特許第6565118号(P6565118)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6565118窒化アルミニウム圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電材及び圧電部品及び窒化アルミニウム圧電薄膜の製造方法
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