特許 6512980 Ｘ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6512980

(24)【登録日】2019年4月19日

(45)【発行日】2019年5月15日

(54)【発明の名称】Ｘ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/04 20180101AFI20190425BHJP

   G01N 23/18 20180101ALI20190425BHJP

   G01N 23/083 20180101ALI20190425BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/04

   G01N23/18

   G01N23/083

【請求項の数】4

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2015-149138(P2015-149138)

(22)【出願日】2015年7月29日

(65)【公開番号】特開2017-32285(P2017-32285A)

(43)【公開日】2017年2月9日

【審査請求日】2018年6月11日

(73)【特許権者】

【識別番号】503460323

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクサイエンス

(74)【代理人】

【識別番号】100120396

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 秀幸

(72)【発明者】

【氏名】的場 吉毅

(72)【発明者】

【氏名】竹田 明弘

(72)【発明者】

【氏名】坪井 臣悟

(72)【発明者】

【氏名】酒井 俊広

【審査官】 蔵田 真彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２５７８８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１４９７０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−０１０１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０１０４２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１３／０２１６０２４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料に対してＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源からのＸ線を照射中に前記試料を特定の方向に連続して移動させる試料移動機構と、
前記試料に対して前記Ｘ線源と反対側に設置され前記試料を透過した前記Ｘ線を検出するＴＤＩセンサと、
前記Ｘ線源と前記試料との距離を測定する距離センサと、
前記距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムに前記ＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させて前記ＴＤＩセンサを制御するＴＤＩ制御部とを備えていることを特徴とするＸ線透過検査装置。

【請求項2】

請求項１に記載のＸ線透過検査装置において、
前記試料が、帯状であり、
前記距離センサが、前記試料に向けて出射したレーザ光の反射で前記距離を測定するレーザ距離センサであり、前記レーザ光を前記試料の移動方向に交差する方向かつ前記試料の幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射することを特徴とするＸ線透過検査装置。

【請求項3】

Ｘ線源により試料に対してＸ線を照射するＸ線照射ステップと、
前記Ｘ線源からのＸ線を照射中に前記試料を特定の方向に連続して移動させる試料移動ステップと、
前記試料に対して前記Ｘ線源と反対側に設置されたＴＤＩセンサで前記試料を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出ステップと、
距離センサで前記Ｘ線源と前記試料との距離を測定する距離測定ステップと、
前記距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムに前記ＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させて前記ＴＤＩセンサを制御するＴＤＩ制御ステップとを有していることを特徴とするＸ線透過検査方法。

【請求項4】

請求項３に記載のＸ線透過検査方法において、
前記試料が、帯状であり、
前記距離センサが、前記試料に向けて出射したレーザ光の反射で前記距離を測定するレーザ距離センサであり、前記レーザ光を前記試料の移動方向に交差する方向かつ前記試料の幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射することを特徴とするＸ線透過検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料中の微小な異物等を検出可能であり、特に数十μｍ以下の異物の検出が可能なＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、試料中の微小な金属等の異物等を検出するために、試料にＸ線を照射して取得したＸ線透過像により検査を行うＸ線透過検査が用いられている。例えば、近年、自動車、ハイブリッド車又は電気自動車等に採用されるリチウムイオン二次電池において、正極となる電極は、Ａｌ膜の両面にＭｎ酸リチウム膜やＣｏ酸リチウム膜が形成されている。そのため、ＦｅやＳＵＳ等の数十μｍ以上の異物が混入すると、短絡が発生してバッテリーの焼失や性能低下が生じるおそれがあり、異物混入を製造時にＸ線透過検査で検出して除去している。

【0003】

このような試料中の異物等を検出するＸ線透過検査装置として、インラインで検査を実施する際、Ｘ線源とラインセンサ等のＸ線検出器とが一方向に移動する試料を挟むように対向配置されたものが知られている。例えば、特許文献１には、ＴＤＩセンサを利用することで微小な異物でも高感度に検出するＸ線異物検査装置が提案されている。

【0004】

このＸ線異物検査装置では、Ｘ線イメージインテンシファイアー（画像強度増幅装置：ＩＩＦ）と、ＴＤＩセンサとを備えており、Ｘ線イメージインテンシファイアーの結像面上を移動するＸ線透過画像と、ＴＤＩセンサの電荷送り速度とを同期させること、またベルトコンベアの移動速度Ｖに対してＸ線イメージインテンシファイアーの入力画面に結像される画像が、Ｘ線源から異物（実際にはベルトコンベア）までの距離ｂ、Ｘ線源からＸ線イメージインテンシファイアーの入力画面までの距離ａにより、光学的拡大率ｂ／ａに拡大されること、そしてＴＤＩセンサに結像される異物の画像の移動速度が、ベルトコンベアの移動速度Ｖに対してｂ／ａ及びその他を乗じた速度Ｖ_３となることが記載されている。

【0005】

すなわち、このＸ線異物検査装置では、試料の移動速度とＴＤＩセンサの電荷移動速度とを同期させること、並びに予め設定したＸ線源から異物（実際は、ベルトコンベアの載置面）までの距離（ＦＯＤ）とＸ線源からＸ線検出器までの距離（ＦＤＤ）との比（ＦＤＤ／ＦＯＤ）による光学的拡大率を補正ファクターとしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００４−２５７８８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

前記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来のＸ線透過検査装置では、光学的拡大率を加味したＴＤＩセンサの電荷送り速度としても、それを一定として検査を行うため、試料が移動途中で高さ方向に位置変化を起こした場合、ＴＤＩセンサの検出面においてＸ線透過像の焦点位置が変化してしまい、同じ試料の同じ異物を検出したとしても、ＴＤＩセンサによる検出信号の積算の程度に差異が生じて像にぼけが生じてしまう問題があった。このように、試料の高さ方向に位置変化があると、試料中の異物の過検出や誤検出が発生してしまうおそれがあった。

【0008】

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、試料の高さ方向に位置変化があっても、異物の過検出や誤検出を防ぐことができるＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明のＸ線透過検査装置は、試料に対してＸ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線を照射中に前記試料を特定の方向に連続して移動させる試料移動機構と、前記試料に対して前記Ｘ線源と反対側に設置され前記試料を透過した前記Ｘ線を検出するＴＤＩセンサと、前記Ｘ線源と前記試料との距離を測定する距離センサと、前記距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムに前記ＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させて前記ＴＤＩセンサを制御するＴＤＩ制御部とを備えていることを特徴とする。

【0010】

このＸ線透過検査装置では、距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムにＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させてＴＤＩセンサを制御するので、前記距離の変動をリアルタイムに感知し、その変動を電荷送り速度に都度反映させることで、Ｘ線透過像の焦点位置を適正化して像のぼけを防止することができる。また、物理的な動作を伴わず、ＴＤＩセンサの電荷送り速度をリアルタイムで瞬時に変化させることができると共に、変動に対応する一連の制御に要する時間が短いため、データ取得間隔を短くでき、より緻密なデータ取得が可能になって、高精度な試料の位置補正が可能になる。

【0011】

第２の発明に係るＸ線透過検査装置は、第１の発明において、前記試料が、帯状であり、前記距離センサが、前記試料に向けて出射したレーザ光の反射で前記距離を測定するレーザ距離センサであり、前記レーザ光を前記試料の移動方向に交差する方向かつ前記試料の幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射することを特徴とする。
すなわち、このＸ線透過検査装置では、距離センサが、レーザ光を試料の移動方向に交差する方向かつ試料の幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射するので、二次元での測定となり、広い領域の位置変動をとらえることができ、より一層の精度の向上を図ることができる。

【0012】

第３の発明に係るＸ線透過検査方法は、Ｘ線源により試料に対してＸ線を照射するＸ線照射ステップと、前記Ｘ線源からのＸ線を照射中に前記試料を特定の方向に連続して移動させる試料移動ステップと、前記試料に対して前記Ｘ線源と反対側に設置されたＴＤＩセンサで前記試料を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出ステップと、距離センサで前記Ｘ線源と前記試料との距離を測定する距離測定ステップと、前記距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムに前記ＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させて前記ＴＤＩセンサを制御するＴＤＩ制御ステップとを有していることを特徴とする。

【0013】

第４の発明に係るＸ線透過検査方法は、第３の発明において、前記試料が、帯状であり、前記距離センサが、前記試料に向けて出射したレーザ光の反射で前記距離を測定するレーザ距離センサであり、前記レーザ光を前記試料の移動方向に交差する方向かつ前記試料の幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射することを特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法によれば、距離センサで測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムにＴＤＩセンサの電荷送り速度を変化させてＴＤＩセンサを制御するので、Ｘ線透過像のぼけを防止することができる。したがって、試料の高さ方向に位置変化があっても、異物の過検出や誤検出を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明に係るＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法の第１実施形態を示す概略的な全体構成図である。

【図2】第１実施形態において、ＴＤＩセンサを示す斜視図である。

【図3】第１実施形態において、距離センサによる距離測定方法を示す説明図である。

【図4】本発明に係るＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法の第２実施形態において、距離センサによる距離測定方法を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明に係るＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法の一実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。

【0017】

本実施形態のＸ線透過検査装置は、図１に示すように、試料Ｓに対してＸ線Ｘを照射するＸ線源２と、Ｘ線源２からのＸ線Ｘを照射中に試料Ｓを特定の方向に連続して移動させる試料移動機構３と、試料Ｓに対してＸ線源２と反対側に設置され試料Ｓを透過したＸ線を検出するＴＤＩセンサ４と、Ｘ線源２と試料Ｓとの距離を測定する距離センサ５と、試料Ｓの移動時に距離センサ５で測定した前記距離の変動に基づいてリアルタイムにＴＤＩセンサ４の電荷送り速度を変化させてＴＤＩセンサ４を制御するＴＤＩ制御部６とを備えている。

【0018】

さらに、本実施形態のＸ線透過検査装置１は、前記各構成に接続されてそれぞれを制御する主制御部７と、検出された透過Ｘ線の強度の分布を示す透過像を表示する表示部８とを備えている。
上記主制御部７は、ＣＰＵ等で構成されたコンピュータである。入力されるＴＤＩセンサ４からの信号に基づいて画像処理を行って透過像を作成し、さらにその画像を表示部８に表示させる演算処理回路等を含む。
上記表示部８は、主制御部７に接続されてコントラスト像などを表示するディスプレイ装置である。この表示部８は、主制御部７からの制御に応じて種々の情報を表示可能である。

【0019】

上記Ｘ線源２は、Ｘ線Ｘを照射可能なＸ線管球であって、管球内のフィラメント（陰極）から発生した熱電子がフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）との間に印加された電圧により加速されターゲットのＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などに衝突して発生したＸ線Ｘを１次Ｘ線としてベリリウム箔などの窓から出射するものである。

【0020】

上記試料Ｓは、例えば帯状に形成されたＬｉイオンバッテリー用の材料や医薬品系に用いられる材料である。
上記試料Ｓは、例えば帯状に形成されたＬｉイオンバッテリー用の材料や医薬品系に用いられる材料である。例えば、試料ＳがＬｉイオン二次電池に使用される電極シートなどである場合、それに混入する異物は、例えば電極に異物として混入が懸念されるＦｅやＳＵＳである。

【0021】

上記試料移動機構３は、ＴＤＩセンサ４に対して、例えば試料Ｓの延在方向に相対的に移動可能なモータ等である。上記試料移動機構３は、例えば帯状の試料Ｓをロール・ｔｏ・ロール方式で延在方向に移動させる少なくとも一対のローラ（図示略）等を備えている。
また、試料移動機構３には、試料Ｓの移動量を定量化するために、リニアスケール９が設置されており、試料Ｓの移動量を計測ピッチＬｓで計測可能である。

【0022】

上記ＴＤＩ(Time Delay Integration)センサ４は、図２に示すように、試料Ｓの移動方向に対して垂直な方向と平行な方向とのそれぞれに複数のセル（センサ素子）を配置したＸ線検出器であって、検出面４ａに配された蛍光体４ｂと、蛍光体４ｂ下に複数の光ファイバを二次元的に縦横に複数列並べて配したＦＯＰ（ファイバオプティクスプレート）４ｃと、ＦＯＰ４ｃの下に配されたＳｉ受光素子４ｄとを備え、ラインセンサを複数列並べたような構成を有している。例えば、試料Ｓの送り方向に２００〜１０００段の単位ラインセンサが並んでＴＤＩセンサ４が構成されている。
このＴＤＩセンサ４では、ＣｓＩ（ヨウ化セシウム）、ＧＯＳ（ガドリニウムオキシ硫化物）又はＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）等の蛍光体４ｂが用いられている。
なお、ＴＤＩセンサ４は、センサピッチＬｔで電荷蓄積及び電荷転送が行われる。ラインレートは、通常０．５〜１００ｋＨｚ程度である。

【0023】

上記距離センサ５は、試料Ｓに向けて出射したレーザ光Ｌの反射で前記距離を測定する反射型のレーザ距離センサである。この距離センサ５は、Ｘ線源２側で試料Ｓに対向配置され、レーザ光Ｌを点状のスポット形状にして試料Ｓに照射し、その反射光に基づいて主に三角法を利用して試料ＳとＸ線源２との距離を測定する。また、距離センサ５の距離測定結果は、ＴＤＩ制御部６に送られる。
この距離センサ５は、繰り返し測定精度で０．０１μｍ程度、応答周波数が３００ｋＨｚ以上であり、サンプリングタイムが十数μsと、極めて短時間でリアルタイム高精度測定が可能である。

【0024】

距離センサ５のスポット形状は点状であるが、移動する試料Ｓ上にレーザ光Ｌのポイントを取ることで、図３に示すように、一次元（ライン状）での計測となる。この際、使用する距離センサ５の応答速度と、ＴＤＩセンサ４の電荷送り速度の応答速度とから、Ｘ線源２から試料Ｓまでの距離ＦＯＤ’の計測間隔を決定する。
なお、距離センサ５は、同じ目的を達成できるその他の原理を利用した距離センサでも構わない。

【0025】

上記ＴＤＩ制御部６は、ＴＤＩセンサ４の電荷転送の方向及び速度を、試料Ｓの移動方向及び速度に合わせると共に、受光面４ａの検出領域においてＴＤＩセンサ４が受光したＸ線Ｘの輝度値を積算する機能を有している。
すなわち、ＴＤＩ制御部６は、試料Ｓの高さ方向に変動がない場合の制御として、試料Ｓの速度Ｖ_ｓに対してＴＤＩセンサ４の検出領域における電荷転送の速度（電荷送り速度）Ｖ_ＴＤＩと駆動方向の向きとを同じに設定し、試料Ｓの流れとＴＤＩセンサ４の積算処理とを同期させて制御している。
なお、図中の矢印Ｙ１は、試料Ｓの移動方向であり、矢印Ｙ２は、ＴＤＩセンサ４のＴＤＩ駆動向きである。

【0026】

また、ＴＤＩ制御部６は、ＴＤＩセンサ４の拡大率（試料Ｓ上の像が受光面４ａ上に投影された際の拡大率）を決定して、この拡大率でＴＤＩセンサ４を制御する機能を有している。
すなわち、ＴＤＩ制御部６は、ＴＤＩセンサ４の拡大率Ｎを算出する分周器６ａと、分周器６ａで求めた拡大率Ｎを補正して補正拡大率Ｎ’とすると共に補正拡大率Ｎ’に基づいて試料Ｓの移動速度を補正した速度で電荷送り速度を算出する修正部６ｂとを備えている。

【0027】

上記分周器６ａは、試料Ｓの移動量を計測するリニアスケール９の計測ピッチＬｓと、ＴＤＩセンサ４のＴＤＩピッチＬｔとの比「Ｌｔ／Ｌｓ」からＴＤＩセンサ４の拡大率Ｎを固定値として算定し、修正部６ｂに送る機能を有している。
上記拡大率Ｎは、固定値であり、式「Ｎ＝（Ｌｔ／Ｌｓ）×（ＦＯＤ／ＦＤＤ）」により算出される。このとき、ＦＯＤは、固定値であって、変動していない状態のＸ線源２と試料Ｓとの距離である。
なお、分周器６ａは、例えば周波数ｆ１の信号を加えて、これに同期した周波数ｆ２（ｆ２＝ｆ１／ｎ、ｎ：整数）の出力を得る回路を有する装置であり、デジタルＩＣによる計数回路を用いて周波数を整数分の１に落とすものである。

【0028】

上記修正部６ｂは、距離センサ５によりリアルタイムで計測したＸ線源２から試料Ｓまでの距離ＦＯＤ’と、固定値としてのＸ線源２と受光面４ａとの距離ＦＤＤとの比「ＦＯＤ’／ＦＤＤ」をファクターとして、分周器６ａから送られた拡大率Ｎを補正して補正拡大率Ｎ’とし、この補正拡大率Ｎ’に基づいたＴＤＩセンサ４の電荷送り速度を決定し、ＴＤＩセンサ４に送る機能を有している。
上記補正拡大率Ｎ’は、常時計測される距離ＦＯＤ’の変化に伴い、式「Ｎ’＝（Ｌｔ／Ｌｓ）×（ＦＯＤ’／ＦＤＤ）」によりリアルタイムに算出される。ここで「リアルタイム」とは、使用するＴＤＩセンサ４のラインレート及び距離センサ５のサンプリングタイムにより決定され、可能な範囲で距離センサ５のサンプリングタイムを短くすることで、より精度の高い制御が可能となる。

【0029】

次に、本実施形態のＸ線透過検査装置を用いたＸ線透過検査方法について説明する。このＸ線透過検査方法では、例えば、Ｌｉイオン二次電池における正極シートを検査対象の試料Ｓとし、その中の異物を検出することを目的とする。

【0030】

まず、試料移動機構３により、試料Ｓを対向するＸ線源２とＴＤＩセンサ４との間で一定速度で移動させる。なお、この試料Ｓは、試料ＳとＴＤＩセンサ４との距離に比して非常に小さい厚さを有している。
この状態で、距離センサ５の測定結果からＸ線源２と試料Ｓとの距離ＦＯＤ’を計算する。

【0031】

次に、Ｘ線源２からＸ線Ｘを試料Ｓに照射すると共に、ＴＤＩセンサ４で試料Ｓ及び異物を透過した透過Ｘ線を検出する。なお、試料移動機構３により試料Ｓが一定方向に移動されるため、試料Ｓが移動方向において全体がスキャンされ、透過Ｘ線について全体の強度分布が取得される。

【0032】

さらに、上記のように取得した透過Ｘ線の強度分布を、主制御部７で画像処理して透過像を作成すると共に表示部８において透過像を表示する。なお、この際、異物が存在する部位は、異物が存在していない部分と対比して、Ｘ線の透過量が異なることから、異物が存在する部位のコントラストがそれ以外と異なるため、異物が存在していることが検出可能となる。

【0033】

上記試料Ｓの移動時において、例えば試料移動機構３の都合等により試料Ｓが上方に移動して高さ方向に位置変動を生じた場合、Ｘ線源２と試料Ｓとの距離ＦＯＤ’が大きくなる。その際、この変動に対応する機構を有しない従来の装置であると、Ｘ線発生ポイントの大きさがあることに起因して、異物によるコントラスト及び強度分布が異なり、異物によるコントラストの強弱が判り難くなって、異物の検出が困難になる場合がある。

【0034】

しかしながら、本実施形態では、距離センサ５によりリアルタイムで測定したＸ線源２と試料Ｓとの距離ＦＯＤ’と、リニアスケール９によって得た試料Ｓの移動量に基づいて分周器６ａで算定した拡大率Ｎとを用いて、修正部６ｂが拡大率Ｎを補正して補正拡大率Ｎ’を算出する。この補正拡大率Ｎ’に基づいてＴＤＩ制御部６が、ＴＤＩセンサ４の新たな電荷送り速度を決定してＴＤＩセンサ４を制御する。

【0035】

すなわち、変動前の電荷送り速度をｖとすると、変動後の新たな電荷送り速度ｖ’は、式「ｖ’＝ｖ×（ＦＯＤ’／ＦＤＤ）」により算出される。したがって、ＴＤＩ制御部６が、電荷送り速度ｖ’でＴＤＩセンサ４を制御する。
これにより、試料Ｓの高さ位置の変動によってＴＤＩセンサ４への入力画像の焦点位置の変動が起こるところ、電荷送り速度を適正に変化させることで、最適な焦点位置を再現することができる。
したがって、常に距離センサ５が距離ＦＯＤ’を測定し、その変化に対応して補正した補正拡大率Ｎ’に基づいてＴＤＩセンサ４の電荷送り速度を修正しているので、試料Ｓが上方又は下方に移動して高さ方向に位置変動を生じても、Ｘ線透過像のぼけが生じず、異物の高精度な検出が可能になる。

【0036】

このように本実施形態のＸ線透過検査装置１及びこれを用いたＸ線透過検査方法では、試料Ｓの移動時に距離センサ５で測定した前記距離ＦＯＤ’の変動に基づいてリアルタイムにＴＤＩセンサ４の電荷送り速度を変化させてＴＤＩセンサ４を制御するので、距離ＦＯＤ’の変動をリアルタイムに感知し、その変動を電荷送り速度に都度反映させることで、Ｘ線透過像の焦点位置を適正化して像のぼけを防止することができる。

【0037】

また、物理的な動作を伴わず、ＴＤＩセンサ４の電荷送り速度をリアルタイムで瞬時に変化させることができると共に、変動に対応する一連の制御に要する時間が短いため、データ取得間隔を短くでき、より緻密なデータ取得が可能になって、高精度な試料Ｓの位置補正が可能になる。

【0038】

次に、本発明に係るＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法の第２実施形態について、図４を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

【0039】

第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、図３に示すように、距離センサ５のレーザ光Ｌのスポット形状が点状であり、移動する試料Ｓ上でラインによる一次元測定を行っているのに対し、第２実施形態のＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法は、図４に示すように、距離センサ２５のレーザ光Ｌのスポット形状が線状であり、移動する試料Ｓ上でエリアによる二次元測定を行っている点である。

【0040】

すなわち、第２実施形態では、距離センサ２５が、レーザ光Ｌを試料Ｓの移動方向に交差する方向かつ試料Ｓの幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射する点である。
例えば、距離センサ２５のレーザ光Ｌのスポット形状を、数十ｍｍ〜数十μｍのライン状とし、距離センサ２５から測定位置までの距離を、数ｍｍから数十ｍｍとして距離測定を行えばよく、状況に合わせて最適な配置とする。

【0041】

したがって、第２実施形態のＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法では、距離センサ２５が、レーザ光Ｌを試料Ｓの移動方向に交差する方向かつ試料Ｓの幅方向に延在する線状のスポット形状にして照射するので、二次元での測定となり、広い領域の位置変動をとらえることができ、より一層の精度の向上を図ることができる。

【0042】

なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、試料Ｓの移動量を定量化するためのリニアスケール９は、ロータリーエンコーダでもよく、その効果はリニアスケールと同じである。
また、上記実施形態においては、リニアスケール９によって得た試料Ｓの移動量に基づいて分周器６ａで算定した拡大率Ｎを用いたが、試料Ｓの移動量の根拠となる駆動源である試料移動機構３（図示しないモーター等）に指示する駆動信号に基づいて、拡大率Ｎを算定することもできる。

【0043】

また、第２実施形態の距離センサ２５として、エリアセンサを使用することも可能である。エリアセンサとしては、スポット形状が二次元に広がっているものの他、スポット形状が線状のセンサを複数並べたものでもよい。このようなエリアセンサの使用は、より高精度な距離測定の結果を得ることが可能である。

【符号の説明】

【0044】

１…Ｘ線透過検査装置、２…Ｘ線源、３…試料移動機構、４…ＴＤＩセンサ、５，２５…距離センサ、６…ＴＤＩ制御部、Ｓ…試料、Ｘ…Ｘ線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】