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特許6550962炭化珪素半導体のエピタキシャル成長装置
発明の名称 炭化珪素半導体のエピタキシャル成長装置
出願人 株式会社デンソー （識別番号 4260）
特許公開件数ランキング 15 位（1314件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 10 位（1391件）（共同出願を含む）
出願人 一般財団法人電力中央研究所 （識別番号 173809）
特許公開件数ランキング 860 位（30件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 655 位（33件）（共同出願を含む）
出願人 昭和電工株式会社 （識別番号 2004）
特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6550962
公報発行日 2019年7月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6550962
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