特許6562629パルスプラズマ暴露を伴うプラズマ原子層堆積

発明の名称　パルスプラズマ暴露を伴うプラズマ原子層堆積

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 174 位（73件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 171 位（67件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6562629

公報発行日　2019年8月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6562629

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