特許第6562629号(P6562629)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧

特許6562629パルスプラズマ暴露を伴うプラズマ原子層堆積