特許6515835荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法

発明の名称　荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 556 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 570 位（40件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6515835

公報発行日　2019年5月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6515835

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