特許 6561920 電気特性測定装置及び電気特性測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6561920

(24)【登録日】2019年8月2日

(45)【発行日】2019年8月21日

(54)【発明の名称】電気特性測定装置及び電気特性測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 29/14 20060101AFI20190808BHJP

   G01Q 60/30 20100101ALI20190808BHJP

【ＦＩ】

   G01R29/14

   G01Q60/30

【請求項の数】10

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2016-117847(P2016-117847)

(22)【出願日】2016年6月14日

(65)【公開番号】特開2017-223493(P2017-223493A)

(43)【公開日】2017年12月21日

【審査請求日】2018年8月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004455

【氏名又は名称】日立化成株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001689

【氏名又は名称】青稜特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】太田 勝啓

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−１２１４５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３４４２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１５９４６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−０６２２２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−０９０５６５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２９／１４

Ｇ０１Ｑ ６０／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料を搭載して移動可能な試料ステージと、
前記試料ステージに搭載した試料に電圧を印加する電圧印加部と、
前記試料ステージに搭載した試料を流れる電流値を測定する１対の電極を備えた電流値計測部と、
前記電圧印加部で前記試料ステージに搭載した試料に電圧を印加した状態で前記試料の表面の電界の分布を計測する表面特性計測部と、
前記表面特性計測部で測定した前記試料の表面の電界の分布に基づく前記試料の画像を生成する画像生成部と、
前記電流値計測部で計測した電流値のデータと前記画像生成部で生成した前記試料の画像とを表示する表示部と
を備えたことを特徴とする電気特性測定装置。

【請求項2】

請求項１記載の電気特性測定装置であって、前記電流値計測部は直流電源を備え、前記直流電源を作動させた状態で前記１対の電極を前記試料に接触させて前記１対の電極間に流れる電流を計測することを特徴とする電気特性測定装置。

【請求項3】

請求項１記載の電気特性測定装置であって、前記表面特性計測部は、先端部分にプローブを装着した支持板と、前記支持板に電圧を印加する電圧印加部と、前記支持板のたわみを検出するたわみ検出部と前記たわみ検出部で検出した前記支持板のたわみに応じて前記支持板の高さを調整する高さ調整部とを備えることを特徴とする電気特性測定装置。

【請求項4】

請求項３記載の電気特性測定装置であって、前記画像生成部は、前記支持板の高さを調整する高さ調整部の信号に基づいて前記画像を生成することを特徴とする電気特性測定装置。

【請求項5】

請求項１記載の電気特性測定装置であって、前記表示部は、前記表示した試料の画像上で指定した領域の電流値のデータを前記試料の画像と並べて表示することを特徴とする電気特性測定装置。

【請求項6】

試料ステージに搭載した試料に１対の電極を接触させて前記１対の電極間に流れる電流値を計測することを前記試料上で所定のピッチごとに行って前記１対の電極間に流れる電流値が異常な領域を抽出し、
前記抽出した電流値が異常な領域について前記１対の電極間に流れる電流値を前記所定のピッチよりも細かいピッチで計測し、
前記試料に電圧を印加した状態で前記抽出した電流値が異常な領域の上部を電圧を印加した支持板の先端部分に装着したプローブで走査して前記電流値が異常な領域における前記試料の表面の電界の分布を計測し、
前記計測した電界の分布に基づく画像を生成し、
前記生成した電界の分布に基づく画像と前記電流値が異常な領域について計測した電流値のデータとを画面上に表示する
ことを特徴とする電気特性測定方法。

【請求項7】

請求項６記載の電気特性測定方法であって、前記１対の電極間に流れる電流値を計測する前記所定のピッチを徐々に狭くして複数回繰返して行うことにより前記１対の電極間に流れる電流値が異常な領域を抽出することを特徴とする電気特性測定方法。

【請求項8】

請求項６記載の電気特性測定方法であって、前記試料の表面の電界の分布を計測することを、前記プローブが前記電界から受ける引力または斥力による前記支持板の反りを光学的に検出することにより行うことを特徴とする電気特性測定方法。

【請求項9】

請求項８記載の電気特性測定方法であって、前記試料の表面の電界の分布を計測することを、前記支持板の反りを光学的に検出した情報に基づいて前記支持板の高さを補正する信号を用いて計測することを特徴とする電気特性測定方法。

【請求項10】

請求項６記載の電気特性測定方法であって、前記画面上に表示する電流値のデータは、前記画面上に表示した電界の分布に基づく画像上で指定した領域の電流値のデータであることを特徴とする電気特性測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は，電気特性測定装置及び電気特性測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

本技術分野の背景技術として、特開２００３−１２１４５９号公報（特許文献１）がある。この公報には、「探針として原子間力顕微鏡等の走査プローブ顕微鏡が備えるカンチレバーなどの微小探針を用い、原子間力の範囲で圧力あるいは変位を制御して、微小探針を被測定材料に接触させ、これによって、微小探針の被測定対象への接触圧力を原子間力の範囲に制御しながら４探針法による測定し、また、電気抵抗率の接触圧力依存性あるいは変位依存性を求めることができる。」と記載されている。

【0003】

また、特開平２００３−３４４２５７号公報（特許文献２）がある。この公報には、「サンプルの表面にそれぞれ向けられる第１の先端部及び第２の先端部を含むプローブアセンブリを含む、該サンプルを検査するための原子間力顕微鏡(AFM)。該原子間力顕微鏡は更に、第１の先端部と第２の先端部との間に電位を印加する電圧源と、表面とプローブとの間の相対的な運動を生じさせる少なくとも１つの機構と、第１の先端部と前記第２の先端部との間に流れる電流を検出する少なくとも１つのセンサとを含む。」 と記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３−１２１４５９号公報

【特許文献2】特開２００３−３４４２５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１には、被測定対象の電気特性を測定する方法が記載されている。しかし、特許文献１には、被測定対象の表面形状を計測する手段がない。そのため、微小領域の電気特性評価ができない。また、特許文献１は、複数のプローブを用いて電気特性評価を行う方法であるが、微小領域の電気特性評価ができないため、被測定対象の表面の平均電圧を計測する方法である。

【0006】

特許文献２には、被測定対象の電気特性を測定する方法が記載されている。しかし、特許文献２には、被測定対象の表面形状を計測する手段がない。そのため、被測定対象の表面の微小領域の電気特性評価ができない。

【0007】

そこで、本発明では、上記した従来技術の課題を解決して、被測定対象の表面の微小領域の電気特性を被測定対象の表面形状と対応して測定することを可能にする電気特性測定装置及び電気特性測定方法を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。
本発明は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、電気特性測定装置を、試料を搭載して移動可能な試料ステージと、この試料ステージに搭載した試料に電圧を印加する電圧印加部と、試料ステージに搭載した試料を流れる電流値を測定する１対の電極を備えた電流値計測部と、電圧印加部で試料ステージに搭載した試料に電圧を印加した状態で試料の表面の電界の分布を計測する表面特性計測部と、この表面特性計測部で測定した試料の表面の電界の分布に基づく試料の画像を生成する画像生成部と、電流値計測部で計測した電流値のデータと画像生成部で生成した試料の画像とを表示する表示部とを備えて構成した。

【0009】

また、上記課題を解決するために本発明では、電気特性測定方法において、試料ステージに搭載した試料に電極を接触させて電極間に流れる電流値を計測することを試料上で所定のピッチごとに行って電極間に流れる電流値が異常な領域を抽出し、この抽出した電流値が異常な領域について電極間に流れる電流値を所定のピッチよりも細かいピッチで計測し、試料に電圧を印加した状態で抽出した電流値が異常な領域の上部を電圧を印加した支持板の先端部分に装着したプローブで走査して電流値が異常な領域における試料の表面の電界の分布を計測し、この計測した電界の分布に基づく画像を生成し、この生成した電界の分布に基づく画像と電流値が異常な領域について計測した電流値のデータとを画面上に表示するようにした。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、被測定対象の表面の微小領域の電気的情報の取得と表面形状情報の取得とを同時に行なうことで，電気的情報と表面形状情報とのずれがなくなり，より正しい測定を行なうことができるようになった。また、電気的情報を，試料と電極との間に流れる電流値に関するデータを演算処理して測定することで，得られた電気的情報から試料表面の抵抗情報を提供することができる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施例１に係る電気特性測定装置の概略の構成を示すブロック図である。

【図2A】本発明の実施例１に係る電気特性測定装置を用いた電気特性測定の処理の流れを示すフロー図である。

【図2B】本発明の実施例１に係る電気特性測定装置を用いた電気特性測定の処理の流れを示すフロー図である。

【図3】本発明の実施例１に係る電気特性測定装置の測定の結果を出力する画面の正面図である。

【図4】本発明の実施例２に係る電気特性測定装置の主要部の概略の構成を示すブロック図である。

【図5】本発明の実施例３に係る電気特性測定装置の主要部の概略の構成を示すブロック図である。

【図6】本発明の実施例４に係る電気特性測定装置の主要部の概略の構成を示すブロック図である。

【図7】本発明の実施例５に係る電気特性測定装置の主要部の概略の構成を示すブロック図である。

【図8】本発明の実施例６に係る電気特性測定装置で電気特性を測定する対象の透明導電膜つき基材の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明は、プローブを試料の表面に近接配置し、プローブと試料とを相対的に走査しながらプローブと試料との間に電圧を印加することにより、試料の表面とプローブの先端との間に生じる物理的現象を利用して試料の表面を観察する試料表面の電気特性を測定する装置及びその方法であって、１対の電極を試料の表面に接触あるいは刺突させ、この状態で電極と試料との間に電圧を印加し、両者間に流れる電流を測定することにより、試料の電気的情報を得るようにして、被測定対象の表面の微小領域の電気的情報の取得と表面形状情報の取得とを同時に行なうことで，電気的情報と表面形状情報とのずれがなくなり，より正しい測定を行なうことができるようにしたものである。
以下、図面を用いて実施例の説明をする。

【実施例1】

【0013】

本実施例では、電気特性測定装置及び電気特性測定方法の例を説明する。
図１は、本実施例による電気特性測定装置１００の全体の構成を示すブロック図である。本実施例による電気特性測定装置１００は、ステージ部１１０、表面特性計測部１２０、電気特性測定部１３０、及び処理制御部１４０を備えて構成されている。

【0014】

ステージ部１１０は、試料ステージ１とステージ駆動機構３と直流電源４及び除電装置５を備えている。試料ステージ１は、試料２を搭載し、ステージ駆動機構３で駆動されてＸ−Ｙ平面内と、Ｘ−Ｙ平面に垂直なＺ方向及びＸ−Ｙ平面内で回転するθ方向に移動する。試料ステージ１と試料２とは、金属などの導電性材料で形成されており、直流電源４により直流電圧が印加される。直流電源４に除電装置５を接続することにより、直流電源４による試料ステージ１及び試料２への電圧の印加を停止したときに、試料ステージ１及び試料２は除電される。

【0015】

表面特性計測部１２０は、先端の自由端部にプローブ７が形成された支持板６と、支持板６に必要な電圧を印加する電源８と、支持板６のたわみ量を検出するたわみ量検出部９と、支持板６のＺ方向の高さを設定するＺ軸駆動部５１を備えている。電源８は、直流電源４の負極側と支持板６との間に接続されている。Ｚ軸駆動部５１は、例えばピエゾ素子で構成され、図示していない電源からピエゾ素子に印加する電圧で支持板６のＺ方向の位置（高さ）を設定する。

【0016】

表面特性計測部１２０は、試料２の表面の特性を計測するときに、まず、試料２を搭載した試料ステージ１に直流電源４から直流電圧を印加し、支持板６に電源８から所定の電圧を印加する。

【0017】

この時、直流電圧を印加された試料２の表面は必ずしも均一な電界が発生しているわけではなく、試料２の内部の状態に応じて表面の電界に分布（電位分布）が生じている場合がある。この表面電界の分布を計測することにより、試料２の内部の状態を予測することができる。表面特性計測部１２０は、表面電界の分布（電位分布）を計測して、試料２の内部の情報を得るものである。

【0018】

支持板６に所定の電圧を印加した状態で、Ｚ軸駆動部５１で支持板６の高さを調整してプローブ７の先端と試料２の表面の間隔を所定の量に設定する。この状態で、プローブ７は、試料表面の電位に応じた引力または斥力を受けている。次に、ステージ駆動機構３で試料ステージ１をＸ方向（Ｙ方向）に一定の速度で駆動すると、プローブ７は、試料表面の電位の変化に応じて受ける引力または斥力が変化して変位する。このプローブ７の変位に伴ってプローブ７が取り付けられた支持板６の先端部分がたわむ。この支持板６のたわみによる変位を、たわみ量検出部９で検出する。

【0019】

たわみ量検出部９の機構は、特に限定されるものではない。例えば、表面特性計測部１２０をレーザ光源と受光素子とを備えて構成し、支持板６の試料２とは反対の面にレーザ光源から発射したレーザを照射して支持板６で反射されたレーザを受光素子で検出する。

【0020】

受光素子として、例えば４分割受光素子を用いた場合、各受光素子間の受光量の差が支持板６で反射されたレーザの受光素子上での位置ずれとして検出され、たわみ量検出部９から制御部３５に出力される。制御部３５では、たわみ量検出部９からの出力値（４分割受光素子の各受光素子間の出力の差）がゼロとなるように、Ｚ軸駆動部５１を制御する。また、このＺ軸駆動部５１を制御する信号はデータ処理部３２に送られ、プローブ７の変位量のデータとして処理される。

【0021】

電気特性測定部１３０は、先端部に電極１０を取り付けた支持板２１と、支持板２１のＺ方向の位置（高さ）を設定するＺ軸駆動部２２と、Ｚ軸駆動部２２を載置してＸ方向に移動可能なＸテーブル２２１、先端部に電極１１を取り付けた支持板２３と、支持板２３のＺ方向の位置（高さ）を設定するＺ軸駆動部２４と、Ｚ軸駆動部２４を載置してＸ方向に移動可能なＸテーブル２３１を備えている。また、電気特性測定部１３０は、直流電源１２と電流計１３、演算処理部３１、除電装置１５を備えている。

【0022】

直流電源１２と電流計１３とは、電極１０と１１との間に接続されており、電極１０と１１とが試料ステージ１に搭載された試料２に接触すると、閉ループが形成されて、直流電源１２により電極１０と１１との間に電気が流れて、電流計１３で検出され、その検出した電流のデータを用いて演算処理部３１で演算がおこなわれる。

【0023】

処理制御部１４０は、データ処理部３２と、入出力部３３、制御部３５を備えている。データ処理部３２は、演算処理部３１からの出力とたわみ量検出部９からの出力及び制御部３５からの試料ステージ１の位置情報を受けて、試料ステージ１に搭載された試料２の電気的特性の分布及び試料表面の特性分布（例えば、電界分布）情報を算出し、入出力部３３に出力する。

【0024】

入出力部３３は、表示画面３４を備え、データ処理部３２から出力された試料２の電気的特性の分布及び試料表面の形状情報を表示画面３４に表示する。

【0025】

制御部３５は、ステージ駆動機構３を制御して、試料ステージ１に載置された試料２を所定の位置に移動させる。また、Ｘテーブル２２１とＸテーブル２３１とを制御して、電極１０と１１との間隔を所望の間隔に設定する。更に、Ｚ軸駆動部５１、Ｚ軸駆動部２２及びＺ軸駆動部２４を制御して、プローブ７、電極１０及び電極１１のＺ軸方向の位置（高さ）を調整する。

【0026】

次に、図１で説明した電気特性測定装置１００を用いて、試料２の電気特性を測定する一連の動作について、図２Ａ及び図２Ｂのフロー図を用いて説明する。

【0027】

まず、試料ステージ１に試料２を載置し（Ｓ２０１）、この状態で電気特性測定部１３０のＸテーブル２２１とＸテーブル２３１とをＸ方向に駆動して、電極１０及び電極１１を試料２の検査すべき領域のＸ方向両端部に位置させる（Ｓ２０２）。この時、ステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をＹ方向に駆動して電極１０及び電極１１が試料２のＹ方向の端部上に位置させる。次に、直流電源１２を作動させた状態で、Ｚ軸駆動部２２及びＺ軸駆動部２４を制御して電極１０及び電極１１を試料２に接触させる（Ｓ２０３）。電極１０及び電極１１を試料２に接触させた状態で電流計１３を流れる電流値を演算処理部３１で読取る（Ｓ２０４）。

【0028】

次に、Ｚ軸駆動部２２及びＺ軸駆動部２４を制御して電極１０及び電極１１を上昇させて試料２から離れさせる（Ｓ２０５）。この状態で、今回計測した位置が試料２のＹ方向の端部に達したかをチェックし（Ｓ２０６）、試料２のＹ方向の端部に達していない場合には（Ｓ２０６でＮＯの場合）、ステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をＹ方向に駆動して試料２を所定のピッチＹ方向に移動させ（Ｓ２０７）、Ｓ２０３からの処理を繰返す。

【0029】

次に、電極１０及び電極１１がＹ方向の端部まで達した場合（Ｓ２０６でＹＥＳの場合）には、試料２のＸ方向とＹ方向について全領域測定したかをチェックする（Ｓ２０８）。試料２の全領域の測定が完了していない場合（Ｓ２０８でＮＯの場合）には、ステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をθ方向に駆動して試料２を９０°回転させ（Ｓ２０９），Ｓ２０２からの動作を繰り返す。これにより、試料２の検査領域の電流値について、マトリックス状のデータが有られる。

【0030】

試料２の全領域の測定が完了した場合（Ｓ２０８でＹＥＳの場合）には、検出した電流値に異常がないかをデータ処理部３２でチェックし（Ｓ２１０）、異常が見つからなければ（Ｓ２１０でＮＯの場合）処理を終了する。

【0031】

一方、検出した電流値に異常があった場合には（Ｓ２１０でＹＥＳの場合）、ステージ駆動機構３を制御と共に電気特性測定部１３０のＸテーブル２２１とＸテーブル２３１とをＸ方向に駆動して、電極１０及び電極１１がＳ２１０で検出した電流値異常領域のＹ方向の端部で、かつＸ方向の両端部上に位置させる（Ｓ２１１）。

【0032】

次に、直流電源１２を作動させた状態で、Ｚ軸駆動部２２及びＺ軸駆動部２４を制御して電極１０及び電極１１を試料２に接触させる（Ｓ２１２）。電極１０及び電極１１を試料２に接触させた状態で電流計１３を流れる電流値を演算処理部３１で読取る（Ｓ２１３）。

【0033】

次に、Ｚ軸駆動部２２及びＺ軸駆動部２４を制御して電極１０及び電極１１を上昇させて試料２から離れさせる（Ｓ２１４）。この状態で、今回計測した位置が試料２の電流値異常領域のＹ方向の端部に達したかをチェックし（Ｓ２１５）、電流値異常領域のＹ方向の端部に達していない場合には（Ｓ２１５でＮＯの場合）、ステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をＹ方向に駆動して試料２を所定のピッチ（Ｓ２０７におけるピッチと比べて微小なピッチ）Ｙ方向に移動させ（Ｓ２１６）、Ｓ２１２からの処理を繰返す。

【0034】

次に、電極１０及び電極１１が電流値異常領域のＹ方向の端部まで達した場合（Ｓ２１５でＹＥＳの場合）には、試料２の電流値異常領域のＸ方向とＹ方向について全領域測定したかをチェックする（Ｓ２１７）。試料２の全領域の測定が完了していない場合（Ｓ２１７でＮＯの場合）には、ステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をθ方向に駆動して試料２を９０°回転させ（Ｓ２１８），Ｓ２１１からの動作を繰り返す。

【0035】

試料２の全領域の測定が完了した場合（Ｓ２１７でＹＥＳの場合）には、ステージ駆動機構３を制御して電流値異常領域がプローブ７の直下に来るように試料２を移動させ（Ｓ２１９）、直流電源４を作動させて試料ステージ１と試料２に直流電圧を印加し、プローブ７を取り付けた支持板６に電源８から電圧を印加する（Ｓ２２０）。試料２と支持板６にそれぞれ電圧を印加した状態で、Ｚ軸駆動部５１を駆動してプローブ７が試料２の表面から所定の高さになるように設定する（Ｓ２２１）。

【0036】

次に、この状態でステージ駆動機構３を制御して試料ステージ１をＸ方向の走査とＹ方向のステップ送りとを交互に繰返して、プローブ７で試料２の電流値異常領域を全面走査する（Ｓ２２２）。データ処理部３２において、プローブ７で試料２の電流値異常領域を全面走査したときに、たわみ量検出部９で検出した支持板６のたわみを補正するために垂直方向位置制御回路３６からＺ軸駆動部５１に出力した値と、プローブ７のＸ−Ｙ面内の位置情報に基づいて電流値異常領域の表面画像を生成する（Ｓ２２３）。

【0037】

最後に、生成した電流値異常領域の表面画像と、電流値のプロファイルを入出力部３３の表示画面３４に表示して処理を終了する（Ｓ２２４）。図３に、出力画面の一例を示す。表示画面３４には、電流値異常領域の表面画像３４１と、表面画像３４１上で指定したライン上の電流値のプロファイル３４２〜３４４が表示される。

【0038】

なお、上記した実施例においては、図２ＡのＳ２０２からＳ２０８までのステップで、電流値の異常領域を検出し、図２ＡのＳ２１１から図２ＢのＳ２２４で電流値の異常領域を詳細に計測して表面の画像を得る方法について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、Ｓ２０２からＳ２０８までのステップで、Ｓ２０７におけるＹ方向の１ピッチの移動量を大きくして電流値の異常領域を検出し、この検出した電流値の異常領域について更に、Ｓ２０７におけるＹ方向の１ピッチの移動量を狭くして電流値の異常領域を狭めることを繰返して、図２ＡのＳ２１１から図２ＢのＳ２２４で詳細に計測して表面の画像の領域を絞り込むようにしてもよい。

【0039】

本実施例によれば、電流値異常領域の表面画像と電流値のプロファイルとを同時に確認することができるので、試料の電気的特性に関する複数の情報を可視化して同時に表示することができるようになった。

【0040】

また、本実施例で得られた試料と電極との間に流れる電流値に関するデータを演算処理して測定することで，得られた電気的情報から試料表面の抵抗情報を得ることもできる。

【実施例2】

【0041】

図４に、本発明の実施例２における電気特性測定装置１００−１の主要部の構成を示す。プローブ７で試料２の表面状態を画像化し、電気特性評価領域を特定できれば、プローブ７と電極１０、１１の位置は、特に限定されない。図４は、２本の電極１０、１１の間にプローブ７が位置する例である。図４において、実施例１で説明した図１に示した電気特性測定装置１００と同じ構成部分については図示を省略している。

【実施例3】

【0042】

図５に、本発明の実施例３における電気特性測定装置１００−２の主要部の構成を示す。プローブ７で試料２の表面状態を画像化し、電気特性評価領域を特定できれば、プローブ７と電極１０、１１の位置は、特に限定されない。図５は、プローブ７が走査後、プローブ７を中央に位置するように２本の電極１０、１１が位置する例である。図５において、実施例１で説明した図１に示した電気特性測定装置１００と同じ構成部分については図示を省略している。

【実施例4】

【0043】

図６に、本発明の実施例４における電気特性測定装置１００−３の主要部の構成を示す。試料表面内部に電気特定を評価した領域がある場合、図６に示すように、プローブ７で検出された画像を基に、電極１０、１１を試料２に刺突させる。刺突後、直流電源１２から電圧を電極１０、１１に印加し、電流計１３で電流値を計測し、演算処理部３１で、抵抗や電気容量等、電気特性値を算出する。図６において、実施例１で説明した図１に示した電気特性測定装置１００と同じ構成部分については図示を省略している。

【実施例5】

【0044】

図７に、本発明の実施例４における電気特性測定装置１００−４の主要部の構成を示す。試料２に直流電源４から電圧を印加する際、銀ペーストなど、導電材料１６を試料２の導電部に塗布し、そこに直流電源４を接続することもできる。これを図７に示す。図７において、実施例１で説明した図１に示した電気特性測定装置１００と同じ構成部分については図示を省略している。

【実施例6】

【0045】

従来の透明導電膜付き基材の電気特性を評価した例を示す。
例えば、特開２０１５−２０１０２３号公報に示されている、従来の透明導電膜付き基材で説明する。

【0046】

図８に示すように、易接着層８３０付の透明基材８４０と、易接着層８３０上に形成された、金属ナノワイヤ８６０をバインダー部８５０に含有してなる透明電極層８２０と、この透明電極層８２０の上に形成された、着色層８７０とを有する透明導電膜付き基材８１０で構成されている。

【0047】

この透明導電膜付き基材８１０を実施例４に示すように、プローブ７で検出された画像を基に、電極１０、１１を試料２に刺突させる。刺突後、直流電源１２により電圧を電極１０、１１に印加し、電流計１３で電流値を計測し、演算処理部３１で、抵抗や電気容量等、電気特性値を算出した。

【0048】

なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

【0049】

また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の記録装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。

【0050】

また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。

【符号の説明】

【0051】

１…試料ステージ ２…試料 ３…ステージ駆動機構 ４…直流電源
５…除電装置 ６…支持板 ７…プローブ ８…電源 ９…たわみ量検出部
１０，１１…電極 １２…直流電源 １３…電流計 １５…除電装置
２１…支持板 ２２…Ｚ軸駆動部 ２３…支持板 ２４…Ｚ軸駆動部
３１…演算処理部 ３２…データ処理部 ３３…入出力部 ３４…表示画面
３５…制御部 ３６…垂直方向位置制御回路 ５１…Ｚ軸駆動部
１００，１００−１，１００−２，１００−３，１００−４…電気特性測定装置
１１０…ステージ部 １２０…表面特性計測部 １３０…電気特性測定部
１４０…処理制御部 ２２１…Ｘテーブル ２３１…Ｘテーブル。

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】