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特許6567646マイクロ波プラズマ気相反応装置
発明の名称 マイクロ波プラズマ気相反応装置
出願人 国立大学法人大阪大学 （識別番号 504176911）
特許公開件数ランキング 1788 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 424 位（2件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ニッシン （識別番号 593030923）
特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6567646
公報発行日 2019年8月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6567646
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