特許第6550478号(P6550478)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6550478マルチビーム装置、荷電粒子ビーム装置、ソース変換ユニット、ソース変換ユニットを構成する方法、仮想的マルチソースアレイを形成するための方法