８ｑの内側面（＋Ｘ側の面）に押し付けられることによって、Ｚ方向移動部材７３はガイド部７８（ひいてはＸ方向移動部材７２）に安定的に支持（保持）される。

【0086】

同様に、ガイド部７８の＋Ｙ側のガイド壁７８ｒの内側面（−Ｙ側の面）には、−Ｙ側への付勢力を伴う複数のガイドローラ７９（７９ｙ）が設けられている。Ｚ方向移動部材７３の移動時においては、複数のガイドローラ７９によってＺ方向移動部材７３が案内される。一方、Ｚ方向移動部材７３の非移動時においては、当該付勢力に応じて、Ｚ方向移動部材７３（詳細には、側面７３ｓ）がガイド部７８の−Ｙ側のガイド壁７８ｓの内側面（＋Ｙ側の面）に押し付けられることによって、Ｚ方向移動部材７３はガイド部７８（ひいてはＸ方向移動部材７２）に安定的に支持（保持）される。

【0087】

また、撮像部７５Ｎは、略四角柱形状を有するＺ方向移動部材７３の中空部分においてＺ方向移動部材７３に対して（直接的に）固定されている。なお、ここでは、撮像部７５Ｎは、Ｚ方向移動部材７３に対して直接的に固定されているが、これに限定されず、他の部材を介して間接的に固定されてもよい。

【0088】

ここにおいて、Ｙ方向移動部材７１がＹ方向に移動する際には、ベース部材３とＹ方向移動部材７１との間にエアが供給される。エア供給状態でＹ方向移動部材７１が移動することによって、ベース部材３との摺動抵抗が低減され、Ｙ方向移動部材７１はベース部材３に対してスムーズに移動することが可能である。好ましくは、Ｙ方向移動部材７１は、ベース部材３から浮いた状態（非接触状態）でスムーズに移動する。

【0089】

同様に、Ｘ方向移動部材７２がＸ方向に移動する際には、Ｙ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２との間にエアが供給される。エア供給状態でＸ方向移動部材７２が移動することによって、Ｙ方向移動部材７１との摺動抵抗が低減され、Ｘ方向移動部材７２はＹ方向移動部材７１に対してスムーズに移動することが可能である。好ましくは、Ｘ方向移動部材７２は、Ｙ方向移動部材７１から浮いた状態でスムーズに移動する。

【0090】

同様に、Ｚ方向移動部材７３がＺ方向に移動する際には、Ｘ方向移動部材７２（ガイド部７８）とＺ方向移動部材７３との間にエアが供給される。エア供給状態でＺ方向移動部材７３が移動することによって、Ｘ方向移動部材７２（ガイド部７８）との摺動抵抗が低減され、Ｚ方向移動部材７３はＸ方向移動部材７２に対してスムーズに移動することが可能である。好ましくは、Ｚ方向移動部材７３は、Ｘ方向移動部材７２から浮いた状態でスムーズに移動する。

【0091】

なお、図１１〜図１４等においては、図示していないが、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２には、それぞれ、微小径の複数の貫通孔が設けられており、当該複数の貫通孔を通してエア供給が行われる。たとえば、Ｙ方向移動部材７１に設けられた複数の貫通孔を通して、ベース部材３とＹ方向移動部材７１との間へのエア供給が行われる。また、Ｘ方向移動部材７２の平面部７２ｂに設けられた複数の貫通孔を通して、Ｙ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２との間へのエア供給が行われる。さらに、Ｘ方向移動部材７２の各ガイド壁７８ｑ，７８ｓに設けられた複数の貫通孔を通して、Ｘ方向移動部材７２（ガイド部７８）とＺ方向移動部材７３との間へのエア供給が行われる。

【0092】

一方、移動が終了すると、エア供給が停止される。さらに今度は逆にエアの負圧を利用して、各移動部材７１，７２，７３は吸着保持される。なお、エアの負圧を利用した吸着動作は、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２に設けられた上述の複数の貫通孔を通して、（今度は逆に）エアを吸引することによって行われる。

【0093】

詳細には、Ｙ方向の移動後において、Ｙ方向移動部材７１は、エアの負圧によってベース部材３に吸着されて保持される。Ｙ方向移動部材７１は、広い底面（−Ｚ側の平面）を有しており、この際には、当該底面がベース部材３の上面（平面）に面接触して保持される。これによって、Ｙ方向移動部材７１は非常に安定的にベース部材３に支持（固定）される。

【0094】

また、Ｘ方向の移動後において、Ｘ方向移動部材７２は、エアの負圧によってＹ方向移動部材７１に吸着されて保持される。Ｘ方向移動部材７２は、平面部７２ｂに広い底面（−Ｚ側の平面）を有しており、この際には、当該底面がＹ方向移動部材７１の上面（平面）に面接触して保持される。これによって、Ｘ方向移動部材７２は非常に安定的にＹ方向移動部材７１に支持（固定）される。

【0095】

さらに、Ｚ方向の移動後において、Ｚ方向移動部材７３は、エアの負圧によってＸ方向移動部材７２に吸着されて保持される。Ｚ方向移動部材７３は、比較的広い側面７３ｑ，７３ｓを有しており、この際には、当該側面７３ｑ，７３ｓがＸ方向移動部材７２（ガイド部７８）のガイド壁７８ｑ，７８ｓにそれぞれ面接触して保持される。これによって、Ｚ方向移動部材７３は非常に安定的にＸ方向移動部材７２に固定される。また、Ｚ方向移動部材７３は、複数のガイドローラの押圧力によっても保持される。

【0096】

また、ベース部材３は、制振機構（除振機構とも称される）によって制振される。当該制振機構としては、たとえば、アクティブ方式の制振機構が用いられる。当該アクティブ方式の制振機構は、ベース部材３の振動を検知する検知部、および当該検知部によって検知された振動を打ち消すようにベース部材３を駆動する駆動部等を備えて構成される。あるいは、当該制振機構は、パッシブ方式の制振機構であってもよい。当該パッシブ方式の制振機構は、ベース部材３の振動を減衰させるためのダンバー等を備えて構成される。

【0097】

このような制振機構によってベース部材３は、非常に安定した状態で上述の駆動機構７０（移動部材７１，７２，７３等）を支持することが可能である。換言すれば、駆動機構７０および撮像部７５は、非常に安定した状態でベース部材３によって支持される。

【0098】

以上のような態様においては、移動側部材７１，７２，７３の少なくとも１つの方向における移動後において、当該移動側部材が固定側部材７３に対して面接触して保持された状態で、２つのマーク（ＭＫ１，ＭＫ２）のうちの少なくとも一方のマーク（ＭＫ２）が撮像される。

【0099】

より詳細には、撮像部７５は、ベース部材３とＹ方向移動部材７１との間でのＹ方向におけるＹ方向移動動作と、Ｙ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２との間でのＸ方向におけるＸ方向移動動作と、Ｘ方向移動部材７２とＺ方向移動部材７３との間でのＺ方向におけるＺ方向移動動作とのうちの少なくとも１つの移動動作を伴うことによって、アライメントマークＭＫ２は、アライメントマークＭＫ１とは異なる位置で撮像される。アライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の撮像時（特にアライメントマークＭＫ２の撮像時）においては、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に対して面接触して保持され且つＸ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に対して面接触して保持され且つＺ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に対して面接触して保持されている。

【0100】

これによれば、安定したベース部材３の上にＹ方向移動部材７１が安定的に保持（固定）され、当該Ｙ方向移動部材７１の上にＸ方向移動部材７２が安定的に保持（固定）され、更にＸ方向移動部材７２の上にＺ方向移動部材７３が安定的に保持（固定）される。
したがって、Ｚ方向移動部材７３に固定された撮像部７５は、非常に安定的に保持される。

【0101】

その結果、移動停止後の揺れを非常に小さな値（たとえば、０．２μｍ（マイクロメートル））以下に収束させることが可能である。すなわち、移動停止後の揺れ（たとえば５μｍ（マイクロメートル））が所定の精度よりも小さな値にまでは収束しない、との上述の問題は、解決される。また、さらに正確に位置合わせを行うことが可能である。

【0102】

ここにおいて、図２３は、従来技術に係るアライメント装置９０１を示す図であり、図２４は、従来技術に係るカメラ移動機構（ボールベアリングを用いた移動機構）の一例を示す図である。また、図２５は、図２４のＡ−Ａ’断面の一部（ボールベアリング付近）を示す図である。

【0103】

従来技術に係るカメラ移動機構９７０（図２３）においては、撮像部（カメラ）を３つの方向（Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向）に移動するための駆動機構が設けられている。各方向の駆動機構は、それぞれボールベアリングを用いて構成されている。たとえば図２４に示されるように、Ｚ方向の駆動機構においては、Ｚ方向に駆動される移動部材（たとえばＺ方向移動部材）９８３は、他の部材（たとえば、Ｘ方向移動部材）９８２に対してボールベアリング９８６を介してスライド移動可能である。なお、他の方向においても同様の駆動構成が採用されている。

【0104】

当該カメラ移動機構９７０においては、図２４および図２５に示すように、互いに相対的に駆動される２つの被駆動部材（移動部材）は、ボールベアリング（詳細には剛球９８６）を挟んで互いに接触しており、たとえば、当該ボールベアリングに用いられる各剛球（ボール）９８６は２点（ないし４点）程度で当該２つの被駆動部材に接触している。すなわち、「点接触」によって被駆動部材が保持されている。この場合、安定性が必ずしも十分ではなく、上述のような問題、すなわち、撮像部の移動終了時（停止時）に、当該撮像部の振動が所定の精度にまでは収束しない（図２６参照）、との問題が発生する。たとえば、５μｍ（マイクロメートル）程度の揺れが残存する。

【0105】

なお、本願発明者は、ボールベアリングに代えてローラベアリングを採用し、被駆動部材との接触状態を「点接触」から「線接触」へと変更してみたところ、振動は２μｍ（マイクロメートル）程度にまで低減された。しかしながら、未だ所定の精度よりも大きな振動が残存した。

【0106】

これに対して、本願発明者は、当該従来技術に係る駆動機構とは全く異なる上述のような構成、端的に言えば、２つの被駆動部材（移動部材）を面接触して保持する構成を案出した。これにより、２つの被駆動部材を非常に安定的に保持することが可能となり、撮像部の移動停止後の揺れを非常に小さな値（たとえば、０．２μｍ（マイクロメートル））以下に収束させることができた。換言すれば、撮像部７５を安定的に保持することによって、撮像部７５の揺れを抑制することが可能である。

【0107】

ここにおいて、仮に画像取り込み時（撮像時）に撮像部７５が振動すると、撮影画像に「ぼやけ」及び／又は「歪み」等が生じるため、高精度な取り込みを行うことが困難である。通常、受光素子は１画素ずつ一定時間（たとえば３３ｍｓ）に得られた光の量を記憶する。ところが、撮像部７５が振動すると、当該一定時間に各画素に入射すべき光が、他の画素にも入射する等のため当該各画素に正確に入射せず、特にエッジ部分での明暗が明確にならずに「ぼやけ」（あるいは「歪み」）が撮影画像に発生する。

【0108】

一方、上記実施形態によれば、アライメントマークの撮像時における撮像部７５の揺れ（振動）を抑制することが可能であるので、このような「ぼやけ」等の発生を回避ないし抑制することが可能である。ひいては、当該撮影画像に基づいて、正確な位置ずれを把握し、正確な位置合わせを行うことが可能である。

【0109】

＜１−７．撮像動作（Ｚ方向移動を伴う動作）＞
次に、撮像部７５のＺ方向移動を伴う撮像動作について説明する。

【0110】

たとえば、図６に示すように、上下方向に対向配置された２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２のＺ方向の距離Ｈが所定程度よりも大きい場合等においては、上述のように撮像部７５のＺ方向駆動動作を伴う撮影動作が行われる。具体的には、まず、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１を合焦させてアライメントマークＭＫ１が撮影された後、撮像部７５が鉛直方向（Ｚ方向）に移動されてフォーカス位置が調整され、今度は他方の対象物９２のアライメントマークＭＫ２を合焦させてアライメントマークＭＫ２が撮影される。以下、このような動作について、撮像部７５Ｎの動作を中心にさらに詳細に説明する。

【0111】

具体的には、図６に示すように、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ｂ）の直下の位置（水平方向位置（Ｘｂ，Ｙｂ））に存在するものとする。この状態において、撮像部７５Ｎは、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ｂ）が合焦するように撮像部７５をＺ方向に移動させる。当該移動中には、駆動機構７０（図１３等参照）において上述のようにエア供給が行われ、各移動部材は円滑に移動する。一方、当該移動が完了すると、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｘ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に面接触して保持（詳細には吸着保持）される。これにより、上述のように、撮像部７５Ｎは、ベース部材３に対して安定的に保持される。

【0112】

この状態において、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ１ｂを合焦状態で撮影し、当該アライメントマークＭＫ１ｂの撮影画像Ｇ１（Ｇ１ｂ）を取得する。

【0113】

つぎに、撮像部７５Ｎは、鉛直方向（Ｚ方向）に移動して合焦状態を調整し、今度は他方の対象物９２のアライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ｂ）を合焦させる。当該Ｚ方向の移動中には、Ｘ方向移動部材７２とＺ方向移動部材７３との間にエア供給が行われ、Ｚ方向移動部材７３はＸ方向移動部材７２に対して円滑に移動する。なお、Ｚ方向の移動中においては、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に面接触して保持（詳細には吸着保持）されており、Ｘ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に面接触して保持（詳細には吸着保持）されている。

【0114】

一方、当該移動が完了すると、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に面接触して保持（詳細には吸着保持）される。より詳細には、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｘ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に面接触して保持（詳細には吸着保持）される。これにより、撮像部７５Ｎは、ベース部材３に対して安定的に保持される。

【0115】

そして、この状態において、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ２ｂを合焦状態で撮影し、当該アライメントマークＭＫ２ｂの撮影画像Ｇ２（Ｇ２ｂ）を取得する。

【0116】

そして、これらの撮影画像Ｇ１ｂ，Ｇ２ｂに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘｂ，Δｙｂ）が求められる。

【0117】

なお、ここでは、撮像部７５Ｎについて主に説明したが、撮像部７５Ｍについても同様である。撮像部７５Ｍは、アライメントマークＭＫ１ａに関する撮影画像Ｇ１ａと、アライメントマークＭＫ２ａに関する撮影画像Ｇ２ａとを取得する。そして、撮影画像Ｇ１ａ，Ｇ２ａに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘａ，Δｙａ）が求められる。

【0118】

また、上述のような動作（撮像部７５のＺ方向移動動作）は、図６のように、２つの対象物９１，９２がＺ方向に離間した状態で当該２つの対象物９１，９２の各アライメントマークが撮影される場合に限定されない。たとえば、図７に示すように、２つの対象物９１，９２が互いに接触した状態において当該２つの対象物９１，９２の各アライメントマークが撮影される場合にも行われ得る。特に、アライメントマークＭＫ１が下側の対象物９１の下側表面に設けられ且つアライメントマークＭＫ２とが上側の対象物９２の上側表面に設けられる場合などには、両マークＭＫ１，ＭＫ２の相互間の距離Ｈが所定程度よりも大きくなることがある。

【0119】

＜１−８．撮像動作（水平移動を伴う動作）＞
次に、撮像部７５のＸ方向移動を伴う撮像動作について説明する。

【0120】

たとえば、図１０に示すように、上下の２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２のＸ方向の位置が互いに異なる場合等においては、上述のように撮像部７５の水平方向駆動動作（詳細にはＸ方向駆動動作）を伴う動作が行われる。なお、ここでは、撮像部７５のＺ方向移動動作も併せて行われる態様を例示する。

【0121】

具体的には、図１０に示すように、撮像部７５Ｎは、まず、アライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ｂ）の直下の位置（Ｘ方向位置Ｘ１ｂ）に移動する。また、撮像部７５Ｎは、下側の対象物９１のアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ｂ）が合焦するように撮像部７５をＺ方向に移動させる。当該移動中には、駆動機構７０（図１３等参照）において上述のようにエア供給が行われ、各移動部材は円滑に移動する。一方、当該移動が完了すると、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｘ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に面接触して保持（詳細には吸着保持）される。これにより、上述のように、撮像部７５Ｎは、ベース部材３に対して安定的に保持される。

【0122】

この状態において、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ１ｂを合焦状態で撮影し、当該アライメントマークＭＫ１ｂの撮影画像Ｇ１（Ｇ１ｂ）を取得する。

【0123】

つぎに、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ｂ）の直下の位置（Ｘ方向位置Ｘ２ｂ）に移動する。また、撮像部７５Ｎは、さらに鉛直方向（Ｚ方向）に移動して合焦状態を調整し、今度は他方の対象物９２のアライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ｂ）を合焦させる。

【0124】

これらの移動中（Ｘ方向およびＺ方向の移動中）には、駆動機構７０（図１３等参照）において上述のようにエア供給が行われ、各移動部材は円滑に移動する。

【0125】

Ｘ方向の移動中には、Ｘ方向移動部材７２とＹ方向移動部材７１との間にエア供給が行われ、Ｘ方向移動部材７２はＹ方向移動部材７１に対して円滑に移動する。また、Ｚ方向の移動中には、Ｘ方向移動部材７２とＺ方向移動部材７３との間にエア供給が行われ、Ｚ方向移動部材７３はＸ方向移動部材７２に対して円滑に移動する。

【0126】

一方、当該移動が完了すると、Ｙ方向移動部材７１がベース部材３に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｘ方向移動部材７２がＹ方向移動部材７１に面接触して保持（詳細には吸着保持）され、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に面接触して保持（詳細には吸着保持）される。これにより、上述のように、撮像部７５Ｎは、ベース部材３に対して安定的に保持される。

【0127】

そして、この状態において、撮像部７５Ｎは、アライメントマークＭＫ２ｂを合焦状態で撮影し、当該アライメントマークＭＫ２ｂの撮影画像Ｇ２（Ｇ２ｂ）を取得する。

【0128】

そして、これらの撮影画像Ｇ１ｂ，Ｇ２ｂに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘｂ，Δｙｂ）が求められる。

【0129】

なお、撮像部７５Ｎについて主に説明したが、撮像部７５Ｍについても同様である。撮像部７５Ｍは、アライメントマークＭＫ１ａに関する撮影画像Ｇ１ａと、アライメントマークＭＫ２ａに関する撮影画像Ｇ２ａとを取得する。そして、撮影画像Ｇ１ａ，Ｇ２ａに基づいて、１組のアライメントマーク（ＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ）の相互間の位置ずれ（詳細には、位置ずれベクトル）（Δｘａ，Δｙａ）が求められる。

【0130】

また、ここでは、各対象物９１，９２のアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２がＸ方向に離間して配置されている場合（図８および図９等参照）に、撮像部７５がＸ方向に駆動される態様等が例示されているが、これに限定されず、撮像部７５はＹ方向に駆動されてもよい。たとえば、各対象物９１，９２のアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂがＹ方向に離間して配置されている場合に、２つのアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの離間方向であるＹ方向において、撮像部７５が移動されるようにしてもよい。当該移動の前にアライメントマークＭＫ１ｂの撮影画像Ｇ１ｂが撮影され、当該移動の後にアライメントマークＭＫ２ｂの撮影画像Ｇ２ｂが撮影されればよい。

【0131】

また、撮像部７５は、Ｘ方向とＹ方向との双方に駆動されてもよい。たとえば、各対象物９１，９２のアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂがＸ方向とＹ方向との双方に離間して配置されている場合に、２つのアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの離間方向（Ｘ方向およびＹ方向）において、撮像部７５が移動されるようにしてもよい。当該移動の前にアライメントマークＭＫ１ｂの撮影画像Ｇ１ｂが撮影され、当該移動の後にアライメントマークＭＫ２ｂの撮影画像Ｇ２ｂが撮影されればよい。

【0132】

また、ここでは、撮像部７５の水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）の移動動作のみならず、撮像部７５のＺ方向移動動作もが行われる態様等が例示されているが、これに限定されない。たとえば、撮像部７５のＺ方向移動動作は行われず、撮像部７５の水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）の移動動作のみが行われてもよい。

【0133】

また、ここでは、対向する２つの対象物９１，９２のそれぞれにおいて、その対向面（内側の面）とは反対側の面（たとえば、下側の基板９１の下面、および上側の基板９２の上面）にアライメントマークが設けられている（図６および図７参照）が、これに限定されない。具体的には、対向する２つの対象物のそれぞれにおいて、その対向面（たとえば、下側の基板９１の上面、および上側の基板９２の下面）において、各アライメントマークＭＫ１，ＭＫ２が設けられてもよい。各対向面側にアライメントマークが設けられている場合においても、撮像部７５の水平方向および／または鉛直方向に関する上述の動作等が適用され得る。特に、図２２に示すように、両基板９１，９２が、各表面に設けられた凸状の金属部材（バンプおよびパッド等）同士で接触しているとき（詳細には、基板９１の金属パッド９７と基板９２の金属バンプ９８とが接触している状態）においては、下側の基板９１の上面に設けられたアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ａ等）と上側の基板９２の下面に設けられたアライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ａ等）とが比較的離れていることがある。このような状況においても、撮像部７５がＺ方向（上下方向）に駆動され、下側のアライメントマークＭＫ１と上側のアライメントマークＭＫ２とがＺ方向（フォーカス調整方向）における互いに異なる位置（フォーカス位置）で撮像されるようにしてもよい。

【0134】

＜２．第２実施形態＞
第２実施形態は、第１実施形態の変形例である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

【0135】

第１実施形態においては、撮像部７５は、移動部材７１，７２，７３の移動前にアライメントマークＭＫ１を撮影し、当該移動後にアライメントマークＭＫ２を撮像している。換言すれば、或る１組の対象物に関する２つの撮影動作の間に、撮像部７５の移動動作が行われる態様が例示されている。

【0136】

一方、この第２実施形態においては、基板種類の切り換えに際して撮像部７５の移動動作が行われる態様が例示される。

【0137】

具体的には、上述の１組の対象物（９１，９２）とは別の１組の対象物（９３，９４）に関するアライメント動作が予め行われた状況を想定する。なお、当該対象物（９３，９４）に関する当該アライメント動作は、たとえば、上述のアライメント動作と同様にして行われる。そして、当該別の１組の対象物（９３，９４）に関するアライメント動作が完了した後に、移動部材７１，７２，７３の少なくとも１つの移動動作が行われ、さらにその後に、上述の１組の対象物（９１，９２）に関するアライメント動作が行われる。以下では、このような態様についてさらに詳細に説明する。

【0138】

ここにおいて、当該２つの対象物９３，９４は、上述の対象物９１，９２とは異なる種類の対象物（たとえば、異なる種類の基板）であるものとする。また、対象物９３，９４は、それぞれ、対象物９１，９２とは異なる水平位置に、アライメントマークＭＫ３，ＭＫ４（図１５参照）を有しているものとする。ここでは、当該アライメントマークＭＫ３，ＭＫ４（詳細には、ＭＫ３ａ，ＭＫ３ｂ，ＭＫ４ａ，ＭＫ４ｂ）は、平面視略円形の対象物９３，９４において、アライメントマークＭＫ１，ＭＫ２（詳細には、ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ）よりも内周側にそれぞれ設けられている。

【0139】

なお、或る１組のアライメント対象物（９１，９２）のアライメント動作とその直前の１組のアライメント対象物（９３，９４）のアライメント動作とは、比較的短い期間を空けて行われてもよいが、これに限定されず、比較的長い期間（たとえば、１ヶ月〜数ヶ月）を空けて行われてもよい。すなわち、比較的長い空白期間を挟んで基板種類の切換が行われてもよい。そのような場合に、直前の対象物（９３，９４）を撮影するための位置から、新たな対象物（９１，９２）を撮影するための位置へと、移動部材７１，７２，７３の少なくとも１つが移動されるようにしてもよい。

【0140】

図１５に示されるように、対象物９３の左側のアライメントマークＭＫ３ａは、撮像部７５がＸ方向位置Ｘ３ａに存在する状態で撮像され、対象物９３の右側のアライメントマークＭＫ３ｂは、撮像部７５がＸ方向位置Ｘ３ｂに存在する状態で撮像される。Ｘ方向位置Ｘ３ａは、対象物９１，９２に関するＸ方向位置Ｘａ，Ｘ１ａ，Ｘ２ａ（図６，図７および図１０参照）のいずれとも異なる位置であり、Ｘ方向位置Ｘ３ｂは、対象物９１，９２に関するＸ方向位置Ｘｂ，Ｘ１ｂ，Ｘ２ｂ（図６，図７および図１０参照）のいずれとも異なる位置である。

【0141】

同様に、対象物９４の左側のアライメントマークＭＫ４ａは、撮像部７５がＸ方向位置Ｘ４ａに存在する状態で撮像され、対象物９３の右側のアライメントマークＭＫ４ｂは、撮像部７５がＸ方向位置Ｘ４ｂに存在する状態で撮像される。Ｘ方向位置Ｘ４ａは、対象物９１，９２に関するＸ方向位置Ｘａ，Ｘ１ａ，Ｘ２ａ（図６，図７および図１０参照）のいずれとも異なる位置であり、Ｘ方向位置Ｘ４ｂは、対象物９１，９２に関するＸ方向位置Ｘｂ，Ｘ１ｂ，Ｘ２ｂ（図６，図７および図１０参照）のいずれとも異なる位置である。なお、ここでは、Ｘ方向位置Ｘ４ａはＸ方向位置Ｘ３ａと同じ位置であり、Ｘ方向位置Ｘ４ｂはＸ方向位置Ｘ３ｂと同じ位置である場合を例示するが、これに限定されず、それぞれ互いに異なっていてもよい。

【0142】

このような場合において、対象物９３，９４に関するアライメント動作が完了すると、撮像部７５は、駆動機構７０の駆動動作によって次の対象物９１，９２の撮影用の位置へと移動する。換言すれば、対象物の種類の切り換えに伴って、撮像部７５は、駆動機構７０を用いて移動される。

【0143】

たとえば、撮像部７５Ｍは、Ｘ方向位置Ｘ４ａ（Ｘ３ａ）にて対象物９４のアライメントマークＭＫ４ａの撮影が完了すると、駆動機構７０Ｍ（Ｘ方向移動部材７２等）の駆動動作によって、対象物９１（次の対象物）の撮影用の位置Ｘ１ａへと（Ｘ方向に）移動する。換言すれば、撮像部７５Ｍは、直前のアライメント対象物（９３，９４）にそれぞれ付された１組のアライメントマークＭＫ３，ＭＫ４に関する撮像後に、当該１組のアライメントマークＭＫ３，ＭＫ４に関する直前の撮像位置（Ｘ４ａ）とは異なる位置Ｘ１ａに移動する。

【0144】

同様に、撮像部７５Ｎは、Ｘ方向位置Ｘ４ｂ（Ｘ３ｂ）にて対象物９４のアライメントマークＭＫ４ｂの撮影が完了すると、駆動機構７０Ｎ（Ｘ方向移動部材７２等）の駆動動作によって、対象物９１の撮影用の位置Ｘ１ｂへと（Ｘ方向に）移動する。換言すれば、撮像部７５Ｎは、直前のアライメント対象物（９３，９４）にそれぞれ付された１組のアライメントマークＭＫ３，ＭＫ４に関する撮像後に、当該１組のアライメントマークＭＫ３，ＭＫ４に関する直前の撮像位置（Ｘ４ｂ）とは異なる位置Ｘ１ｂに移動する。

【0145】

このような対象物の種類切り換え時においても、上述のように仮に従来技術を用いて撮像部７５を駆動する場合には、当該撮像部７５の振動が十分には収束しない、との問題が生じ得る。

【0146】

これに対して、この第２実施形態においては、アライメント対象物の種類切り換え時において、上述のような駆動機構７０を用いて撮像部７５が移動される。換言すれば、移動側部材７１，７２，７３の少なくとも１つの方向における移動後において、当該移動側部材が固定側部材７３に対して面接触して保持された状態で、２つのマーク（ＭＫ１，ＭＫ２）のうちの少なくとも一方のマーク（ＭＫ１等）が撮像される。

【0147】

これによれば、移動停止後において撮像部７５が安定的に保持されるので、当該撮像部７５の振動が所定の精度にまで収束され得る。そして、撮像部７５が安定的に保持された状態で、アライメントマークＭＫ１等が撮像されるので、撮像部７５の揺れを抑制することが可能である。したがって、撮影画像における「ぼやけ」等の発生を回避ないし抑制することが可能である。ひいては、当該撮影画像に基づいて正確な位置ずれを把握し、正確な位置合わせを行うことが可能である。

【0148】

なお、第２実施形態においては、対象物９４のアライメントマークＭＫ４（ＭＫ４ｂ等）の撮影（直前の撮影）が完了すると、撮像部７５が次の対象物９１の撮影用の位置Ｘ１ｂへとＸ方向に移動しているが、これに限定されない。

【0149】

より詳細には、対象物９４のアライメントマークＭＫ４ｂの撮影（直前の撮影）の完了後に、撮像部７５が他の水平方向（Ｙ方向等）へと移動する場合に、上述の思想が適用されてもよい。たとえば、対象物９３，９４が、それぞれ、Ｙ方向にて対象物９１，９２とは異なる位置に、アライメントマークＭＫ３，ＭＫ４を有している場合に、上述の駆動機構７０（Ｙ方向移動部材７１等）を利用して撮像部７５をＹ方向に駆動してもよい。

【0150】

あるいは、対象物９４のアライメントマークＭＫ４ｂの撮影（直前の撮影）の完了後に、撮像部７５が水平方向以外の方向（Ｚ方向等）へと移動する場合に、上述の思想が適用されてもよい。

【0151】

たとえば、対象物９４のアライメントマークＭＫ４ｂの撮影が完了すると、撮像部７５Ｎは、駆動機構７０Ｎ（Ｚ方向移動部材７３等）の駆動動作によって、上側の対象物９４の撮影用のＺ方向位置から（次の組の）下側の対象物９１の撮影用のＺ方向位置へと（Ｚ方向に）移動されるようにしてもよい。あるいは、対象物９４のアライメントマークＭＫ４ｂの撮影が完了すると、撮像部７５Ｎは、駆動機構７０Ｎ（Ｚ方向移動部材７３等）の駆動動作によって、対象物９４の撮影用のＺ方向位置から（次の組の）対象物９２の撮影用のＺ方向位置へと（Ｚ方向に）移動されるようにしてもよい。特に、対象物９３，９４上の２つのアライメントマークＭＫ３，ＭＫ４の相互間の距離Ｈ（Ｈ３とも称する）が対象物９１，９２上の２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の相互間の距離Ｈ（Ｈ１とも称する）とは異なっている場合（対象物９３，９４が、それぞれ、対象物９１，９２の厚さとは異なる厚さを有している場合等）には、対象物９４の撮影用のＺ方向位置と対象物９２の撮影用のＺ方向位置とが異なっていることがある。このような場合に、上述の駆動機構７０を利用して撮像部７５をＺ方向に駆動してもよい。

【0152】

第１実施形態においては、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２とがそれぞれ個別に撮像されている。この第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２とはそれぞれ個別に撮像されればよい。

【0153】

ただし、これに限定されず、第２実施形態においてアライメントの対象物（９３，９４）が新たな対象物（９１，９２）に切り換えられた後において、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２とが同時に撮影されてもよい。換言すれば、２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２の双方を含む１枚の撮影画像が取得されてもよい。より詳細には、２つのアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの双方を含む１枚の撮影画像（左側の撮影画像）Ｇａと、２つのアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの双方を含む他の１枚の撮影画像（右側の撮影画像）Ｇｂとがそれぞれ取得されればよい。

【0154】

また、このように２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２が同時に撮影される場合には、次のような合焦状態で撮影が行われることが好ましい。

【0155】

たとえば、左側の撮影画像Ｇａは、アライメントマークＭＫ１ａのＺ方向位置ＰＺ１とアライメントマークＭＫ２ａのＺ方向位置ＰＺ２との間のＺ方向位置ＭＰ（図１６参照）の仮想物体からの光が撮像部７５の撮像面に結像する状態で、取得されることが好ましい。両アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの間（好ましくは中間（中央））に焦点を合わせることによれば、両アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａのぼけ具合のバランスを図り（一方のぼけ具合が非常に大きくなることを防止し）、高精度に位置ずれを検出することが可能である。

【0156】

さらに、好ましくは、撮影画像Ｇａ内の両アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａに対応する部分のエッジがベクトル相関法により検出される。ベクトル相関法を用いることによれば、画像のぼけ具合による影響を低減することが可能であり、アライメントマークの位置を精度良く検出することができる。

【0157】

なお、撮影画像Ｇｂにおいても同様である。

【0158】

また、上記第２実施形態においては、対象物の種類が切り換えられた後における新たな種類の対象物（９１，９２）の撮影に際して、Ｘ方向等への撮像部７５の更なる移動動作が実行される態様が例示されているが、これに限定されない。たとえば、新たな種類の対象物（９１，９２）に関しては、各アライメントマークＭＫ１，ＭＫ２（たとえば、ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）に関する撮影動作が、駆動機構７０による撮像部７５の駆動を伴わずに行われるようにしてもよい。また、切り換え前の種類の対象物（９３，９４）に対しても、同様に、２つのマークＭＫ３，ＭＫ４（たとえば、ＭＫ３ｂ，ＭＫ４ｂ）に関する撮影動作が駆動機構７０による撮像部７５の駆動を伴わずに行われるようにしてもよい。

【0159】

より詳細には、まず、駆動機構７０による撮像部７５の駆動動作を伴うことなく（撮像部７５が或る位置から移動することなく）図１５のような対象物９３，９４の各マークＭＫ３，ＭＫ４に関する撮影が行われてアライメント動作が行われる。次に、対象物の切り換えに際して、駆動機構７０による撮像部７５の駆動動作（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の少なくとも１つの方向に関する駆動動作）が行われる。これにより、撮像部７５は、或る位置から別の位置（移動後の位置）へと移動する。次に、図７のような対象物９１，９２の各マークＭＫ１，ＭＫ２に関する撮影が行われてアライメント動作が行われる。各マークＭＫ１，ＭＫ２に関する撮影は、駆動機構７０による撮像部７５の駆動動作を伴うことなく（撮像部７５が当該別の位置（移動後の位置）から移動することなく）行われる。たとえば、撮像部７５Ｎは、Ｘ方向位置Ｘｂに存在したまま、両マークＭＫ１，ＭＫ２を撮影すればよい。また、撮像部７５Ｎは、そのＺ方向位置を変更することなく、上述のような合焦状態で２つのアライメントマークＭＫ１，ＭＫ２を同時に撮影すればよい。

【0160】

＜３．変形例等＞
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。

【0161】

たとえば、上記各実施形態等においては、ベース部材３自体が駆動機構７０の固定側部材である場合が例示されているが、これに限定されず、当該固定側部材は、当該ベース部材３に対して直接的または間接的に固定される部材であってもよい。

【0162】

また、上記各実施形態等においては、撮像部７５がＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の３方向に駆動され得る態様が例示されているが、これに限定されず、アライメント装置１は、これら３方向のうち１方向あるいは２方向のみに撮像部７５を駆動する構成を有していてもよい。換言すれば、撮像部７５に関する駆動機構７０は、Ｙ方向移動部材７１、Ｘ方向移動部材７２およびＺ方向移動部材７３の３つの移動部材を有しているが、これに限定されない。

【0163】

具体的には、撮像部７５は、Ｚ方向にのみ駆動されるようにしてもよい。より詳細には、駆動機構７０において、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２が設けられず、Ｚ方向移動部材７３のみが設けられてもよい。より詳細には、Ｚ方向移動部材７３がベース部材３に対して相対的に移動されるような構成が採用されるとともに、移動後においてＺ方向移動部材７３がベース部材３に対して面接触して保持（吸着保持）されるようにしてもよい。そして、Ｚ方向移動部材７３のＺ方向における移動動作を伴うことによって、撮像部７５は、２つのアライメントマークをＺ方向（フォーカス調整方向）における互いに異なる位置で撮像するようにしてもよい。なお、撮像部７５は、Ｚ方向移動部材７３に対して直接的または間接的に固定されればよい。

【0164】

あるいは、撮像部７５は、ＸＹ平面に平行な方向に関してのみ駆動されるようにしてもよい。

【0165】

たとえば、駆動機構７０において、Ｚ方向移動部材７３が設けられず、且つ、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２が設けられてもよい。撮像部７５は、Ｘ方向移動部材７２（あるいはＹ方向移動部材７１）に対して直接的または間接的に固定されればよい。そして、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２による水平方向における移動動作を伴うことによって、撮像部７５は、２つのアライメントマークを水平方向において互いに異なる位置で撮像するようにしてもよい。これによれば、２つのアライメントマークを、それぞれの撮影に適した位置に移動した状態で撮影することが可能である。そして、そのような各撮影画像（特に移動後の撮影画像）の取得に際して、ベース部材３とＹ方向移動部材７１との間の面接触、およびＹ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２との間の面接触を用いて安定化を図ることによって、撮像部７５の移動時（移動停止時）の揺れを抑制することが可能である。

【0166】

あるいは、駆動機構７０において、Ｚ方向移動部材７３が設けられず、且つ、Ｙ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２とのうちの一方のみが設けられてもよい。たとえば、３つの移動部材７１，７２，７３のうちＸ方向移動部材７２のみが設けられてもよい。撮像部７５は、Ｘ方向移動部材７２（あるいはＹ方向移動部材７１）に対して直接的または間接的に固定されればよい。

【0167】

より詳細には、Ｘ方向移動部材７２がベース部材３に対して相対的に駆動されるような構成が採用されるとともに、移動後においてＸ方向移動部材７２がベース部材３に対して面接触して保持されるようにしてもよい。そして、Ｘ方向移動部材７２による水平方向における移動動作を伴うことによって、撮像部７５は、当該水平方向（Ｘ方向）において互いに異なる位置で、２つのアライメントマークを撮像すればよい。これによれば、水平方向（Ｘ方向）において互いに異なる位置に配置された２つのアライメントマークを、それぞれの撮影に適した位置に移動した状態で撮影すること等が可能である。そして、そのような各撮影画像の取得に際して、ベース部材３とＸ方向移動部材７２とが面接触した状態で安定的に保持されることによって、撮像部７５の移動時の揺れを抑制することが可能である。

【0168】

あるいは、撮像部７５は、撮像部７５は、ＸＹ平面に平行な１つの方向とＺ方向とにのみ駆動されるようにしてもよい。具体的には、Ｚ方向移動部材７３が設けられ、且つ、Ｙ方向移動部材７１とＸ方向移動部材７２とのうちの少なくとも一方が設けられてもよい。たとえば、３つの移動部材７１，７２，７３のうち、Ｘ方向移動部材７２およびＺ方向移動部材７３のみが設けられてもよい。より詳細には、Ｘ方向移動部材７２がベース部材３に対して相対的に駆動され且つＺ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に対して相対的に駆動されるような構成が採用されるとともに、移動停止後において、Ｘ方向移動部材７２がベース部材３に対して面接触して保持され、Ｚ方向移動部材７３がＸ方向移動部材７２に対して面接触して保持されるようにしてもよい。撮像部７５は、Ｚ方向移動部材７３に対して直接的または間接的に固定されればよい。

【0169】

これによれば、撮像部７５は、２つのアライメントマークを、Ｚ方向（フォーカス調整方向）にて互いに異なる位置であり且つ水平方向に異なる位置でもある２つの位置でそれぞれ撮影すること等が可能である。そして、そのような各撮影画像の取得に際して、ベース部材３とＸ方向移動部材７２との間の面接触、およびＸ方向移動部材７２とＺ方向移動部材７３との間の面接触を用いて安定化を図ることによって、撮像部７５の移動時の揺れを抑制することが可能である。

【0170】

また、上記各実施形態においては、駆動機構７０の各移動部材７１，７２，７３は、それぞれ、１つの方向にのみ移動しているが、これに限定されない。たとえば、駆動機構７０の或る移動部材が２つの方向に移動するようにしてもよい。図１７は、このような変形例に係る駆動機構７０（７０Ｂ）を示す平面図である。

【0171】

移動部材７１ｘｙは、略矩形形状を有する薄板部材であり、ベース部材３の上に配置されている。移動部材７１ｘｙは、ベース部材３に対して２つの方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動することが可能である。第１実施形態（図１３等参照）と比較すると、Ｙ方向移動部材７１およびＸ方向移動部材７２に代えて、移動部材７１ｘｙが設けられている。

【0172】

具体的には、駆動機構７０Ｂは、当該移動部材７１ｘｙの周囲において、３つの押圧力付与部（押圧駆動部とも称する）５１，５２，５３と３つの弾性支持部６１，６２，６３とを備えている。これらの６つの部材５１，５２，５３，６１，６２，６３は、３組の挟持部（５１，６１），（５２，６２），（５３，６３）を構成し、当該３組の挟持部によって移動部材７１ｘｙが挟持される。そして、各挟持部と移動部材７１ｘｙとの各接触位置（ＰＴ１１，ＰＴ２１），（ＰＴ１２，ＰＴ２２），（ＰＴ１３，ＰＴ２３）が、それぞれ各挟持部に対応する挟持方向（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｙ方向）において変更されることによって、移動部材７１ｘｙが略水平平面に平行な方向に移動される。

【0173】

たとえば、図１８に示すように、押圧力付与部５１は、押圧点ＰＴ１１において移動部材７１ｘｙをＸ方向（詳細には−Ｘ方向）に押圧しながら、押圧力付与部５１の先端部の位置を−Ｘ方向に微小量ΔＸ０移動する。これに応じて、移動部材７１ｘｙも−Ｘ方向に微小量ΔＸ０移動する。このとき、弾性支持部６１の先端部の位置も−Ｘ方向に微小量ΔＸ０移動するとともに、弾性支持点ＰＴ２１にて、＋Ｘ方向の弾性支持力が弾性支持部６１から移動部材７１ｘｙへと付与される。そして、押圧力付与部５１による押圧力と弾性支持部６１による弾性力とが釣り合うことによって、移動部材７１ｘｙの位置が固定される。換言すれば、１組の挟持部（５１，６１）によって移動部材７１ｘｙが挟持され、接触位置ＰＴ１１，ＰＴ２１がそれぞれ挟持方向（ここではＸ方向）において−Ｘ方向に微小量ΔＸ０移動することによって、移動部材７１ｘｙが−Ｘ方向に微小移動する。

【0174】

同様にして、Ｙ方向にも同様に移動される。具体的には、図１９に示すように、押圧力付与部５２，５３は、それぞれ、押圧点ＰＴ１２，ＰＴ１３において移動部材７１ｘｙをＹ方向（詳細には＋Ｙ方向）に押圧しながら、各押圧力付与部５２，５３の先端部の位置を＋Ｙ方向に微小量ΔＹ０移動する。これに応じて、移動部材７１ｘｙも＋Ｙ方向に微小量ΔＹ０移動する。このとき、弾性支持部６２，６３の先端部の位置も＋Ｙ方向に微小量ΔＹ０移動するとともに、弾性支持点ＰＴ２２，ＰＴ２３にて、−Ｙ方向の弾性支持力が弾性支持部６２，６３から移動部材７１ｘｙへと付与される。そして、押圧力付与部５２，５３による押圧力と弾性支持部６２，６３による弾性力とが釣り合うことによって、移動部材７１ｘｙの位置が固定される。換言すれば、２組の挟持部（５２，６２），（５３，６３）によって移動部材７１ｘｙが挟持され、接触位置（ＰＴ１２，ＰＴ２２），（ＰＴ１３，ＰＴ２３）がそれぞれ挟持方向（ここではＹ方向）において＋Ｙ方向に微小量ΔＹ０移動することによって、移動部材７１ｘｙが＋Ｙ方向に微小移動する。

【0175】

ここにおいて、移動部材７１ｘｙがＸ方向および／またはＹ方向に移動する際には、ベース部材３と移動部材７１ｘｙとの間へのエア供給が行われる。移動部材７１ｘｙに設けられた複数の貫通孔を通して、当該エア供給が行われる。エア供給状態で移動部材７１ｘｙが移動することによって、ベース部材３との摺動抵抗が低減され、移動部材７１ｘｙはベース部材３に対してスムーズに移動することが可能である。好ましくは、移動部材７１ｘｙは、ベース部材３から浮いた状態（浮上状態）でスムーズに移動する。

【0176】

一方、移動が終了すると、エア供給が停止される。さらに今度は逆にエアの負圧を利用して、移動部材７１ｘｙはベース部材３に対して吸着保持される。なお、エアの負圧を利用した吸着動作は、移動部材７１ｘｙに設けられた複数の貫通孔を通して、（今度は逆に）エアを吸引することによって行われる。この際、移動部材７１ｘｙの底面がベース部材３の上面（平面）に面接触して保持される。このような面接触保持（より詳細には吸着保持）によって、移動部材７１ｘｙは非常に安定的にベース部材３に固定される。

【0177】

また、移動部材７１ｘｙには、Ｘ方向移動部材７２と同様に、ガイド部７８が設けられている。Ｚ方向移動部材７３は、ガイド部７８を用いて案内されることによって、移動部材７１ｘｙに対してＺ方向に移動することが可能である。

【0178】

以上のような変形例に係る駆動機構７０（７０Ｂ）が用いられてもよい。

【0179】

また、上記各実施形態等においては、各マークは、同軸照明系を用いた照明によって撮影されている（換言すれば、マークからの反射光を主に用いて当該マークが撮影されている）が、これに限定されない。たとえば、両対象物９１，９２の上方側（一方側）に照明（光源）を設け、当該光源から出射された光を両対象物９１，９２のマーク部分（アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ）にて透過させる。そして、その透過光が、両対象物９１，９２の下方側（他方側）に設けられた撮像部を用いて撮像されるようにしてもよい。換言すれば、各アライメントマークの部分を透過した透過光のみを用いて当該各アライメントマークＭＫに関する各撮影画像が取得されるようにしてもよい。

【0180】

また、上記各実施形態等においては、撮影用の光として赤外光が用いられているが、これに限定されず、たとえば可視光が用いられてもよい。その場合、ステージ１２においてマークに対応する部分には、透光部（ガラス等の透光性材料によって構成される部分あるいは中空部）が設けられればよい。また、各対象物９１，９２のカメラ側の面（たとえば、下側の面）にアライメントマークがそれぞれ設けられるとともに、カメラ側の対象物（たとえば９１）に光を透過させる部分（透光部）が設けられればよい。

【0181】

また、上記各実施形態等においては、２つの撮像部（カメラ）７５Ｍ，７５Ｎを用いて、左右両側のマークＭＫ（ＭＫａ，ＭＫｂ）を並列的に（ほぼ同時に）撮影して各撮影画像を取得する場合を例示するが、これに限定されない。

【0182】

たとえば、１つの撮像部７５（たとえば７５Ｎ）をＸ方向および／またはＹ方向等に移動することによって、同一の対象物対（９１，９２）内の左右両側のマークＭＫ（ＭＫａ，ＭＫｂ）に関する各撮影画像を逐次的に撮影して取得するようにしてもよい。より詳細には、１つの撮像部７５Ｎが、アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａを撮影した後に、Ｚ方向および／または水平方向に移動し、さらにアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂを撮影するようにしてもよい。換言すれば、或る１組のアライメントマーク（ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ）に関する直前の撮像位置とは異なる位置にて、別の１組のアライメントマーク（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）が撮影されてもよい。このような場合において、上述の駆動機構７０Ｎを用いて撮像部７５Ｎを移動することによれば、移動停止後の撮像部７５Ｎの揺れを良好に抑制すること等が可能である。換言すれば、移動側部材７１，７２，７３の少なくとも１つの方向における移動後において、当該移動側部材が固定側部材７３に対して面接触して保持された状態で、２つのマーク（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）のうちの少なくとも一方のマーク（ＭＫ１ｂ）が撮像されるので、移動停止後の撮像部７５Ｎの揺れを良好に抑制すること等が可能である。

【0183】

なお、この場合、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１（ＭＫ１ａ等）と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２（ＭＫ２ａ等）とはそれぞれ個別に撮像されてもよいが、これに限定されない。たとえば、対象物９１に設けられたアライメントマークＭＫ１と対象物９２に設けられたアライメントマークＭＫ２とが同時に撮影されてもよい。より詳細には、２つのアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの双方を含む１枚の撮影画像（左側の撮影画像）Ｇａと、２つのアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの双方を含む他の１枚の撮影画像（右側の撮影画像）Ｇｂとがそれぞれ取得されてもよい。すなわち、１つの撮像部７５Ｎが、アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａを同時に撮影した後に、Ｚ方向および／または水平方向に移動し、さらにアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂを同時に撮影するようにしてもよい。

【0184】

また、上記各実施形態等においては、移動完了状態において３つの移動部材７１，７２，７３が互いに平面で面接触して吸着保持されているが、これに限定されず、３つの移動部材７１，７２，７３が互いに曲面で面接触して吸着保持されてもよい。

【0185】

また、上記各実施形態等においては、撮像部７５（その光軸がＺ方向に沿って配置された撮像部）を当該Ｚ方向に移動させる前後の各位置で、Ｚ方向において異なる位置を有する各アライメントマーク（ＭＫ１，ＭＫ２等）がそれぞれ撮影されているが、これに限定されない。端的に言えば、フォーカス調整方向は、Ｚ方向に限定されない。具体的には、光路変更手段（ミラー等）を用いて光の進行方向が変更されるようにしてもよい。

【0186】

たとえば、撮像部７５の光軸がＺ方向以外の所定方向（たとえばＸ方向）に沿って配置されるとともに、当該所定方向（たとえばＸ方向）に移動部材を駆動することによって撮像部７５がＸ方向に移動されるとともに、光路変更手段（ミラー等）を用いて光の進行方向がＸ方向とＺ方向との間で変更されるようにしてもよい。より詳細には，Ｘ方向（−Ｘ方向）に進行する光（撮像部７５の同軸照明系から出射された光等）がミラーで反射されてＺ方向（＋Ｚ方向）に進行するとともに、Ｚ方向（−Ｚ方向）に進行する光（マーク等にて反射された光）が当該ミラーで再び反射されて今度はＸ方向（＋Ｘ方向）に進行し、撮像部７５で受光されるようにしてもよい。

【0187】

これによれば、撮像部７５をＸ方向に移動することによって、２つの対象物の対向面に垂直な方向（Ｚ方向）において互いに異なる位置に配置された２つのアライメントマーク（ＭＫ１，ＭＫ２等）の合焦状態を調整することが可能である。換言すれば、２つの対象物の対向面に垂直な方向（Ｚ方向）において互いに異なる位置に配置された２つのアライメントマーク（ＭＫ１，ＭＫ２等）を、フォーカス調整方向における互いに異なる位置（Ｘ方向位置）で撮像することが可能である。

【0188】

同様に、上記各実施形態等においては、撮像部７５をＸＹ平面（水平平面）に沿って移動させることによって、当該ＸＹ平面において異なる位置を有する各アライメントマークがそれぞれ撮影されているが、これに限定されない。

【0189】

たとえば、撮像部７５をＸＹ平面以外の面（たとえばＹＺ平面）に沿って移動させることによって、ＸＹ平面において異なる位置を有する各アライメントマーク（ＭＫ１，ＭＫ２等）がそれぞれ撮影されるようにしてもよい。詳細には、上述のような光路変更手段等が用いられればよい。より詳細には、撮像部７５の光軸がＸ方向に沿うように撮像部７５が配置されるとともに、カメラ駆動機構７０による撮像部７５の平面移動がＹＺ平面に平行な２つの方向にて行われればよい。そして、光路変更手段（ミラー等）を用いて光の進行方向がＸ方向とＺ方向との間で変更されればよい。

【0190】

また、上記各実施形態等においては、２つの対象物９１，９２が上下方向に並べられて配置されているが、これに限定されず、２つの対象物９１，９２は別の方向（たとえば左右方向）に並べられて配置されてもよい。

【0191】

また、上記各実施形態等においては、基板と基板との位置合わせ（ウエハオンウエハ（ＷＯＷ：Wafer-on-Wafer）接合技術）に本発明が適用される態様が例示されているが、これに限定されない。換言すれば、アライメント処理の対象物は、基板同士に限定されない。たとえば、１枚の基板と複数のチップのそれぞれとの位置合わせ（チップオンウエハ（ＣＯＷ：Chip-on-Wafer）接合技術）に本発明が適用されてもよく、あるいは、チップ同士の位置合わせ（チップオンチップ（ＣＯＣ：Chip-on-Chip）接合技術）に本発明が適用されてもよい。

【0192】

また、ナノインプリント処理における、基板とモールド（透明金型等）との位置合わせに本発明が適用されてもよい。より詳細には、基板とモールドとの両者を（アライメントの）対象物として、基板とモールドとの対向方向に垂直な平面内にて当該両者の位置合わせが行われる際に、上述の思想が適用されてもよい。なお、このような処理は、基板とモールドとの間に樹脂（光硬化性樹脂および熱可塑性樹脂等）を介在させた状態で、互いに対向配置された基板とモールドとの両者を接触させて加圧する装置（加圧装置とも称する）等において行われればよい。また、当該両者は、被加圧物とも称される。さらに、当該加圧装置は、樹脂を用いた各種の樹脂デバイスを製造する樹脂デバイス製造装置であるとも表現される。

【0193】

たとえば、図２０および図２１に示されるように、樹脂８８がその表面に塗布された基板８２と当該樹脂に押し当てるべきモールド８１とを水平方向（基板８２の主面に平行な方向）（図２０等における横方向等）にて正確に位置合わせする際に、上述の思想が適用されるようにしてもよい。なお、図２０は、基板８２とモールド８１とが離間した状態を示す図であり、図２１は、基板８２とモールド８１とが接触した状態を示す図である。当該位置合わせは、両者の離間状態（図２０参照）にて行われてもよく、あるいは、両者の接触状態（図２１参照）にて行われてもよい。

【符号の説明】

【0194】

１ アライメント装置
３ ベース部材
１２ ステージ
２２ ヘッド
７０，７０Ｍ，７０Ｎ カメラ駆動機構
７１ Ｘ方向移動部材
７２ Ｙ方向移動部材
７３ Ｚ方向移動部材
７５，７５Ｍ，７５Ｎ 撮像部
９１，９２ 対象物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】