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特許6561110基板上の欠陥の場所を特定する方法
発明の名称 基板上の欠陥の場所を特定する方法
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー （識別番号 503263355）
特許公開件数ランキング 445 位（21件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 626 位（11件）（共同出願を含む）
出願人 カール・ツァイス・アクチェンゲゼルシャフト （識別番号 510339832）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6561110
公報発行日 2019年8月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6561110
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