特許第6513089号(P6513089)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧

特許6513089ガス流パターンを制御するための処理チャンバ装置、システム、及び方法