特許6567349蒸着方法及び蒸着装置

発明の名称　蒸着方法及び蒸着装置

出願人　シャープ株式会社　（識別番号 5049）

　　　　特許公開件数ランキング 17 位（947件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 29 位（646件）（共同出願を含む）

出願人　キヤノントッキ株式会社　（識別番号 591065413）

　　　　特許公開件数ランキング 744 位（32件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 736 位（28件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6567349

公報発行日　2019年8月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6567349

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