特許6553065基板保持具、基板処理装置および半導体装置の製造方法

発明の名称　基板保持具、基板処理装置および半導体装置の製造方法

出願人　株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ　（識別番号 318009126）

　　　　特許公開件数ランキング 413 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 427 位（55件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6553065

公報発行日　2019年7月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6553065

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