特許第6508746号(P6508746)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6508746マクロ粒子低減コーティングを利用したプラズマ源ならびにマクロ粒子低減コーティングを用いたプラズマ源を薄膜コーティングおよび表面改質に使用する方法
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