特許第6520110号(P6520110)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6520110カルボキシル基含有感光性化合物、感光性樹脂、その硬化物、これらを用いたレジスト材料、及びカルボキシル基含有感光性化合物の製造方法
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