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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】6562334
(24)【登録日】2019年8月2日
(45)【発行日】2019年8月21日
(54)【発明の名称】仕切弁
(51)【国際特許分類】
F16K 3/18 20060101AFI20190808BHJP
【ＦＩ】
F16K3/18 B
【請求項の数】2
【全頁数】37
(21)【出願番号】特願2019-528151(P2019-528151)
(86)(22)【出願日】2019年2月5日
(86)【国際出願番号】JP2019004016
【審査請求日】2019年5月24日
(31)【優先権主張番号】特願2018-44795(P2018-44795)
(32)【優先日】2018年3月12日
(33)【優先権主張国】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000231464
【氏名又は名称】株式会社アルバック
(74)【代理人】
【識別番号】100141139
【弁理士】
【氏名又は名称】及川 周
(74)【代理人】
【識別番号】100134359
【弁理士】
【氏名又は名称】勝俣 智夫
(74)【代理人】
【識別番号】100192773
【弁理士】
【氏名又は名称】土屋 亮
(72)【発明者】
【氏名】和田 慎一
(72)【発明者】
【氏名】井上 英晃
(72)【発明者】
【氏名】柴山 浩司
(72)【発明者】
【氏名】和出 拓也
(72)【発明者】
【氏名】古瀬 晴邦
(72)【発明者】
【氏名】猿渡 治郎
(72)【発明者】
【氏名】鐸木 幹也
(72)【発明者】
【氏名】徳平 真之介
(72)【発明者】
【氏名】照井 敬晶
【審査官】
北村 一
(56)【参考文献】
【文献】
特許第５６１３０８７（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】
特開２００４−１０８４７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｆ１６Ｋ ３／００− ３／３６
Ｆ１６Ｋ ３９／００−５１／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
仕切弁であって、
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
を具備し、
前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有し、
前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部と、第３付勢部とを備え、
前記第３付勢部は、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢し、
複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有し、
前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動し、
前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する、
仕切弁。
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
を具備し、
前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有し、
前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部と、第３付勢部とを備え、
前記第３付勢部は、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢し、
複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有し、
前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動し、
前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する、
仕切弁。
【請求項2】
仕切弁であって、
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
を具備し、
前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有し、
前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部とを備え、
複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能、及び、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能を有し、
前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動し、
前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する、
仕切弁。
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
を具備し、
前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有し、
前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部とを備え、
複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能、及び、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能を有し、
前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動し、
前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する、
仕切弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、弁体（弁板）による流路を開閉する動作に加えて、弁体をスライド動作させる振り子型，直動型等に適した仕切弁に関する。特に、本発明は、真空装置等において、異なる圧力を有する２つの空間をつなげている流路及び異なるプロセスを行う２つの空間をつなげている流路を仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（２つの空間をつなぐ）、仕切弁に関する。本願は、２０１８年３月１２日に日本に出願された特願２０１８−０４４７９５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【0002】
真空装置等においては、チャンバーと配管との間、配管と配管との間、あるいは配管とポンプ等との間等、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。【0003】
例えば、弁板をスライドさせて流路の弁開閉位置に弁板を挿入し、更にこの弁板を作動させて流路を仕切り（閉弁動作）、あるいは上記弁板を作動させて流路をつなぎ（開弁動作）、更に弁板をスライドさせ、流路から弁箱内の退避位置に弁板を退避させる構造が知られている。このような構造を有する弁としては、振り子型，直動型，ドア型等が知られている。【0004】
直動型仕切弁は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成された弁箱の中空部に、弁棒（支持体）に固設された弁板が配置された構造を有する。この構造においては、上記弁棒をその長手方向に直動させて、上記弁板を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁板を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。【0005】
従来の上記直動型仕切弁としては、ベローズで接続された２枚の第１弁板及び第２弁板からなる弁体と、この２つの弁板の間において弁板の中央部に配置されたアクチュエータと、流路を構成する開口部が形成された弁箱とを備えた仕切弁が知られている。この仕切弁においては、アクチュエータによって、弁箱の開口部の周囲の内面に第１弁板を当接及び押圧させて流路を閉鎖し、または、アクチュエータによって第１弁板を上記弁箱の内面から離間させて流路を開放する（例えば、特許文献１参照）。【0006】
また、振り子型仕切弁は、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成されかつ中空部を有する弁箱と、中空部において回転軸に固設されて回転軸と垂直をなす面に平行な方向において広がっている支持体と、この支持体に固設された弁体（シールリング板が開口部に設けられている構造の場合には弁板）とが配置された構造を有する。この仕切弁においては、上記回転軸を回転させて、上記弁体を回動させ、上記弁体を開口部（流路）の弁開閉位置に挿入し、または、上記弁体を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。【0007】
従来の上記振り子型仕切弁としては、ハウジングの中空部内に、回転軸において回動可能な弁板と、ハウジングの開口部に配置された摺動可能なシールリング板と、ハウジングに一体形成されたフランジに上記シールリング板を摺動させるアクチュエータとが設けられた構造が知られている。この仕切弁においては、上記シールリング板を上記弁板に当接及び押圧して流路を閉鎖し、または、上記シールリング板を上記弁板から離間させて流路を開放する（例えば、特許文献２参照）。【0008】
この振り子型仕切弁のアクチュエータは、ボルトと環状室（シリンダ）とピストンとスプリングとが、シールリング板の摺動方向に直列に配置された構造を有する。従って、流路を閉鎖するときは、スプリングに生じる復元力が、ピストン，シリンダ，及びボルトを介してシールリング板に伝達される。【0009】
このような振り子型仕切弁としては、流路を気密的に遮断し、耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁が開示されている（例えば、特許文献３参照）。この仕切弁においては、外側弁体部がアームによって駆動装置に接続されており、外側弁体部を開口軸に沿って縦移動させる。ゆえに、アームに対して動力伝達装置により縦移動を促す起動装置は、仕切弁の面積が大型化するにつれて、大きな駆動力が必要となる。【0010】
また、特許文献３に開示された構造を大型の仕切弁に適用した場合、潰すべきＯリングの体積が増加することに加えて、回転軸からＯリングが遠方に離れた位置に配置される。このため、必要なモーメント荷重に対し、剛体となるように回転軸を設計しなければならないので、仕切弁の重量増加の一因となる。ゆえに、特許文献３に開示された構造は、小型の仕切弁には有効であるが、大型の仕切弁には不向きである。
【0011】
本発明者らは、上述した仕切弁の面積の大型化が可能な構成を備え、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を開発し、特許出願を行った（特許文献４）。この仕切弁においては、弁体を構成する可動弁部が重なり方向で複数の可動弁部［例えば、可動弁枠部（第１可動弁部）、可動弁板部（第２可動弁部）］から構成されており、両者を接続する位置にエアシリンダ（第２付勢部）を設けた。このエアシリンダを駆動するため、仕切弁の外部から、仕切弁の回転軸を通してエアシリンダまで至る、圧空の導入ライン（供給路）を可動弁枠部（第１可動弁部）の内部に設ける必要があった。【0012】
このようにエアシリンダや供給路が仕切弁の内部に設けられた弁体構造においては、高い信頼性の仕切り動作が可能な反面、弁体の重量が増加し、弁体の上下移動や弁体を旋回移動する際に大きな駆動力を要するため、弁体の構成の簡素化および軽量化が求めされていた。【0013】
同時に、大きな面積での仕切り動作を可能とするためには、仕切弁が大型化するが、仕切弁に供給される制御用流体（圧縮空気など）の圧力はそれほど増加しない。このため、重量が増加した弁体等の可動部を駆動するためには、可動部の出力を増大することが求められ、仕切弁を構成する部品の体積も大きく傾向にある。しかし、仕切弁が設置される装置・製造ライン等においては、常に省スペース化が求められており、仕切弁を構成する部品を省スペース化・小型化したいという要求があった。【0014】
また、弁体内にエアシリンダを備える機構において、弁体の圧力を受ける面積に占める割合が、例えば、２５％の場合、逆圧キャンセル率が７５％程度に留まるため、大きなシール力が必要となる傾向にある。このため、より高い逆圧キャンセル機構の開発が期待されていた。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることであり、逆圧キャンセル機構とは、逆圧にまともに対抗しない機構（逆圧を発生させない機構）を意味する。【0015】
さらに、大きな面積での仕切り動作における高信頼性に加えて、電源供給の消失、あるいは、圧空などの制御流体駆動圧力の消失などの緊急時に、流路を閉じるノーマルクローズ構造を有する仕切弁が求められてきた。このノーマルクローズとは、弁仕切り動作をおこなう際に弁体等を駆動させる圧空等の動力源が作用していない状態などでは、流路を閉じる、及び流路が閉じた状態を維持することを意味している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0016】
【特許文献1】日本国特許第３４２５９３８号公報
【特許文献2】日本国特許第３６５５７１５号公報
【特許文献3】日本国特開２０１３−３２８４０号公報
【特許文献4】日本国特許第５６１３０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0017】
本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたものであり、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、可動弁部の軽量化が図れるとともに、１００％の逆圧キャンセル率が実現でき、大きな面積での仕切り動作を可能とし、仕切弁を構成する部品の軽量化と省スペース化を実現し、かつ、ノーマルクローズ構造を有する仕切弁を提供することを目的とする。【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明の第１態様に係る仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有する。前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部と、第３付勢部とを備える。前記第３付勢部は、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する。これにより上記課題を解決した。【0019】
本発明の第２態様に係る仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有する。前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部とを備える。複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能、及び、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する。これにより上記課題を解決した。【0020】
本発明の第１態様に係る仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有する。前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部と、第３付勢部とを備える。前記第３付勢部は、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する。これにより、前記第３付勢部が、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体駆動装置によって駆動され、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第２付勢部は、可動弁部に内蔵されて、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。
【0021】
本発明の第２態様に係る仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第１可動弁部と、前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、を有する。前記仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第１付勢部と、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に配されている第２付勢部とを備える。複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体により駆動し、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能、及び、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。前記仕切弁は、複数の前記第１付勢部を非圧縮性流体により駆動する非圧縮性流体駆動装置を有する。これにより、複数の前記第１付勢部は、非圧縮性流体駆動装置によって駆動され、前記第１可動弁部を前記流路方向において前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部及び前記第２可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部及び前記第２可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能を有する。前記第２付勢部は、前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。
【0022】
本発明の第１態様に係る仕切弁においては、複数の前記第１付勢部の各々は、前記弁箱において、前記第１可動弁部に対して作用する位置に配され、かつ、前記第１可動弁部に沿って設けられてもよい。【0023】
本発明の第１態様に係る仕切弁においては、複数の前記第１付勢部は、前記第１可動弁部に対して、引張力を作用してもよい。【0024】
本発明の第１態様に係る仕切弁においては、複数の前記第１付勢部は、前記第１可動弁部に対して、圧縮力を作用してもよい。【0025】
本発明の第１態様に係る仕切弁においては、前記第３付勢部は、板バネあるいはコイルばねであってもよい。【発明の効果】
【0026】
本発明の第１態様に係る仕切弁は、弁箱の中空部内に配置された可動弁部が第１可動弁部と第２可動弁部とによって構成されている。仕切弁は、第１可動弁部と、この第１可動弁部に対して軸方向に摺動シール可能な状態で嵌合される第２可動弁部と、第１可動弁部を第２付勢部を介して保持する中立弁体とを備える弁体構造を有する。また、本発明の第１態様に係る仕切弁は、第１可動弁部を中立弁部に対して流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、第１可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する第３付勢部を備える。
【0027】
さらに、本発明の第１態様に係る仕切弁は、弁箱の内部に設けられ、第１可動弁部を弁箱内面のシール面に向く方向に押圧し、非圧縮性流体駆動装置によって駆動されて伸縮が可能な昇降機構を構成する第１付勢部を有する。この構成によれば、２つの第１可動弁部及び第２可動弁部と２つの第２付勢部及び第３付勢部とによって弁体が構成され、もう１つの第１付勢部は弁箱に内蔵した構成が得られるので、第１付勢部の重量分だけ弁体構造の軽量化が図れる。
本発明の第１態様に係る仕切弁においては、開弁状態から閉弁状態とする場合には第１付勢部が機能し、逆に閉弁状態から開弁状態とする場合には第３付勢部が機能する。
また、非圧縮性流体駆動装置によって駆動される第１付勢部によって、ノーマルクローズ動作を実現することができる。
さらに、本発明の第２態様に係る仕切弁によれば、第１付勢部が第３付勢部の機能も兼ね備えた構成を実現することができる。これにより、さらに弁体構造の軽量化が図れるので、より好ましい。
ここで、非圧縮性流体駆動装置としては、例えば油圧により駆動可能な装置を採用することができる。
【0028】
従来の仕切弁では、エアシリンダは弁体構造に含まれており、エアシリンダに対して圧空を導入する供給路が必要であり、弁体構造が複雑になっていた。これに対して、本発明の上記態様に係る第１付勢部は、弁箱の内部に配置され、弁体構造に含まれておらず、かつ、非圧縮性流体駆動装置によって駆動可能であるため、弁体構造の簡素化をもたらす。また、本発明の上記態様に係る仕切弁においては、弁箱の内部に第１付勢部を配置した構造を採用したことにより、仕切弁が潰すべきＯリングの反力は弁箱で受けることができるので、回転軸および中立弁部の剛体はＯリングの反力を考慮せずに設計可能となる。これは、弁体構造の軽量化をもたらす。
【0029】
従来の仕切弁では、逆圧キャンセル率が７５％程度のエアシリンダを用いていた。これに対して、本発明の態様では、第１可動弁部をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成する第１付勢部を採用したことにより、１００％の逆圧キャンセル率が得られる。ゆえに、本発明の上記態様に係る仕切弁は、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、可動弁部の軽量化が図れるとともに、１００％の逆圧キャンセル率が実現できる、仕切弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す横断面図である。
【図2】本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。
【図7】本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。
【図12】本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
【図16】本発明の実施形態の変形例において使用するボールプランジャ機構を示す図である。
【図17】本発明の実施形態の変形例における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。
【図18】本発明の実施形態の変形例における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。
【図19】本発明の実施形態の変形例における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
【図20】従来の仕切弁の構成を示す横断面図である。
【図21】従来の仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置に配置されている場合を示す図である。
【図22】従来の仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置に配置されている場合を示す図である。
【図23】本発明の実施形態に係る仕切弁における油圧駆動装置および第１付勢部を説明する概略構成図である。
【図24】本発明の実施形態に係る仕切弁における第１付勢部の配置を説明するための斜視図である。
【図25】本発明の実施形態に係る仕切弁における第１付勢部の配置を説明するための斜視図である。
【図26】本発明の実施形態に係る仕切弁における油圧駆動装置の油圧発生部を示す断面図である。
【図27】本発明の実施形態に係る仕切弁における油圧駆動装置の油圧発生部を示す断面図である。
【図28】本発明の実施形態に係る仕切弁における油圧駆動装置の油圧発生部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0031】
以下、本発明に係る仕切弁の実施形態を、図面に基づいて説明する。また、以下の説明に用いる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率が実際のものとは適宜に異ならせてある。
本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
本実施形態において、可動弁部Ａは本発明の第１可動弁部に対応し、可動弁部Ｂは本発明の第２可動弁部に対応している。また、付勢部Ａは本発明の第１付勢部に対応し、付勢部Ｂは本発明の第２付勢部に対応し、付勢部Ｃは本発明の第３付勢部に対応している。
【0032】
＜実施形態＞図１は、本実施形態における仕切弁の構成を示す平面図である。
図２は、本実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図２は、図１における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図３〜図６は、図２と同様に、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。
図３は、図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部Ａの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図４は、図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁部Ａと可動弁部Ｂとの間に配された付勢部Ｂの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図５は、図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部Ａと付勢部Ｂが存在しない位置における可動弁部Ａと可動弁部Ｂを示す図である。
図６は、図１における付勢部Ｃの要部を示す拡大図であり、図２において付勢部Ｃを紙面奥行き方向に見た図である。
【0033】
図７は、本実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図７は、図１における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図８〜図１１は、図７と同様に、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図８は、図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部Ａの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図９は、図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁部Ａと可動弁部Ｂとの間に配された付勢部Ｂの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図１０は、図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部Ａと付勢部Ｂが存在しない位置における可動弁部Ａと可動弁部Ｂを示す図である。
図１１は、図１における付勢部Ｃの要部を示す拡大図であり、図７において付勢部Ｃを紙面奥行き方向に見た図である。
【0034】
図１２は、本実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図で、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図１２は、図１における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図１３〜図１５は、図１２と同様に、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図１３は、図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部Ａの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図１４は、図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁部Ａと可動弁部Ｂとの間に配された付勢部Ｂの付近に位置する部材の構造を示す図である。
図１５は、図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部Ａと付勢部Ｂが存在しない位置における可動弁部Ａと可動弁部Ｂを示す図である。
【0035】
図２３は、図２における油圧駆動装置および付勢部Ａを説明する概略構成図である。図２４は、図２における付勢部Ａの配置を説明するための斜視図である。
図２５は、図２における付勢部Ａの配置を説明するための斜視図である。
図２６〜図２８は、図２における油圧駆動装置を示す断面図である。
【0036】
［振り子型仕切弁］本発明の実施形態に係る仕切弁１００は、図１〜図１５に示すように、振り子型スライド弁である。
仕切弁１００は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、弁箱１０の中空部１１内に配置され第１開口部１２ａを閉塞可能な中立弁体５を備える。
第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路方向Ｈと称することがある。
【0037】
仕切弁１００は、中立弁体５を第１開口部１２ａに対して閉塞状態（図７）にする弁閉塞位置と、中立弁体５を第１開口部１２ａから退避した開放状態（図２）にする弁開放位置との間で動作する、位置切り替え部として機能する。また、仕切弁１００は、流路方向Ｈに延在する軸線を有する回転軸２０を有する。【0038】
中立弁体５は、前記位置切り替え部（中立弁体５）に接続される中立弁部３０、及び、中立弁部３０に対して流路方向Ｈの位置が変更可能に接続される可動弁部４０、から構成されている。【0039】
可動弁部４０は、可動弁部Ａ６０（可動弁枠部）と可動弁部Ｂ５０（可動弁板部）を備える。可動弁部Ａ６０（可動弁枠部）は、可動弁部Ａに周設され第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される第１シール部６１が設けられる。可動弁部Ｂ５０（可動弁板部）は、可動弁部Ａ６０（可動弁枠部）に対して流路方向Ｈに摺動可能とされる。【0040】
弁箱１０には、複数の付勢部Ａ７０（ピストン：旧メインバネに相当）が内蔵されている。弁箱１０の内部に配置された付勢部Ａ７０は、可動弁部Ａ６０をシール面に向く方向に押圧する、伸縮が可能な昇降機構を構成している。付勢部Ａ７０は、油圧駆動装置（非圧縮性流体駆動装置）７００に接続されており油圧によって駆動される。【0041】
これにより、付勢部Ａ７０は、可動弁部Ａ６０を流路方向Ｈにおける第１開口部１２ａに向けて付勢して第１シール部６１を第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。【0042】
また、本発明の実施形態に係る仕切弁は、可動弁部Ａを中立弁部に対して流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、可動弁部Ａを前記流路方向における中央位置に向けて付勢する付勢部Ｃを備える。さらに、本発明の実施形態に係る仕切弁は、弁箱の内部に、可動弁部Ａを弁箱内面１０Ａのシール面に向く方向に押圧する、伸縮が可能な昇降機構を構成する付勢部Ａを有する。
【0043】
この構成によれば、２つの可動弁部Ａ、Ｂと１つの付勢部Ｂとによって弁体を構成し、もう１つの付勢部Ａは弁箱に内蔵した構成が得られるので、付勢部Ａの重量分だけ弁体構造の軽量化が図れる。本発明の実施形態に係る仕切弁においては、開弁状態（図２）から閉弁状態（図７）とする場合には付勢部Ａが機能し、逆に閉弁状態（図７）から開弁状態（図２）とする場合には付勢部Ｃが機能する。【0044】
可動弁部Ａ６０（可動弁枠部）と可動弁部Ｂ５０（可動弁板部）との間には、付勢部Ｂ（バネ：旧エアシリンダに相当）が配されている（可動弁部に内蔵されている）。付勢部Ｂは、可動弁部Ａ６０（可動弁枠部）と可動弁部Ｂ（可動弁板部）との流路方向Ｈにおける厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。【0045】
回転軸２０が符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って、接続部材（不図示）を介して回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ｒ１に沿って回動する。また、可動弁部４０は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部４０は、中立弁部３０と一体に回転する。【0046】
このように中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置から第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置に可動弁部４０が振り子運動で移動する。【0047】
そして、弁箱１０に内蔵された付勢部Ａ７０は、弁箱１０の内部に配置され油圧駆動装置７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によって駆動可能な油圧駆動部（固定部）７１と、この油圧駆動部（固定部）７１によって、固定部７１から可動弁部Ａ６０に向く方向へ伸縮が可能な可動部７２とから構成されている。【0048】
また、可動部７２の周囲には、可動部７２の先端側位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７５が設けられている。シール部材７５によって油圧駆動部（固定部）７１から可動弁部Ａ６０が配置されている真空側（真空空間）を隔離するように、可動部７２がシールされた状態で、可動部７２が伸縮自在とされている。【0049】
これにより、付勢部Ａ７０は、油圧によって付勢部Ａ７０の先端部を可動弁部Ａ６０に当接させて、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を備えている。【0050】
付勢部Ａ７０は、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能により、可動弁部Ａ６０を弁箱１０の内面に接しさせ、可動弁部Ａ６０を前記弁箱１０の内面に押圧し、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。【0051】
逆に、付勢部Ｃ９０は、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａから離間可能とする機能により、可動弁部Ａ６０を弁箱１０の内面から引き離した後、可動弁部Ａ６０を退避させることにより、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。弁箱１０の内面に対して可動弁部Ａ６０を当接させる付勢部Ａ７０による機械的な当接動作と、弁箱１０の内面から可動弁部Ａ６０を引き離す付勢部Ｃ９０による機械的な分離動作によって、閉弁動作と解除動作が可能となる。
【0052】
この解除動作の後に、回転軸２０が符号Ｒ２で示された向きに回転する（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０（すなわち、可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０）も向きＲ２に回動する。【0053】
さらに、可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０との流路方向Ｈにおける厚み寸法を、調整可能なように駆動する付勢部Ｂは、前記可動弁部Ａと前記可動弁部Ｂとの間に配されている。すなわち付勢部Ｂは、可動弁部に内蔵されている。この付勢部Ｂの存在により、可動弁部Ａと前記可動弁部Ｂは、一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において連動する。この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。
【0054】
このように、本発明の実施形態に係る仕切弁においては、２つの可動弁部Ａ６０及び可動弁部Ｂ５０と２つの付勢部Ｂ８０及び付勢部Ｃ９０とによって弁体を構成し、もう１つの付勢部Ａは弁箱に内蔵した構成が得られる。すなわち、本発明の実施形態では、もう１つの付勢部Ａが弁箱に内蔵された分だけ、弁体の軽量化が可能となる。したがって、本発明の実施形態によれば、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、可動弁部の軽量化が図れるとともに、１００％の逆圧キャンセル率が実現できる、仕切弁を提供することができる。
【0055】
［弁箱１０］弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第１開口部１２ａが設けられており、フレームの図示下面には第２開口部１２ｂが設けられている。
仕切弁１００は、第１開口部１２ａが露出されている空間（第１空間）と第２開口部１２ｂが露出されている空間（第２空間）の間に挿入される。仕切弁１００は、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとをつなげている流路Ｈ、即ち、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（第１空間と第２空間をつなぐ）。
弁箱１０の中空部１１には、回転軸２０、中立弁部３０、可動弁部４０を構成する２つの可動弁部Ａ６０（スライド弁板）と可動弁部Ｂ５０（カウンター板）、及び、２つの付勢部Ｂ８０（保持バネ）と付勢部Ｃ９０（補助バネ）が設けられている。弁箱１０を構成するフレームの内部には、付勢部Ａ（昇降機構）が設けられている。
【0056】
［回転軸２０］回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。回転軸２０は、不図示の駆動装置により回転可能である。
回転軸２０には、接続部材（不図示）が固着されている。この接続部材は、例えば、略平板状の部材であり、回転軸２０の一端に対してネジ等によって固着される。
【0057】
［中立弁部３０］中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在し、この方向に平行な面に含まれるように配置される。中立弁部３０は、接続部材（不図示）を介して、あるいは接続部材（不図示）を介さずに直接、回転軸２０に固定される。
【0058】
図１に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転軸２０から円形部３０ａに向けて、２本の腕が延びたアーム形状で形成されている。これにより、円形部３０ａは、アーム部と呼称される場合もある。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。
【0059】
回転軸２０は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５の全体、即ち、中立弁体５の両面に取り付けることができる。本実施形態においては、仕切弁の閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐように中立弁体５が移動する仕切弁の配置に基づき、仕切弁の開閉動作が行われる場合について説明する。
【0060】
［可動弁部４０、可動弁部Ｂ５０（可動弁板部：カウンター板）、可動弁部Ａ６０（可動弁枠部：スライド弁板）］可動弁部４０は略円板状とされ、円形部３０ａと略同心円状に形成された可動弁部Ｂ５０と、この可動弁部Ｂ５０の周囲を囲むように配置された略円環状の可動弁部Ａ６０とを有する。可動弁部Ａ６０は、中立弁部３０に流路Ｈ方向に摺動可能として接続されている。また、可動弁部Ｂ５０は、可動弁部Ａ６０に摺動可能として嵌合されている。
【0061】
可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０とは、付勢部Ｂ８０（保持バネ）によって符号Ｂ１，Ｂ２（図２）で示された方向（往復方向）に摺動しながら移動可能である。ここで、符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向とは、可動弁部Ｂ５０および可動弁部Ａ６０の面に垂直な方向であり、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。【0062】
また、可動弁部Ｂ５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成されている。また、可動弁部Ａ６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成されている。【0063】
本実施形態においては、外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面６０ｂを有する。内周クランク部５０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂを有する。外周クランク部６０ｃ及び内周クランク部５０ｃは、摺動面５０ｂ、６０ｂどうしが摺動可能となるように嵌合している。この摺動を可能にするため、Ｏリング等からなる第３シール部５２（摺動シールパッキン）が外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとの間に配されている。【0064】
弁箱１０の内面に対向（当接）する可動弁部Ａ６０の表面には、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第１シール部６１（弁板シールパッキン）が設けられている。【0065】
この第１シール部６１は、閉弁時に可動弁部４０が第１開口部１２ａを覆っている状態で、第１開口部１２ａの周縁となる弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触し、可動弁部Ａ６０及び弁箱１０の弁箱内面１０Ａによって押圧される。これによって、第１空間は第２空間から確実に隔離される（仕切り状態が確保される）。弁箱１０の弁箱内面１０Ａに対向（当接）する可動弁部Ｂ５０の表面には、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第２シール部５１（カウンタークッション）が設けられている。
【0066】
［付勢部Ｂ８０（保持バネ）］付勢部Ｂ８０（保持バネ）は、可動弁部Ａと可動弁部Ｂとの間に位置しており、可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０とが重なる領域に、局所的に配置される。すなわち、付勢部Ｂ８０は、可動弁部４０（可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０との間）に内蔵されている。付勢部Ｂ８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。互いに離間する付勢部Ｂ８０の配置としては、等間隔の配置に限定されず、複数の付勢部Ｂ８０が非等間隔で配置されている構造が採用されても構わない。図１は、弁体の中心Ｏから見て、３個の付勢部Ｂ８０が同じ角度位置（１２０度）に配された構成例を示している。
【0067】
付勢部Ｂ８０は、可動弁部Ａ６０（可動弁枠部：スライド弁板）に固定されたボルト状のガイドピン８１の長軸部によって、可動弁部Ｂの動きを誘導（規制）するように構成されている。付勢部Ｂ８０を構成する保持バネは、弾性部材（例えば、スプリング、ゴム等）で形成されている。【0068】
付勢部Ｂ８０（保持バネ）は、可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０との流路方向Ｈにおける厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。これにより、可動弁部Ｂ５０は、可動弁部Ａ６０の動く方向（符号Ｂ１の方向，あるいは符号Ｂ２の方向）へ連動する。その際、可動弁部Ｂ５０は、流路方向Ｈにおける厚み寸法を調整が可能なように駆動するので、上述した閉弁時には、可動弁部Ａ６０の第１シール部６１が弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触する際の衝撃を緩和する。【0069】
また、開弁時や逆圧時には、可動弁部Ｂ５０の第２シール部５１が弁箱１０の弁箱内面１０Ｂに接触する際の衝撃を緩和する。この衝撃を受けた際に、可動弁部Ｂ５０と弁箱内面１０Ｂと第２シール部５１によって密閉空間が形成される。この密閉空間に圧力を与えている気体を除去するために、可動弁部Ｂ５０には気抜き穴５３が設けられる。【0070】
［ガイドピン８１］ガイドピン８１は、可動弁部Ａ６０に固設されて流路方向Ｈに立設されており、太さ寸法が均一の棒状体で構成されている。ガイドピン８１は、付勢部Ｂ８０内を貫通し、可動弁部Ｂ５０に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
【0071】
このガイドピン８１は、可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０とが摺動する方向（符号Ｑで示す軸）が符号Ｂ１，Ｂ２に示された方向からずれないように、かつ、可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０とが摺動した際にも、可動弁部Ｂ５０及び可動弁部Ａ６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うように、可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０の位置規制を確実に誘導する。【0072】
［付勢部Ｃ９０（補助バネ）］付勢部Ｃ９０（補助バネ）は、中立弁部３０と可動弁部Ａ６０との間に設けられ、弁箱１０の流路方向Ｈにおいて、可動弁部Ａ６０を中立弁部３０に対して流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、可動弁部Ａを前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。これにより、本発明の実施形態において、仕切弁が閉弁状態（図７）から開弁状態（図２）に変わる場合に、付勢部Ｃ９０が機能する。すなわち、付勢部Ｃ９０は、閉弁状態（図７）から、弁箱１０の内面から可動弁部Ａ６０を引き離す機械的な分離動作を促す構造を有する。
【0073】
付勢部Ｃ９０は、中立弁部３０の外周位置に位置する円形部３０ａを有し、可動弁部Ａ６０の外周位置に位置し、円形部３０ａと重なる部位（位置規制部６５）に設けられている。付勢部Ｃ９０は、弁体の中心Ｏから見て、付勢部Ｂ８０と同じ角度位置に配されている。図１は、３個の付勢部Ｃ９０が配置された構成例を示している。
付勢部Ｃ９０も付勢部Ｂ８０と同様に弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、板バネ等）である。
【0074】
中でも、付勢部Ｃ９０として板バネ（図６、図１１）を用いた場合は、可動弁部Ａ６０を中立弁部３０（アーム）に向けて引き込み保持する機能α［閉弁状態（図７）から機械的な分離動作を促す機能］に加えて、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁部Ａ６０の半径方向の位置を保持する機能βも備えることができるので、より好ましい。【0075】
図６は、仕切弁が開弁状態（図２）にある場合の付勢部Ｃ９０を示す模式的な断面図である。図１１は、仕切弁が閉弁状態（図７）にある場合の付勢部Ｃ９０を示す模式的な断面図である。図６や図１１に示すように、板バネ（付勢部Ｃ９０）の両端部に近い部分が、固定ピン９２，９３によってリング状部材９２ａ、９２ｂを挟んで、中立弁部３０の円形部３０ａの周方向に沿って係止されている。また、板バネの中央部に近い部分が、印圧ピン９１によって可動弁部Ａ６０の位置規制部６５に係止されている。
【0076】
仕切弁が開弁状態（図２）にある板バネは、曲部９０Ａを有することにより、高さ方向の距離が縮まった状態、すなわち、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁部Ａ６０の離間距離が狭くなった状態にある（図６）。【0077】
これに対して、仕切弁が閉弁状態（図７）にある場合の板バネは、図６に示す曲部９０Ａを解消することにより、高さ方向の距離が伸びた状態、すなわち、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁部Ａ６０の離間距離が広がった状態にある（図１１）。このように、付勢部Ｃ９０として、極めて簡素な構造からなる板バネを採用することで、本発明の実施形態に係る仕切弁における付勢部Ｃ９０は、上述した２つの機能（機能αと機能β）が安定して得られる。
【0078】
［付勢部Ａ７０（昇降機構）］付勢部Ａ７０（昇降機構）は、弁箱に内蔵されており、上述した２つの可動弁部Ａ、可動弁部Ｂ及び２つの付勢部Ｂ、付勢部Ｃを含む弁体、とは別体をなしている。
付勢部Ａ７０は、油圧駆動装置７００から油（作動流体、加圧非圧縮性流体）が供給されることで油圧駆動部（固定部）７１に作用した油圧により、可動部７２の先端部を可動弁部Ａ６０に向けて伸長する。この動作によって、付勢部Ａ７０は、可動弁部Ａ６０を流路方向Ｈに沿って第１開口部１２ａに向けて付勢する。付勢部Ａ７０は、この可動部７２の伸長動作により、第１シール部６１を第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着可能とする機能を有している。
【0079】
この可動部７２の伸長動作は、弁箱１０に内蔵された複数の付勢部Ａ７０においていずれもほぼ同時に動作可能とされている。付勢部Ａ７０は、逆に第１シール部６１を第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａから離間可能とする機能は有していないが、自ら（後述する可動部７２）が初動する位置（後述する固定部７１内の位置）に戻る機能は備えている。ゆえに、付勢部Ａ７０は、付勢部Ａ７０から可動弁部Ａ６０へ向かう方向へ伸縮可能な昇降機構である。
【0080】
このような構成を有する複数の付勢部Ａ７０は各々、弁箱１０において、可動弁部Ａ６０に対して作用する位置に配され、かつ、可動弁部Ａ６０に沿って設けられる。図１に示す構成例においては、付勢部Ａ７０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。
【0081】
互いに離間する付勢部Ａ７０の配置としては、等間隔の配置に限定されず、複数の付勢部Ａ７０が非等間隔で配置されている構造が採用されても構わない。図１および図２３，図２４は、弁体の中心Ｏから見て、４個の付勢部Ａ７０が同じ角度位置（９０度）に配された構成例を示している。図１に示す構成例における付勢部Ａ７０は、付勢部Ａ７０の角度位置が前述した付勢部Ｂ８０と付勢部Ｃが配置された角度位置と重ならないように構成されている。
【0082】
本実施形態における付勢部Ａ７０は、弁箱１０の内部に設けられた油圧駆動部（固定部）７１と、油圧駆動部（固定部）７１から可動弁部Ａ６０に向く方向へ伸縮可能な可動部７２とから構成されている。【0083】
油圧駆動部（固定部）７１は、油圧駆動装置７００に接続されており、この油圧駆動装置７００から供給された油圧によって可動部７２を上記方向に伸縮可能な構成とされている。【0084】
油圧駆動装置７００は、図２３に示すように、油圧駆動部（固定部）７１に油圧を供給する油圧を発生させる油圧発生部７０１と、油圧発生部７０１から油圧駆動部（固定部）７１に接続される油圧管７０２と、油圧管７０２に設けられて可動弁部Ａ６０の開動作終了時に油圧供給を切断するように作動可能なソレノイドバルブ７０３と、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が閉位置となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能な切替弁７０４と、油圧発生部７０１を駆動するモータ等の駆動部７０５と、駆動部７０５を制御する制御部（コントローラ）７０６と、駆動部７０５を駆動するための電力を供給する電源７０７と、を有する。【0085】
また、油圧発生部７０１は、図２６〜図２８に示すように、ノーマルクローズが可能な構成とされている。付勢部Ａ７０は、油圧駆動時に、作動流体である油が、可動弁部Ａ６０が配置されている真空側に漏れることを防止する多段のシール構造が設けられている。
油圧発生部７０１は、可動部７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を油圧駆動部（固定部）７１に供給するとともに、動作終了時に、油圧駆動部７１に対する油圧供給を切断可能とされている。また、油圧発生部７０１は、可動弁部Ａ６０への可動部７２の当接状態を適切に制御可能となっている。
【0086】
図２６〜図２８は、油圧駆動装置７００における油圧発生部７０１を示す断面図である。図２６は、油圧駆動装置７００における油圧発生部７０１の閉弁状態を示す。図２７は、油圧駆動装置７００における油圧発生部７０１の閉開状態を示す。図２８は、油圧駆動装置７００における油圧発生部７０１の過圧状態を示す。【0087】
油圧発生部７０１は、図２６に示すように、油圧駆動部（固定部）７１に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する油圧シリンダ７１０と、油圧シリンダ７１０を付勢する付勢部材７２０と、付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能なシリンダ駆動部７３０と、これらの部材を収納するケーシング７５０と、を備えている。【0088】
油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。ピストン７１２は、ピストン７１２の軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。
【0089】
油圧管７０２に接続されるピストン７１２の油圧流路７１３は、ケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされてケーシング７５０に取り付け固定される。ピストン７１２の端部７１２ａと反対側となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に位置する。ピストン７１２は、シリンダ本体７１１に同軸上に位置する。
【0090】
シリンダ本体７１１の端部７１１ａ（第１端）は開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａを通じて、シリンダ本体７１１の内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。シリンダ本体７１１は、ピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１は、ケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。
【0091】
シリンダ本体７１１の端部７１１ｂ（第２端）は、シリンダ本体７１１の内部空間を閉塞している。シリンダ本体７１１の底面（端部７１１ｂとは反対の面）と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面との間で油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。【0092】
油圧空間７１４の容積は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に増減する。この油圧空間７１４の容積の増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。【0093】
シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａにおいて、シリンダ本体７１１の径方向外側に張り出して周設される。【0094】
ケーシング７５０の内部において、シリンダ本体７１１の端部７１１ｂに向かう面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。フランジ部７１１ｃにおいて、端部７１１ａとは反対側の面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。周溝７１１ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。フランジ部７１１ｃにおいて、周溝７１１ｄの外周位置には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
【0095】
付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。【0096】
内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢する。内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。
【0097】
なお、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限られない。【0098】
シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パッキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂには、外側位置にシリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。
【0099】
シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。【0100】
駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は、軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１は、ピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。駆動軸７３１の外周面には、端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。
駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、ボールネジ７３１ｃの全ての範囲（周領域、ネジ形成面）に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。
【0101】
駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。【0102】
駆動軸７３１の端部７３１ａと反対側となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように駆動軸７３１の移動方向を規制している。【0103】
ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。
【0104】
なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。
【0105】
ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。【0106】
ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。【0107】
なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。【0108】
外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置にてケーシング７５０に支持される。駆動ギア７３３ｄは、駆動ギア７３３ｄと同軸上にある駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。
【0109】
駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置にてケーシング７５０に支持される。【0110】
駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置に配置されている。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。【0111】
ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部を構成する。【0112】
ケーシング７５０は、筒状のケーシング筒７５１と、ケーシング筒７５１の一端を閉塞するケーシング蓋７５２と、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する後ケーシング７５３と、ケーシング筒７５１の内部（収納空間７５５）においてケーシング蓋７５２と後ケーシング７５３との間に設けられるリング７５４と、後ケーシング７５３の他端を閉塞する蓋部７５８と、からなる。【0113】
ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は、収納空間７５５を形成している。【0114】
収納空間７５５は、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７３１ａと、を内部に収納する。収納空間７５５は、２つの開口を有する。２つの開口のうち一方には、ピストン７１２が位置しており、この開口はケーシング蓋７５２によって閉塞されている。
【0115】
ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。収納空間７５５の２つの開口のうち他方には、駆動軸７３１の位置しており、この開口は後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。
収納空間７５５には、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。
【0116】
リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。
【0117】
リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周に位置し、かつ、リング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。
【0118】
ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３とは、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。【0119】
駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。【0120】
駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸部が形成されている。凹凸部は、これらの部材を支持している。また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、モータ等の駆動部７０５が取り付けられている。
【0121】
ケーシング筒７５１と外ネジ駆動ギア７３２ｂ（ネジ駆動ギア７３２）との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。後ケーシング７５３と外ネジ駆動ギア７３２ｂ（ネジ駆動ギア７３２）との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。
【0122】
後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。
【0123】
後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。
【0124】
後空間７５６において蓋部７５８に近い位置には、駆動軸７３１の端部７３１ｂが当接可能なリミッタスイッチ７６０が設けられる。リミッタスイッチ７６０は、制御部７０６に接続される。【0125】
リミッタスイッチ７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１の端部７３１ｂがリミッタスイッチ７６０に当接したことを検知する。このとき、リミッタスイッチ７６０は、駆動軸７３１の端部７３１ｂが所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力する。この信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、リミッタスイッチ７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。【0126】
油圧発生部７０１は、制御部７０６の出力信号によって、モータ等の駆動部７０５を駆動可能とされる。【0127】
制御部７０６が駆動信号を出力すると、モータ等の駆動部７０５が駆動して、回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、駆動ギア７３７に噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、駆動ギア７３５に噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。駆動ギア７３３ｅの回転は、駆動ギア７３３ｅに一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、駆動ギア７３３ｄに噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、外側ギア７３２ｄに一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。【0128】
ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、ネジ駆動ギア７３２に噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されている。このため、ネジ駆動ギア７３２が回転しても、ネジ駆動ギア７３２は軸方向に移動しない。駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２が回転した場合に軸方向に移動する。このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。
【0129】
駆動軸７３１が軸方向に移動すると、駆動軸７３１に一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。【0130】
ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１の内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。【0131】
シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。【0132】
本実施形態に係る仕切弁においては、ノーマルクローズを可能とするため、付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向に発生する。つまり、付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力が発生する方向は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向に一致する。したがって、付勢部材７２０の付勢力は、油圧空間７１４の容積が減少するようにシリンダ本体７１１に付与されている。【0133】
また、本実施形態に係る仕切弁においては、ノーマルクローズ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動された際に、オープン可能とする。このため、モータ等の駆動部７０５の駆動により駆動軸７３１が移動する方向は、付勢部材７２０の付勢力の方向とは反対となる。つまり、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。したがって、モータ等の駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。【0134】
油圧発生部７０１においては、モータ等の駆動部７０５を駆動しない場合、図２６に示すように、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、付勢部Ａ７０では油圧が作用して、可動部７２の先端部７２ａが伸長する。【0135】
また、油圧発生部７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動した場合、図２７に示すように、モータ等の駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、付勢部Ａ７０では油圧が作用して、可動部７２の先端部７２ａが縮退する。【0136】
また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２に向けてオーバーランした場合でも、図２８に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を付勢部Ａ７０へ流入させないことができる。【0137】
この構成により、付勢部Ａ７０は、可動部７２の先端部７２ａを可動弁部Ａ６０の下面６０ｓｂに当接させて、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能と、自ら（可動部７２）が初動する位置（固定部７１内の位置）に戻る機能の２つの機能を有しており、弁体の昇降機構の役割を担う。【0138】
図２〜図５は、可動弁部４０（可動弁部Ａ６０、可動弁部Ｂ５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を表わしている。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と呼称する。図６は、ＦＲＥＥな状態（図２）における付勢部Ｃの要部を示す拡大図であり、図２において付勢部Ｃを紙面奥行き方向に見た図である。【0139】
この弁体がＦＲＥＥな状態において、上述した付勢部Ａ７０の機能、すなわち、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能により、可動弁部Ａ６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接するまで移動させ、可動弁部Ａ６０を前記弁箱内面１０Ａに押圧することによって、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。【0140】
図７〜図１０は、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表している。この状態を、正圧／差圧無の状態と呼称する。図１１は、正圧／差圧無の状態（図７）における付勢部Ｃの要部を示す拡大図であり、図７において付勢部Ｃを紙面奥行き方向に見た図である。この弁体が正圧／差圧無の状態において、上述した付勢部Ｃ９０の機能、すなわち、可動弁部Ａ６０を中立弁部３０に対して流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、可動弁部Ａを前記流路方向における中央位置に向けて付勢する機能により、可動弁部Ａ６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁部Ａ６０を退避させることによって、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。
【0141】
このように、本実施形態の仕切弁においては、Ｏリング等からなる第１シール部６１（弁板シールパッキン）とＯリング等からなる第３シール部５２（摺動シールパッキン）とが、ほぼ同一円筒面上に配置される（例えば、図３〜図５に示すラインＲに重なるように配置される）ため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。【0142】
また、本実施形態の仕切弁における付勢部Ａ７０は、弁箱１０に内蔵されており、２つの可動弁部Ａ６０、可動弁部Ｂ５０と２つの付勢部Ｂ８０、付勢部Ｃ９０とを含む中立弁体５とは別体をなしている。これにより、本実施形態の仕切弁１００は、付勢部Ａ７０の重量分だけ弁体構造の軽量化が図れる。【0143】
また、付勢部Ａ７０が油圧駆動装置７００によって作動流体が非圧縮性の油圧により動作する構成とされたため、作動流体が圧空（圧縮空気）等の圧縮性流体を用いる場合に比べて、省スペース化を図るとともに、同時に、確実な閉弁動作をおこなうことが可能となる。さらに、圧空駆動に比べて、動作上の安全性を向上することもできる。【0144】
ゆえに、本実施形態の仕切弁によれば、高い信頼性の仕切り動作が可能であると共に、弁体の重量が軽減されるので、弁体の上下移動や弁体を旋回移動する際に要する駆動力を抑制できるため、弁体の構成の簡素化および軽量化が実現する。【0145】
図２０〜図２２は従来の仕切弁５０１を示す図であり、図２０は横断面図を示しており、図２１及び図２２は縦断面図を示している。図２１は、弁体が退避動作可能位置に配置されている場合を示しており、図２２は、弁体が弁閉位置に配置されている場合を示している（特許文献４）。【0146】
図２０〜図２２に示すように、従来の仕切弁５０１では、本実施形態の仕切弁１００における付勢部Ａ７０に相当するリング状のエアシリンダ５８０が弁体構造に含まれており、エアシリンダ５８０に対して圧空を導入する供給路５４１も必要であり、弁体構造が極めて複雑になっていた。また、図２０〜図２２に示す従来例の仕切弁の構成において、大きな面積を有する弁体の閉塞動作をおこなうことが考えられる。この場合には、エアシリンダ５８０をリング状に形成する際に、要求される高動作正確性・高密閉性を満たすためには必要な加工精度が極めて高い。このため、そのような従来の仕切弁の製造時における高コスト化が懸念される。【0147】
これに対して、本発明の実施形態に係る付勢部Ａ７０は、弁箱１０の内部に配置され、弁体構造に含まれないので、弁体構造の簡素化も図れる。従来の仕切弁５０１が必須とした供給路５４１は、本実施形態の仕切弁１００においては不要である。また、付勢部Ａ７０として、複数の通常形態の円柱・円筒状のピストン・シリンダを用いることが可能であるため、要求される高動作正確性・高密閉性を満たす仕切弁を低コストで製造することができる。【0148】
ゆえに、本発明の実施形態に係る仕切弁は、弁箱の内部に配置され、弁体構造に含まれない付勢部Ａ７０を採用したことにより、回転軸２０を回転可能とする駆動装置として、従来よりも低パワーで駆動する部材や装置を低コストに選択することも可能となるので、本発明は省エネルギー型の仕切弁の実現に寄与する。【0149】
したがって、本発明は、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、可動弁部の軽量化が図れるとともに、１００％の逆圧キャンセル率が実現でき、ノーマルクローズ構造を有する仕切弁の提供に貢献する。【0150】
なお、図２は、付勢部Ａ７０が、第２開口部１２ｂに近い位置において、弁箱１０（１０ｂ）に内蔵されている構成を示しているが、本発明はこの構成に限定されない。例えば、第２開口部１２ｂに近い位置に代えて、第１開口部１２ａに近い位置に付勢部Ａ７０を設けても構わない。付勢部Ａ７０が可動弁部Ａ６０に対して作用できるならば、付勢部Ａ７０を設ける位置は自由に設定することが可能である。【0151】
上述した実施形態においては、図２に示した付勢部Ａ７０は、前記可動弁部Ａ６０に対して圧縮力を作用する構成例を示しており、機械的な当接動作によって、閉弁動作を行っているが、本発明はこの構成に限定されない。【0152】
圧縮力を作用する機能を備えた付勢部Ａ７０としては、油圧以外にも、例えば、上述したシリンダ機構の他に、圧空機構、電磁機構、等が挙げられる。なお、圧空機構等は、仕切弁１００が大面積でない場合など、付勢部Ａ７０として特に有効である。これは、仕切弁１００の設置姿勢によることがなく、開閉動作を安全におこなうことができるためである。【0153】
なお、付勢部Ａ７０が前記可動弁部Ａ６０に対して圧縮力を作用する機能と、可動弁部Ａ６０に対して引張力を作用する機能とを兼ね備えた構成例については、後述する図１７〜図１９に基づき、変形例として説明する。【0154】
図２に示した付勢部Ａ７０は、図１における線分Ａ−Ｏに沿う断面図である図３から明らかなように、図１において可動弁部Ａ６０の下方（紙面奥側）に配されている。すなわち、本実施態様は、図２３，図２４に示すように、付勢部Ａ７０が９０度ピッチで４箇所に配された構成例を示している。この構成例は、４個の付勢部Ａ７０が等間隔で配置された場合を示しているが、本発明は、この構成に限定されるものではなく、付勢部Ａ７０の個数は、３個以上の複数であればよく、付勢部Ａ７０の間隔は非等間隔であっても構わない。【0155】
また、本実施態様は、弁箱１０の内部に局所的に配されて付勢部Ａ７０として機能する部材としてピン状のシリンダを開示しているが、本発明はこの部材に限定されるものではない。例えば、ピン状のシリンダに代えて、リング状のシリンダを、付勢部Ａ７０として用いてもよい。【0156】
［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］以下では、図１〜図６に基づき、弁体がＦＲＥＥの状態について説明する。
図１は本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す横断面図であり、図２は縦断面図である。図３は図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図、図４は図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部に示す拡大図、図５は図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。また、図６は図２における付勢部Ｃの要部を示す拡大図である。
【0157】
中立弁体５がＦＲＥＥの状態とは、中立弁体５が弁箱１０の内面（第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面）と接していない状態である。【0158】
付勢部Ａ７０（昇降機構）は、弁箱１０の内部に配置された固定部７１と、固定部７１から可動弁部Ａ６０に向く方向へ油圧により伸縮可能な可動部７２とから構成されており、固定部７１とともに可動部７２も弁箱１０の内部に配置された状態にある。つまり、中立弁体５とは別体をなす付勢部Ａ７０（昇降機構）は、中立弁体５と接していない状態である。【0159】
換言すると、付勢部Ａ７０（昇降機構）は、弁箱１０に内蔵されており、２つの可動弁部Ａ６０、可動弁部Ｂ５０、及び付勢部Ｂ８０を含む中立弁体５とは別体をなしている。この付勢部Ａ７０は、油圧駆動装置７００に接続されるとともに弁箱１０の内部に配置された固定部７１と、固定部７１から可動弁部Ａ６０に向く方向へ伸縮可能な可動部７２とから構成されている。
【0160】
この構成により、付勢部Ａ７０は、可動部７２の先端部７２ａを可動弁部Ａ６０の下面６０ｓｂに当接させて、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能と、可動弁部Ａ６０を逆に第１開口部１２ａから離間可能とする機能の２つの機能を有しており、弁体の昇降機構の役割を担う。【0161】
図３に示すように、付勢部Ａ７０を構成する可動部７２の先端部７２ａが、可動弁部Ａ６０の下面６０ｓｂに当接する（矢印Ｆ１）ことにより、中立弁体５を構成する可動弁部Ａ６０は、弁箱１０の内面（第１開口部１２ａの周囲の弁箱１０の弁箱内面１０Ａ）に向けて移動する（矢印Ｆ２）。この移動により、第１シール部６１（弁板シールパッキン）が弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。【0162】
可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０とは、保持バネ（付勢部Ｂ８０）によって符号Ｂ１，Ｂ２（図２）で示された方向（往復方向）に第３シール部５２を介して摺動しながら移動可能とされているので、この移動時には、可動弁部Ｂ５０も可動弁部Ａ６０と同じ方向へ移動する。【0163】
［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］以下では、図７〜図１０に基づき、弁体が弁閉位置の状態について説明する。
図７は本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す縦断面図である。図８は図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図、図９は図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図、図１０は図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。
【0164】
中立弁体５が弁閉位置の状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面（第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態であり、他方の内面（第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面）とは接していない状態である。付勢部Ａ７０（昇降機構）は、弁箱１０の内部に配置された固定部７１から可動部７２を油圧により可動弁部Ａ６０に向く方向へ伸延させて、可動部７２の先端部７２ａを可動弁部Ａ６０の下面６０ｓｂに当接させる。これにより、可動弁部Ａ６０を第１開口部１２ａに向けて移動させることにより、可動弁部Ａ６０の上面６０ｓａに設けた第１シール部６１を、弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態とする。
【0165】
［弁体が逆圧位置の状態］以下では、図１２〜図１５に基づき、弁体が逆圧位置の状態について説明する。
図１２は本発明の実施形態に係る仕切弁の構成を示す縦断面図である。図１３は図１における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図、図１４は図１における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図、図１５は図１における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。
【0166】
中立弁体５が逆圧位置の状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面（第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態を保ちながら、他方の内面（第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面）にも接した状態である。逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。【0167】
中立弁体５が逆圧を受けた場合、弁体を構成する可動弁部Ａ６０と可動弁部Ｂ５０の間に位置する付勢部Ｂ８０が機能する。すなわち、可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０とは、付勢部Ｂ８０によって符号Ｂ１，Ｂ２（図１２）で示された方向（往復方向）に第３シール部５２を介して摺動しながら移動可能とされているので、中立弁体５が逆圧を受けた場合、可動弁部Ｂ５０は可動弁部Ａ６０に対して符号Ｂ２の方向へ移動する。【0168】
これにより、可動弁部Ｂ５０は、弁箱１０の他方の内面（第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂ）に衝突することになる。この衝突による衝撃を緩和するため、可動弁部Ｂ５０は、第２シール部５１を、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに対向する箇所に備えている。このように、中立弁体５が受けた力（符号Ｂ２の方向に受けた力）を、弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けてもらう機構が、逆圧キャンセル機構である。【0169】
第２シール部５１としては、弾性体が好適に用いられる。可動弁部Ｂ５０が弁箱１０の弁箱内面１０Ｂに衝突した場合、衝突した瞬間に発生するゴミや、弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）がミリ単位で変形して微小摺動が起こり発生するゴミを防止する対応策が必要となる。第２シール部５１が弾性体であれば、衝突時に弾性体が変形することにより、何れのゴミであっても発生を防ぐことが可能となる。【0170】
＜実施形態の変形例＞図１７〜図１９は、本発明の実施形態の変形例における仕切弁の構成を示す縦断面図である。図１７は、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合において、図３に相当する線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１８は、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合において、図８に相当する線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１９は、弁体が逆圧位置に配置されている場合において、図１３に相当する線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。
【0172】
この２つの機能を兼ね備えるために、変形例の付勢部Ａ７０は、弁箱１０の内部に配置された固定部７１と、固定部７１から可動弁部Ａ６０に向く方向へ伸縮が可能な可動部７２とから構成されており、さらに可動部７２の側面には、図１６に示すようなボールプランジャが埋設されている。このボールプランジャは、可動部７２が油圧駆動部（固定部）７１に近い位置に配置するように縮退した状態となった場合において、リング状のシール部材（Ｏリング）７５よりも先端側の近く位置している。なお、油圧によって可動部７２が直線的に移動する部分であってかつシール部材７５が形成される部分は、２重シールを設けるなど油漏れ対策の緩衝空間を設けることが望ましい。特に、可動部７２が直接真空空間に面する構成の場合には、真空槽内を油汚染する確率を下げることができるため、特に推奨される。また、真空・大気環境ともに周囲を油汚染する可能性を下げる目的で、作動油は蒸気圧の低い油を用いることが望ましい。作動油の蒸気圧は、要求される真空度等により決定されるが、一般には１０−３Ｐａ程度以下として選択される。
【0173】
ここで、「プランジャ」とは、ワークを位置決め・固定するための機械要素部品であり、プランジャは、プランジャ本体と、プランジャ本体に内蔵されたスプリングと、スプリングの先端に位置する先端部材（ボールまたはピン）を備えている。プランジャは、先端部材に荷重が加わると、先端部材はプランジャ本体の内部に沈み込み、荷重が解けるとスプリングの力で先端部材が元の位置に戻る機構を有する。【0174】
特に、ボールプランジャは、スプリングの先端に位置するボールが動作するプランジャであり、上下方向だけでなく横方向から加わる荷重によってボールを沈み込ませることができるため、スライドする機構の位置決めに適している。【0175】
ボールプランジャ７２Ｂを可動部７２の側面に設けると共に、可動弁部Ａ６０において可動部７２の先端部が当接する部位６５Ａに、可動部７２の先端部とボールプランジャ７２Ｂの受け手となる凹部６５ｅを配置する。この構成によれば、変形例の付勢部Ａ７０は、前記可動弁部Ａ６０に対して油圧による圧縮力を作用する機能と、可動弁部Ａ６０に対して引張力を作用する機能とを兼ね備えることが可能となる。ところで付勢部Ａ７０に内蔵された圧縮コイルばねが圧縮された状態で停止している場合、そのばねの変位量に応じた反発力はシリンダのピストン面における油圧による力と同等となっている。つまり、バネの反発力は、油圧に変換されているため、その反発力は、油圧発生部７０１を介して駆動部７０５に伝達される。つまり、駆動部７０５は、反発力と同等の力を発揮させなければ平衡状態、つまり、停止状態を保つことができない。しかし、本実施形態の構成ではソレノイドバルブ７０３により油圧回路を遮断することが可能である。つまり、駆動部７０５が反発力を受ける状況であってもソレノイドバルブ７０３を遮断すれば停止状態を保ちかつ駆動部７０５は力を発生させる必要がないため、その結果、駆動部７０５の温度上昇を防ぐことが可能となる。
【0176】
また、この変形例における仕切弁では、可動弁部Ａ６０と付勢部Ａ７０の一部である可動部７２との間にボールプランジャ７２Ｂを設けた構成と同じように、中立弁部３０と可動弁部Ａ６０の一部である位置規制部６５との間にもボールプランジャ６５Ｂを設けた構成を採用する。これにより、上述した実施形態における付勢部Ｃ９０が不要となる。【0177】
ゆえに、変形例の仕切弁は、上述した実施形態に係る仕切弁に比較して、高い信頼性の仕切り動作が可能であると共に、弁体の重量がさらに軽減されるので、弁体の上下移動や弁体を旋回移動する際に要する駆動力を一段と抑制できる。このため、ノーマルクローズ構造を実現し、弁体の構成の簡素化および軽量化が容易に実現する。【0178】
この変形例における仕切弁では、可動弁部Ｂ５０と可動弁部Ａ６０の一部であり可動弁部Ｂ５０に重なる位置にある部位６７との間には、上述した実施形態と同じ構成からなる付勢部Ｂ８０が配置されている。ゆえに、この変形例における仕切弁においても、付勢部Ｂ８０によって、弁体の上下移動や弁体を旋回移動する際に要する駆動力が得られる。【0179】
つまり、変形例における仕切弁においては、ボールプランジャを設けた構成を採用することにより、上述した実施形態の仕切弁において必須であった、付勢部Ｃ９０が弁体構造から排除することが可能となる。したがって、変形例によれば、弁体の上下移動や弁体を旋回移動する際に要する駆動力を一段と抑制でき、弁体の構成の簡素化および軽量化が図れる仕切弁をもたらす。なお、この変形例では、２つのボールプランジャ７２Ｂ、６５Ｂを設けた構成を開示したが、必ずしも２つのボールプランジャを一緒に組込む必要はない。すなわち、上述した実施形態の仕切弁において、２つのボールプランジャ７２Ｂ、６５Ｂを設けた構成のうち、何れか１つを採用しても構わない。
【0180】
また、複数個の付勢部Ａ７０が弁箱１０の内部に配置される場合、付勢部Ａ７０として、例えば、上述した実施形態に示した「可動弁部Ａに対して圧縮力を作用する構造（第１構造）」と、上述した変形例に示した「可動弁部Ａに対して圧縮力を作用する機能と、可動弁部Ａ６０に対して引張力を作用する機能とを兼ね備えた構造（第２構造）」とを、交互に配置する構成が採用されてもよい。あるいは、２つの第１構造の間に複数の第２構造が配置された構造や、２つの第２構造の間に複数の第１構造が配置された構造が採用されてもよい。【産業上の利用可能性】
【0181】
本発明は、真空装置等において、真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態を切り替える用途の仕切弁に広く適用できる。また、本発明は、油圧回路を閉回路としたことで、仕切弁がどのような設置姿勢に配置されても、安全で確実な動作状態を維持することができる。【符号の説明】
【0182】
５…中立弁体（弁体）１０，１０ａ，１０ｂ…弁箱
１０Ａ，１０Ｂ…弁箱内面
１１…中空部
１２ａ…第１開口部
１２ｂ…第２開口部
２０…回転軸
３０…中立弁部（アーム）
３０ａ…円形部
３０ｂ…回転部（アーム）
４０…可動弁部
５０…可動弁部Ｂ（第２可動弁部、可動弁板部：カウンター板）
５１…第２シール部（カウンタークッション）
５２…第３シール部（摺動シールパッキン）
６０…可動弁部Ａ（第１可動弁部、可動弁枠部：スライド弁板）
６１…第１シール部（弁板シールパッキン）
６５…位置規制部
６５Ｂ…ボールプランジャ
７０…付勢部Ａ（第１付勢部、昇降機構）
７１…固定部
７２…可動部
７２Ｂ…ボールプランジャ
８０…付勢部Ｂ（第２付勢部、保持バネ）
８１…保持バネ用（ガイド）ピン
９０…付勢部Ｃ（第３付勢部、補助バネ）
９１…補助バネ用（印圧）ピン
１００…仕切弁
７００…油圧駆動装置（非圧縮性流体駆動装置）
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７０３…ソレノイドバルブ
７０４…切替弁
７０５…駆動部
７０６…制御部（コントローラ）
７０７…電源
７１０…油圧シリンダ
７１１…シリンダ本体
７１２…ピストン
７１３…油圧流路
７１４…油圧空間
７２０…付勢部材
７２１…内バネ
７２２…外バネ
７３０…シリンダ駆動部
７３１…駆動軸
７３１ｃ…ボールネジ
７３２…ネジ駆動ギア
７３２ｃ…内側螺面
７３２ｄ…外側ギア
７３３ｄ…駆動ギア
７３３ｅ…駆動ギア
７３４…回転軸
７３５…駆動ギア
７３６…回転軸
７３７…駆動ギア
７５０…ケーシング
７５１…ケーシング筒
７５２…ケーシング蓋
７５３…後ケーシング
７５４…リング
７５５…収納空間
７５６…後空間
７５７…すべり溝
７５８…蓋部
７６０…リミッタスイッチ
【要約】
本発明の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第１開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。