特許 6573087 ハブ型ブレード

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6573087

(24)【登録日】2019年8月23日

(45)【発行日】2019年9月11日

(54)【発明の名称】ハブ型ブレード

(51)【国際特許分類】

   B24D 5/12 20060101AFI20190902BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20190902BHJP

【ＦＩ】

   B24D5/12 Z

   H01L21/78 F

【請求項の数】6

【全頁数】32

(21)【出願番号】特願2018-80939(P2018-80939)

(22)【出願日】2018年4月19日

【審査請求日】2019年5月10日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100126664

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 慎吾

(74)【代理人】

【識別番号】100126893

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100142424

【弁理士】

【氏名又は名称】細川 文広

(72)【発明者】

【氏名】星 純二

(72)【発明者】

【氏名】塚本 早紀

(72)【発明者】

【氏名】山中 紀幸

【審査官】 小川 真

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−３０２４３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第６２９１０９６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２００５−２８８５５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｄ ５／００−５／１２

Ｂ２４Ｄ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チタン又はチタン合金からなり軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたチタンハブと、
前記ブレード取付面と接続される接続面が形成されたブレード本体と、
前記チタンハブと前記ブレード本体の間に配置され、前記ブレード取付面と前記接続面のいずれか一方を粘着力により保持するとともに他方を粘着力又は接着により保持して前記チタンハブと前記ブレード本体とを接続する粘着性接続部と、
前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方に配置され、前記ブレード取付面と前記粘着性接続部との接合面、及び、前記接続面と前記粘着性接続部との接合面のうち、粘着力で接合された少なくとも一つの前記接合面と接する接続補強部と、を備えることを特徴とするハブ型ブレード。

【請求項2】

請求項１に記載のハブ型ブレードであって、
前記粘着性接続部は、
両面粘着性接続部材により構成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
前記接続補強部は、
前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方の周方向に形成され、
前記ブレード取付面と前記接続面とを接続する構成とされていることを特徴とするハブ型ブレード。

【請求項4】

請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
前記接続補強部は、
前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方の周方向全周にわたって形成され、粘着力により保持される部分を封止する構成とされていることを特徴とするハブ型ブレード。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれか一項に記載のハブ型ブレードであって、
前記接続補強部は、光硬化樹脂が硬化して形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

【請求項6】

請求項５に記載のハブ型ブレードであって、
前記光硬化樹脂は、
遅延性光硬化樹脂であることを特徴とするハブ型ブレード。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化するのに用いられるハブ型ブレードに関する。

【背景技術】

【0002】

周知のように、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化する際に、円形状に形成されたブレードが用いられ、ブレードを安定して回転させるための一形態として、ブレード本体をハブ部材に保持させたハブ型ブレードが広く用いられている（例えば、特許文献１参照。）。

【0003】

ハブ型ブレードは、例えば、アルミニウム合金からなるハブと、ハブの一方の面にニッケルめっきによって形成した電鋳ブレード本体とを備えていて、ハブと電鋳ブレード本体とが一体的に接続されていることが一般的である。

【0004】

上記従来のハブ型ブレードは、例えば、ダイヤモンド超砥粒を分散したニッケルめっき液に、マスキングを施したアルミ台金を浸漬して、ブレード形成面にニッケルめっきをして電鋳ブレード本体の原板を形成する。その後、外径加工、アルカリエッチングをすることによりブレード本体を突出させ、電解ドレスによってダイヤモンド超砥粒を露出させて、ダイサードレスをしてハブ型ブレードが完成する。

【0005】

上記従来のハブ型ブレード製造方法は、複雑で制御しにくい工程を多く経るため、高精度な製品を効率的に製造することは困難であった。
そこで、ハブとブレード本体とを別々に形成して、検査で合格したハブとブレード本体とを、粘着面が形成された粘着テープ等により効率的に製造可能なハブ型ブレードを開発した。粘着テープ等により接続すると、ハブとブレード本体とを短時間で接続できることから、ハブ型ブレードを効率的に製造することが可能である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平５−３４５２８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、ハブとブレード本体とを粘着テープ等により接続したハブ型ブレードは効率的に製造できるものの粘着部の接続力が切断条件によっては不足する場合がある。一方、ハブとブレード本体の少なくともいずれか一方を粘着力により接続する粘着性接続部を備えたハブ型ブレードの切断性能の向上が望まれる。

【0008】

この発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、ハブとブレード本体の少なくともいずれか一方の側を粘着力により接続する粘着性接続部を有し、切断能力を向上させることが可能なハブ型ブレードを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、チタン又はチタン合金からなり軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたチタンハブと、前記ブレード取付面と接続される接続面が形成されたブレード本体と、前記チタンハブと前記ブレード本体の間に配置され、前記ブレード取付面と前記接続面のいずれか一方を粘着力により保持するとともに他方を粘着力又は接着により保持して前記チタンハブと前記ブレード本体とを接続する粘着性接続部と、前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方に配置され、前記ブレード取付面と前記粘着性接続部との接合面、及び、前記接続面と前記粘着性接続部との接合面のうち、粘着力で接合された少なくとも一つの前記接合面と接する接続補強部と、を備えることを特徴とする。

【0010】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、ハブがチタン合金又は純チタンにより形成されて大きな比強度を有するとともに、接続補強部が、ブレード取付面、接続面と粘着性接続部の間のうち粘着力で保持される部分を少なくとも一つ挟んで（含んで）接続して、ハブとブレード本体との接続強度を大きくするので、高速回転が可能である。その結果、ハブ型ブレードの切断能力を向上することができる。

【0011】

この明細書において、粘着性接続とは、ブレード取付面と接続面の少なくともいずれか一方を粘着力により保持してハブとブレード本体とを接続することをいう。
また、粘着性接続部とは、ハブとブレード本体の間に配置され、ブレード取付面と接続面のいずれか一方を粘着力により保持し、他方を粘着力又は接着により保持してハブとブレード本体とを接続する部分をいう。

【0012】

また、粘着性接続部の外周側とは、粘着性接続部の構成要素のいずれかの外周側をいい、例えば、粘着性接続部が基材に粘着剤が配置された粘着性接続部材（例えば、粘着テープ）を有する場合、基材と粘着樹脂のいずれかの外周側が含まれていればよく、いずれかの構成要素の内方に位置される部分を含んでいてもよい。また、構成要素とは接触していても離間していてもよい。また、粘着性接続部の内周側についても同様である。

【0013】

また、接続補強部とは、粘着性接続部の外周側又は／及び内周側に配置され、ブレード取付面と接続面の少なくともいずれか一方と粘着性接続部の間で、粘着力により保持される部分同士を含んで、例えば、ハブとブレード本体、ハブと粘着性接続部、ブレード本体と粘着性接続部を接続する部分をいう。

【0014】

請求項２に係る発明は、請求項１に記載のハブ型ブレードであって、前記粘着性接続部は、両面粘着性接続部材により構成されていることを特徴とする。

【0015】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、粘着性接続部が両面粘着性接続部材により構成されているので、ハブのブレード取付面とブレード本体の接続面を粘着力により短時間で接続してハブ型ブレードを効率的に製造することができる。

【0016】

この明細書において、粘着性接続部材とは、一方の面が粘着面とされた片面粘着性部材、両面が粘着面とされた両面粘着性部材であり、例えば、テープ基材の一方の面、又は両面に粘着性を有する樹脂（以下、粘着剤という）が配置されたもの、粘着剤がシート状に形成されて一方の面、又は両面が粘着面とされたもの（接着剤転写テープ等）等、種々の構成のものが含まれる。

【0017】

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、前記接続補強部は、前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方の周方向に形成され、前記ブレード取付面と前記接続面とを接続する構成とされていることを特徴とする。

【0018】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、接続補強部は、粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方の周方向（軸線に対して対称）に形成されているので、ハブ型ブレードを安定して回転させることができる。また、ブレード取付面と接続面とを接続するので、大きな接続力を安定して確保することができる。
ここで、周方向に形成されるとは、周方向全周にわたって形成されること、周方向に断続的に形成されることを含む。

【0019】

請求項４に係る発明は、請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、前記接続補強部は、前記粘着性接続部の外周側と内周側の少なくともいずれか一方の周方向全周にわたって形成され、粘着力により保持される部分を封止する構成とされていることを特徴とする。

【0020】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、接続補強部が粘着性接続部の外周側又は／及び内周側を封止する構成とされるので、切断時における切削液、微粒子等や、製造工程における冷却液等が粘着面に侵入するのを抑制することができる。
その結果、例えば、粘着剤に有害な切削液（例えば、アルカリ性切削液）や冷却液等により粘着面が劣化するのを抑制することができる。

【0021】

請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のハブ型ブレードであって、前記接続補強部は、光硬化樹脂が硬化して形成されていることを特徴とする。

【0022】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、接続補強部は光硬化樹脂が硬化して形成されて、光を照射すると短時間で硬化するので接続補強部を効率的に形成することができる。また、短時間で硬化するので、ハブとブレード本体が相互に動くのが抑制されるとともに、接着剤が硬化中に接続補強部の形状不良が生じるのが抑制されてハブ型ブレードの品質を向上することができる。
また、光の照射により硬化するので、接続補強部を形成する際に省エネルギーを実現することができる。

【0023】

請求項６に係る発明は、請求項５に記載のハブ型ブレードであって、前記光硬化樹脂は、遅延性光硬化樹脂であることを特徴とする。

【0024】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、接続補強部が遅延性光硬化樹脂が硬化して形成されるので、接着剤を塗布してからハブとブレード本体を接続するまでに適度な時間を確保することができる。

【発明の効果】

【0025】

この発明に係るハブ型ブレードによれば、ハブがチタン合金又は純チタンにより形成されて大きな比強度を有するとともに、接続補強部が補強することにより高速回転が可能であるので切断能力を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する斜視図である。

【図2】第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図であり、図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図3】第１実施形態に係るハブ型ブレードの外周側接続補強部の概略を説明する図であり、図２にIIIで示す部分拡大図である。

【図4】第１実施形態に係るハブ型ブレードの内周側接続補強部の概略を説明する図であり、図２にIVで示す部分拡大図である。

【図5】第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略の一例を説明するフローチャートである。

【図6】第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する図であり、ブレード素材を製造する手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図7】第１実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図8】第１実施形態に係るブレード装着工程における補強用接着剤の塗布の一例を説明する概念図である。

【図9】第１実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図10】本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する図であり、図１に矢視Ｚ−Ｚで示す断面図である。

【図11】第２実施形態に係るハブ型ブレードの外周側接続補強部の概略を説明する図であり、図１０にＸIで示す部分拡大図である。

【図12】第２実施形態に係るハブ型ブレードの内周側接続補強部の概略を説明する図であり、図１０にＸIIで示す部分拡大図である。

【図13】第２実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図14】第２実施形態に係るブレード装着工程における補強用接着剤の塗布の一例を説明する概念図である。

【図15】本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す断面における外周側接続補強部の概略を説明する部分拡大図である。

【図16】本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す断面における内周側接続補強部の概略を説明する部分拡大図である。

【図17】第３実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図18】本発明の第４実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図19】第４実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図20】第４実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図21】第４実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図22】本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図23】第５実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。

【図24】第５実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【図25】第５実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

＜第１実施形態＞
以下、図１〜図４を参照し、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する斜視図であり、図２は図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。また、図３は外周接続側補強部材（接続補強部）の要部詳細を、図４は内周側接続補強部（接続補強部）の要部詳細を説明する部分拡大図である。
図１〜図４において、符号１００はハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブ（ハブ）を、符号１０Ａはブレード取付面を、符号１２０は両面粘着テープ（粘着性接続部材、粘着テープ）を、、符号３０はブレード本体を、符号３０Ｔは接続面を、符号１４０は接続補強部を示している。

【0028】

ハブ型ブレード１００は、図１〜図４に示すように、例えば、チタンハブ１０と、両面粘着テープ（粘着性接続部材）１２０と、接続補強部１４０と、ブレード本体３０とを備え、ウェーハ（半導体材料等の基板）を切断してＩＣチップ（チップ状）等に個片化可能とされている。なお、両面粘着テープ１２０は粘着性接続部を構成している。

【0029】

チタンハブ（ハブ）１０は、例えば、軸線Ｏ１方向における一方側に位置され円筒状に形成された外周壁部と、外周壁部の軸線Ｏ１方向における他方側に接続される略円錐台とを有するブレード取付部１１と、ブレード取付部１１の軸線Ｏ１方向における他方側に接続され他方側が拡径される駆動源接続部１２とを備えている。
また、チタンハブ１０は、ブレード取付部１１の軸線Ｏ１方向の一方側にブレード取付面１０Ａが形成され、軸線Ｏ１の周囲には軸線Ｏ１を中心とする円筒状の取付穴１０Ｈが形成されている。
また、チタンハブ１０は、例えば、チタン合金（比強度 約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金 比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されていて、高速回転及び切断時の外力により変形するのを抑制することができる。
この実施形態において、チタンハブ１０は、例えば、最大外径５５．４ｍｍに形成されている。

【0030】

チタン合金としては、例えば、αβ合金（Ｔｉ-６Ａｌ-６Ｖ−２Ｓｎ、Ｔｉ-６Ａｌ-４Ｖ等）、β合金（Ｔｉ‐３Ａｌ‐８Ｖ‐６Ｃｒ‐４Ｚｒ‐４Ｍｏ、Ｔｉ‐１０Ｖ‐２Ｆｅ‐３Ａｌ、Ｔｉ-１５Ｖ-３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ等）が好適である。また、上記以外のチタン合金や純チタン（Ｔｉ）（ＪＩＳ１種等）を適用してもよい。

【0031】

ブレード取付面１０Ａは、例えば、研磨加工等によって、両面粘着テープ１２０が貼着される領域を表面粗さＲｍａｘ０〜２０μｍ（ＪＩＳ Ｂ０６０１−１９８２）のスムースな仕上面とすることが、両面粘着テープ１２０の安定した貼着に好適である。

【0032】

また、ブレード取付面１０Ａは、両面粘着テープ１２０の外周側に接続補強部１４０と対応する補強保持部１０Ｂが形成され、両面粘着テープ１２０の内周側に接続補強部１４０と対応する補強保持部１０Ｃが形成されている。
補強保持部１０Ｂ、１０Ｃは、例えば、表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍに形成されていることが接続補強部１４０の定着に好適である。
なお、補強保持部１０Ｂ、１０Ｃの表面粗さ等は適宜設定することができる。

【0033】

両面粘着テープ（両面粘着部材）１２０は、図２〜図４に示すように、例えば、テープ基材１２１と、テープ基材１２１のチタンハブ１０側に塗布される粘着剤１２２と、ブレード本体３０側に塗布される粘着剤１２３とを備え、粘着剤１２２は粘着面１２０Ａを形成し、粘着剤１２３粘着面１２０Ｂを形成する。
また、両面粘着テープ１２０は、外周がチタンハブ１０の外径より小径とされ、内周側にブレード本体３０の取付穴３０Ｈより大径の円形穴１２０Ｈが形成されたドーナツ状とされている。

【0034】

また、両面粘着テープ１２０の外径、厚さ（例えば、０．１ｍｍ以下）、弾性係数、保持力（粘着力）等は、例えば、ブレード本体３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持し、かつ切断時のトルクにより生じるねじり変形によりブレード本体３０が破損しない設定であることが好適である。

【0035】

また、両面粘着テープ１２０は、導電性を有していることが好適である。
テープ基材１２１は、この実施形態では、例えば、厚さ２５μｍのアルミ箔により構成され、粘着性を有する粘着剤１２２、１２３は、導電性粒子を混入したアクリル樹脂からなり、両面粘着テープ１２０としての厚さ８５μｍとされている。また、チタンハブ１０とブレード本体３０の間の電気抵抗は約４．５Ωとされている。
なお、両面粘着テープ１２０が導電性を有するかどうかは任意に設定可能である。

【0036】

テープ基材を備え導電性を有する両面粘着テープとしては、例えば、ＡＬ−２５ＤＣ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）やＡＬ７６２０（商品名：デクセリアルズ株式会社製）を適用することが可能である。また、７８４８ＹＣＷＢ（商品名：積水化学工業株式会社製）や７８４０ＹＣＷＢ（商品名：積水化学工業株式会社製）等を適用してもよい。

【0037】

また、Ｘ−７００１（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように褶曲させた導電性布を基材とするものや、９７２０Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように不織布を基材とするものを適用してもよい。
また、非導電性のものとして、＃８６０２ＴＮＦＷ−０５（商品名：ＤＩＣ株式会社製）等を適用してもよい。

【0038】

また、ブレード本体３０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）又はニッケル合金を主成分とする合金からなる金属母材３１と、金属母材３１に分散されたダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２とを備えている。

【0039】

また、ブレード本体３０は、例えば、外径５５．０５ｍｍ、刃厚０．０１５〜０．０４μｍ（例えば、２０μｍ）の円板状とされ、内周側には軸線Ｏ１と同軸に直径４２.００ｍｍの円形穴３０Ｈが形成されている。

【0040】

なお、ニッケルを主成分とする合金としては、例えば、ニッケル−リン（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル−コバルト（Ｎｉ−Ｃｏ）、ニッケル−ボロン（Ｎｉ−Ｂ）を適用することが好適である。

【0041】

また、ダイヤモンド超砥粒３２は、例えば、３〜１０μｍ（平均粒径５μｍ）、集中度５０〜１２５のダイヤモンドによって構成され、金属母材３１の表面から約２μｍ程度露出している。

【0042】

また、ブレード本体３０は、一方がチタンハブ１０と反対側に位置され外部に露出する露出面３０Ｆとされ、他方が両面粘着テープ１２０を介してチタンハブ１０と接続される接続面３０Ｔとされている。

【0043】

接続面３０Ｔは、例えば、金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面に形成されている。

【0044】

露出面３０Ｆ及びブレード本体３０の外周側でチタンハブ１０から突出する突出部、及び円形穴３０Ｈは、金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出した構成とされている。
また、この実施形態において、ブレード本体３０の外周には両側の面に面取り状の目立部３０Ｇが形成されている。

【0045】

また、接続面３０Ｔは、両面粘着テープ１２０の外周側の領域に接続補強部１４０と対応する補強保持部３０Ｂが形成され、両面粘着テープ１２０の内周側の領域に接続補強部１４０と対応する補強保持部３０Ｃが形成されている。
補強保持部３０Ｂ、３０Ｃの表面粗さ等は適宜設定可能であるが、例えば、エッチング等により金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２を露出させることが、接続補強部１４０の定着を安定させるうえで好適である。

【0046】

接続補強部１４０は、図２〜図４に示すように、例えば、両面粘着テープ１２０の外周側に形成される外周側接続補強部１４１と、両面粘着テープ１２０の円形穴１２０Ｈの内周側に形成される内周側接続補強部１４２とを備えている。

【0047】

外周側接続補強部１４１は、両面粘着テープ１２０の外周側全周にわたってブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
内周側接続補強部１４２は、両面粘着テープ１２０の内周側全周にわたってブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
その結果、接続補強部１４０は、両面粘着テープ１２０の外周側、内周側を液密に封止する。

【0048】

接続補強部１４０は、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部とされ、この実施形態では、紫外線硬化接着剤（好適には、遅延性紫外線硬化接着剤）が硬化して形成されている。なお、接続補強部１４０を構成する接着剤としては、例えば、経時的に硬化する接着剤、紫外線硬化接着剤をはじめとする光硬化接着剤、熱硬化樹脂、嫌気性樹脂等を適宜適用することができる。

【0049】

また、導電性を有しているものが好適であり、両面粘着テープ１２０が導電性を有していない場合は、導電性を有することがより好適である。
また、接続補強部１４０を構成する接着剤としては紫外線硬化接着剤が好適であり、遅延性紫外線硬化接着剤（紫外線硬化接着剤（遅延硬化型）がより好適である。

【0050】

遅延性紫外線硬化接着剤としては、導電性はないが、例えば、ＡＵＶ−８８００、ＡＵＶ−００８２P（商品名：新田ゼラチン株式会社製）、ＣＶ７８３１（商品名：パナソニック株式会社製）、ＳＸ−ＵＶ２００（商品名：セメダイン株式会社製）等が適用可能である。
また、導電性がない紫外線硬化接着剤として、例えば、Ｕ−１５４２Ｎ（商品名：ケミテック株式会社製）、Ｕ−１５４２Ｆ（商品名：ケミテック株式会社製）、４２９−ＧＥＬ（商品名：ダイマックス株式会社製）等が適用可能である。

【0051】

また、導電性接着剤としては、例えば、ＣＮ−３１６０Ｌ、ＣＮ−７１２０（商品名：化研テック株式会社製）、ＴＢ３３５１Ｃ（商品名：株式会社スリーボンド製）、エポキシ樹脂に銀（Ａｇ）系フィラーが混合されたスリーボンド３３８０（商品名：株式会社スリーボンド製）等を溶剤（例えば、酢酸エチル）で希釈して適用することが可能である。

【0052】

また、導電性を有しない接着剤としては、例えば、シアノアクリレート系の瞬間接着剤（例えば、ＡＬＴＥＣＯ ＣＮ２（商品名：株式会社アルテコ製）、ＡＬＴＥＣＯ ＣＮ４（商品名：株式会社アルテコ製）、セメダイン ３０００ＤＸＦ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ ＤＸＬＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ＤＸＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ衝撃（商品名：東亞合成株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ４０００（商品名東亞合成株式会社製）等がある。

【0053】

また、導電性を有さない接着剤を適用する場合に、例えば、ミクロパールＡＵ−２０１（商品名：積水化学工業株式会社製）をはじめとする金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等の金属を粒子にコーティングして形成された導電性粒子（例えば、粒径１０μｍ）をエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤に混合して塗布、硬化させることで、ハブ１０とブレード本体３０が導電性粒子を介して通電可能としてもよい。

【0054】

次に、図５〜図７を参照して、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。図５は、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略の一例を説明するフローチャートである。
ハブ型ブレード製造工程は、図５に示すように、例えば、別々に製造されそれぞれ検査に合格したチタンハブ（ハブ）とブレード素材（ブレード本体）を装着（Ｓ１１）し、外径加工（Ｓ１２）し、ダイサードレス（Ｓ１３）して、検査（Ｓ１４）する。

【0055】

まず、チタンハブ準備の一例について説明する。
チタンハブ（ハブ）は、例えば、以下の手順で製造（準備）する。
（１）まず、チタン合金の丸棒を軸線回りに回転させながら切削して形状を形成する。
（２）次に、チタンハブの形状を形成したら、軸線方向における所定長さに切断する。
（３）次いで、必要に応じてブレード取付面を前処理する。
前処理において、例えば、ブレード取付面１０Ａを表面粗さＲｍａｘ０〜２０μｍに形成する場合は、研磨加工や放電加工を施す。なお、形成したチタンハブを切断する際に所定の表面粗さとなるように切断してもよい。
また、接続補強部保持部１０Ｂ、１０Ｃを表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍに形成する場合は、サンドブラストやショットブラストを施すことが好適である。

【0056】

次に、図６を参照して、ブレード素材の準備の一例について説明する。図６は、ブレード素材を製造する手順の概略を説明するフローチャートである。
ブレード素材は、図６に示すように、例えば、ＳＵＳ台金準備（Ｓ２１）と、分散めっき（Ｓ２２）と、マスキング（Ｓ２３）と、エッチング（Ｓ２４）と、内径加工（Ｓ２５）とを備えている。そして、ＳＵＳ台金準備（Ｓ２１）〜内径加工（Ｓ２５）を経てブレード素材が完成する。

【0057】

（１）ＳＵＳ台金準備（Ｓ２１）
まず、ブレード素材の形成に適したＳＵＳ台金（ステンレス鋼製台金）を準備する。
ＳＵＳ台金（ステンレス鋼製台金）は、例えば、ステンレス鋼の円板により形成され、ニッケルめっき形成面は鏡面処理されていることが好適である。
なお、ブレード素材の円形穴３０Ｈと対応する部分等、ニッケルめっきが不要な部分にマスキングを施すことが好適である。

【0058】

（２）分散めっき工程（Ｓ２２）
次に、分散めっきによりブレード素材の原板を形成する。
分散めっきは、分散めっき装置に貯留したダイヤモンドの超砥粒を含有するニッケルめっき液中にＳＵＳ台金を配置し、ＳＵＳ台金のめっき形成面に電解めっき法により分散ニッケルめっき層を成長させてブレード素材の原板を形成する。

【0059】

（３）マスキング（Ｓ２３）
次いで、ＳＵＳ台金から剥離したブレード素材の原板においてエッチング処理が不要な部分にマスキングをする。
この実施形態では、ニッケルめっき形成面側に位置された平坦面にマスキングを施す。この面がブレード本体３０の接続面３０Ｔとなる。なお、補強保持部３０Ｂ、３０Ｃを除いてマスキングしてもよい。

【0060】

（４）エッチング（Ｓ２４）
次に、マスキングを施したブレード素材の原板を逆電解してエッチングし、金属母材からニッケルを溶解してダイヤモンド超砥粒を露出させて目立てする。

【0061】

（５）内径加工（Ｓ２５）
次いで、エッチング工程で目立てをしたブレード素材の原板を内径加工してブレード素材を形成する。
内径加工は、後述する外径加工と同様に、例えば、液体（例えば、水）を供給しながらレーザビームを照射して円形穴３０Ｈを加工してブレード素材を形成する。
上記Ｓ２１〜Ｓ２５を経て、品質検査に合格したらブレード素材が完成する。
なお、Ｓ２１〜Ｓ２５の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0062】

次に、図５、図７を参照して、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略について説明する。図７は、第１実施形態に係るブレード装着工程の手順の概略を説明するフローチャートである。
ハブ型ブレード製造工程は、図５に示すように、例えば、ブレード装着工程（Ｓ１１）と、外径加工工程（Ｓ１２）と、ダイサードレス工程（Ｓ１３）と、検査工程（Ｓ１４）と、を備えている。そして、別々に製造されたチタンハブ（ハブ）とブレード素材（ブレード本体）をブレード装着工程で装着し、外径加工、ダイサードレス、検査工程を経てハブ型ブレードが完成する。

【0063】

〔１〕ブレード装着工程（Ｓ１１）
ブレード装着工程は、別々に製造されそれぞれ検査に合格したチタンハブ（ハブ）とブレード素材（ブレード本体）を、少なくともいずれか一方の面が粘着面とされた粘着性接続部材をブレード取付面と接続面のいずれか一方に接続するとともに、粘着性接続部材をブレード取付面と接続面の他方に粘着性接続又は接着により接続してハブとブレード本体を装着する。このとき、ブレード取付面又は接続面に粘着性接続部材を接続してからハブとブレード本体とを接続するまでの間、又はハブとブレード本体とを接続した後に、粘着性接続部材の外周側と内周側の少なくともいずれか一方に接着剤を配置して硬化させることにより接続補強部を形成する。なお、ブレード取付面又は接続面に粘着性接続部材を接続する前に、接続補強部の形成の一部があってもよい。

【0064】

ブレード装着工程は、例えば、図７に示すＳ１０１〜Ｓ１０４の手順で構成される。
（１）ハブに両面粘着テープ貼着（Ｓ１０１）
まず、チタンハブのブレード取付面に両面粘着テープを貼着する。
チタンハブ１０に両面粘着テープ１２０を貼着する際には、予めドーナツ状に形成された両面粘着テープ１２０を使用し、例えば、治具によって両面粘着テープ１２０とチタンハブ１０の回転軸線Ｏ１を同軸にしてブレード取付面１０Ａに貼着する。

【0065】

（２）補強用接着剤を塗布（Ｓ１０２）
接着剤の塗布は、図８に示すように、例えば、両面粘着テープ（両面粘着部材）１２０を接続（貼着）したチタンハブ（中間製品）の軸線Ｏ１を鉛直にして回転させ、両面粘着テープ１２０の外周側及び内周側に、接着剤供給装置４０により液状の接着剤１４０Ｌを供給して周方向全周にわたって塗布する。図８に２点鎖線で示すブレード本体（ブレード素材）３０は、ブレード素材を装着する前であることを示す。
第１実施形態では、両面粘着テープ１２０の外周側及び内周側に接着剤を塗布する。

【0066】

（３）ハブにブレード素材を接続（Ｓ１０３）
次に、チタンハブにブレード素材を貼着する。
チタンハブにブレード素材を装着（貼着）する際には、例えば、平坦な定盤上にブレード素材を配置し、治具によってチタンハブの軸線とブレード素材の円形穴を同軸にする。そして、両面粘着テープを貼着したチタンハブをブレード素材に押圧して接続する。
（４）補強用接着剤硬化（Ｓ１０４）
次に、補強用接着剤を硬化させて接続補強部を形成する。
補強用接着剤として遅延性紫外線硬化接着剤を用いる場合には、塗布した遅延性紫外線硬化接着剤に紫外線を照射して硬化させる。紫外線を照射して硬化するまでの時間は、例えば、３０秒以内であることが好適である。
Ｓ１０１〜Ｓ１０４の手順によりブレード装着品（中間製品）が完成する。
なお、Ｓ１０１〜Ｓ１０４の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0067】

以下、図５を参照して、外径加工工程（Ｓ１２）、ダイサードレス工程（Ｓ１３）、検査工程（Ｓ１４）について説明する。
〔２〕外径加工工程（Ｓ１２）
外径加工工程では、チタンハブに装着されたブレード素材を外径加工する。
また、外径加工工程では、例えば、チタンハブにブレード素材が貼着された中間製品を軸線Ｏ１周りに回転させながら加工部位に液体（例えば、水）を供給、冷却しながらレーザビームを照射してブレード本体の外周を切断する。
このとき、例えば、加工部位に噴流液水柱（噴流液柱）を形成して、この噴流水柱内でレーザビームを反射させながら加工部位に誘導することが好適である。この場合、噴流水柱を可能な限り凹凸がない層流としてレーザビームを全反射させるとより好適である。また、レーザビームの波長は、例えば、２００〜７００ｎｍとすることが好適である。
なお、水を供給せずにレーザビームを照射してもよいし、レーザビーム加工に代えて放電加工や研削等、周知の他の加工方法によって外径加工してもよい。

【0068】

〔３〕ダイサードレス工程（Ｓ１３）
ダイサードレス工程では、外径加工した中間製品をダイサードレス（例えば、ドレスボードを切断）して目立てする。

【0069】

〔４〕検査工程（Ｓ１４）
検査工程では、例えば、シリコンウェーハのカーフ幅等、所定の検査規格を検査して、検査に合格したらハブ型ブレードが完成する。
なお、Ｓ１１〜Ｓ１４の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0070】

ハブ型ブレード１００によれば、ハブがチタンにより形成され、接続補強部１４０がチタンハブ１０とブレード本体３０を接続してチタンハブ１０とブレード本体３０の接続強度を大きくしているので高速回転させて、効率的に切することができる。

【0071】

また、接続補強部１４０が両面粘着テープ１２０の外周側及び内周側に周方向全周にわたって形成され軸線Ｏ１に対称であるので、ハブ型ブレード１００が安定して高速回転することができる。

【0072】

第１実施形態に係るハブ型ブレード１００によれば、粘着性接続部が両面粘着テープ１２０により構成されているので、チタンハブ１０のブレード取付面１０Ａ側とブレード本体３０の接続面３０Ｔを短時間で接続して、ハブ型ブレードを効率的に製造することができる。

【0073】

また、ハブ型ブレード１００によれば、接続補強部１４０が遅延性紫外線硬化接着剤により形成され、容易に塗布して短時間で硬化するので接続補強部１４０を効率的に形成することができる。

【0074】

また、ハブ型ブレード１００によれば、ブレード取付面１０Ａが表面粗さＲｍａｘ０〜２０μｍに形成され、接続面３０Ｔが平坦面とされているので、チタンハブ１０とブレード本体３０とを両面粘着テープ１２０によって安定して装着することができる。

【0075】

また、ハブ型ブレード１００によれば、接続補強部１４０がブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔの間に配置され、接続補強部保持部１０Ｂ、１０Ｃが表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍに形成され、接続補強部保持部３０Ｂ、３０Ｃが金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出しているので、接続補強部１４０を安定して接続することができる。

【0076】

また、ハブ型ブレード１００によれば、接続補強部１４０が粘着性接続部１２０の外周側及び内周側を封止するので、両面粘着テープ１２０の粘着面１２０Ａ、１２０Ｂに切削液（例えば、アルカリ性切削液）等が侵入するのが抑制されるので、粘着面１２０Ａ、１２０Ｂの劣化が抑制され寿命を長くすることができる。
また、外径加工において噴流水柱を使用しても、冷却水による粘着面１２０Ａ、１２０Ｂの劣化が抑制され、ハブ型ブレード１００の品質が向上し、高速回転（例えば、６００００ｒｐｍ以上）の切断に対応することができる。

【0077】

また、ハブ型ブレード１００によれば、ブレード本体３０がチタンハブ１０の外縁で急激に屈曲するのが緩和され、切断時にブレード本体３０が割れるのを抑制することができる。

【0078】

また、ハブ型ブレード１００によれば、チタンハブ１０とブレード本体３０とを接続する前に、ブレード取付面１０Ａに補強用接着剤１４０Ｌを塗布するので、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔの間に補強用接着剤１４０Ｌを効率的に塗布することができる。

【0079】

また、ハブ型ブレード１００によれば、照射したレーザビームを噴流液柱によって誘導するので、ブレード本体３０を高精度かつ効率的に外径加工することができる。

【0080】

＜第１実施形態（第１変形例）＞
以下、図９を参照し、本発明の第１実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードについて説明する。図９は、第１実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。
図９において、符号１００Ａはハブ型ブレードを、符号１２５は両面粘着部材を、符号１４０は接続補強部を示している。

【0081】

ハブ型ブレード１００Ａは、図９に示すように、例えば、チタンハブ１０と、両面粘着部材１２５と、ブレード本体３０と、接続補強部１４０とを備えている。なお、両面粘着部材１２５は粘着性接続部を構成している。

【0082】

ハブ型ブレード１００Ａは、両面粘着テープ１２０に代えて、両面粘着部材１２５を備えており、チタンハブ１０、ブレード本体３０、接続補強部１４０については第１実施形態と同様のものを適用可能である。また、製造工程については、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。

【0083】

両面粘着部材１２５は、シート状に形成した粘着剤により構成され、一方の表面に第１粘着面１２５Ａが形成され、他方の表面に第２粘着面１２５Ｂが形成されている。
そして、第１粘着面１２５Ａをブレード取付面１０Ａと接続し、第２粘着面１２５Ｂを接続面３０Ｔを接続する構成とされている。

【0084】

また、両面粘着部材１２５は、導電性を有していることが好適であり、例えば、転写テープ９７０７（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、９７０９Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、ダイタック＃８０３５Ｎ（商品名：ＤＩＣ株式会社製）、Ｔ４４２０Ｗ（商品名：デクセリアルズ株式会社製）を適用することができる。
また、導電性を有していない両面粘着部材としては、例えば、ＧＡ５９０５（商品名：日東電工株式会社製）、５９１５（商品名：日東電工株式会社製）、ダイタック＃８０８０（商品名：ＤＩＣ株式会社製）、４６７ＭＰ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）を適用することができる。

【0085】

第１実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレード１００Ａによれば、両面粘着部材１２５がテープ基材を備えない構成とされ、粘着性接続部の弾性が適度に抑制される。
その結果、ブレード本体３０の蛇行が抑制されて安定して切断することができる。

【0086】

＜第２実施形態＞
以下、図１０〜図１２を参照し、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。図１０は、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。また、図１１は図１０にＸIで示す外周側接続補強部（接続補強部）の要部詳細を、図１２はＸIIで示す内周側接続補強部（接続補強部）の要部詳細を説明する部分拡大図である。
図１０〜図１２において、符号２００はハブ型ブレードを、符号２２０は両面粘着テープ（両面粘着部材、粘着性接続部）を、符号２４０は接続補強部を、符号２４１は外周側接続補強部（接続補強部）を、符号２４２は内周側接続補強部（接続補強部）を示している。

【0087】

ハブ型ブレード２００は、図１０〜図１２に示すように、例えば、チタンハブ（ハブ）１０と、両面粘着テープ（両面粘着部材、粘着性接続部）２２０と、ブレード本体３０と、接続補強部２４０とを備えている。なお、両面粘着テープ２２０は粘着性接続部を構成している。

【0088】

この実施形態において、チタンハブ１０は、ブレード取付面１０Ａが表面粗さＲｍａｘ０〜２０μｍに形成されている。また、ブレード取付部１１の外周側に接続補強部保持部１０Ｄが形成され、ブレード取付面１０Ａの内周側に接続補強部保持部１０Ｅが形成され、接続補強部２４０を保持している。

【0089】

接続補強部保持部１０Ｄは、ブレード取付部１１の外周面に形成される。
続補強部保持部１０Ｅは、両面粘着テープ２２０の貼着領域の内周側に形成される。
また、接続補強部保持部１０Ｄ、接続補強部保持部１０Ｅの表面粗さは任意に設定可能であるが、例えば、サンドブラストやショットブラストにより表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍであることが好適である。その他は第１実施形態のチタンハブと同様であるので説明を省略する。

【0090】

両面粘着テープ（両面粘着部材、粘着性接続部）２２０は、図１０〜図１２に示すように、例えば、テープ基材２２１と、テープ基材２２１のブレード取付面１０Ａ側に塗布される粘着性接着剤２２２と、テープ基材２２１の接続面３０Ｔ側に塗布される粘着性接着剤２２３とを備えている。また、粘着性接着剤２２２は粘着面２２０Ａを形成し、粘着性接着剤２２３は粘着面２２０Ｂを形成する。

【0091】

また、両面粘着テープ２２０は、外周がチタンハブ１０と同径とされ、内周にブレード本体３０の円形穴３０Ｈと同径の円形穴２２０Ｈが形成されドーナツ状とされている。
なお、両面粘着テープ２２０の厚さ（例えば、０．１ｍｍ以下）、弾性係数、保持力（粘着力）、導電性等は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0092】

ブレード本体３０は、例えば、接続面３０Ｔの外周側におけるチタンハブ１０の外径と対応する位置から、内周側の円形穴３０Ｈと対応する位置までの領域が、金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面に形成されている。

【0093】

また、接続面３０Ｔにおけるチタンハブ１０の外径と対応する位置より外周側に接続補強部保持部３０Ｄが形成され、ブレード本体３０の円形穴３０Ｈの内周面に接続補強部保持部３０Ｅが形成されている。接続補強部保持部３０Ｄ、接続補強部保持部３０Ｅは、金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出していることが好適である。その他は、第１実施形態のブレード本体３０と同様であるので説明を省略する。

【0094】

接続補強部２４０は、この実施形態において、例えば、両面粘着テープ２２０の外周側に形成される外周側接続補強部２４１と、両面粘着テープ２０の円形穴２２０Ｈの内周側に形成される内周側接続補強部２４２とを備えている。

【0095】

外周側接続補強部２４１は、例えば、両面粘着テープ２２０の外周側全周にわたってチタンハブ１０の接続補強部保持部１０Ｄからブレード本体３０の接続補強部保持部３０Ｄを接続する構成とされている。
そして、両面粘着テープ２２０の外周側において、粘着面２２０Ａ、２２０Ｂを液密に封止する。

【0096】

内周側接続補強部２４２は、例えば、両面粘着テープ２２０の内周側全周にわたって、チタンハブ１０の接続補強部保持部１０Ｅから円形穴２２０Ｈを介して接続補強部保持部３０Ｅを接続する。
そして、両面粘着テープ２２０の内周側において、粘着面２２０Ａ、２２０Ｂを液密に封止する。

【0097】

また、接続補強部２４０は、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部であり、第１実施形態と同様のものを適用可能である。

【0098】

次に、図１３、図１４を参照して、第２実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。
図１３は、第２実施形態に係るブレード装着工程の手順の概略を説明するフローチャートである。また、図１４は、ブレード装着工程における補強用接着剤の塗布を説明する概念図である。
第２実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、第１実施形態のブレード装着工程（Ｓ１１）の手順（Ｓ１０１〜Ｓ１０４）に代えて、図１３に示す手順（Ｓ２０１〜Ｓ２０４）を適用する。その他は第１実施形態と同様の手順を適用することができる。

【0099】

第２実施形態におけるブレード装着工程は、図１３に示すように、例えば、Ｓ２０１〜Ｓ２０４の手順により構成される。
（１）ハブに両面粘着テープを貼着（Ｓ２０１）
（２）ハブにブレード素材を接続（Ｓ２０２）
Ｓ２０１、Ｓ２０２については、第１実施形態のＳ１０１、Ｓ１０３と同様の手順を適用することができる。

【0100】

（３）補強用接着剤を塗布（Ｓ２０３）
次に、チタンハブ１０にブレード素材（ブレード本体）３０を接続した中間製品の外周側及び内周側に補強用接着剤を塗布する。
補強用接着剤の塗布は、例えば、図１４に示すように行うことができる。図１４は、ブレード装着工程における補強用接着剤の塗布を説明する概念図である。
外周側接続補強部２４１を形成する補強用接着剤の塗布は、図１４（Ａ）に示すように、例えば、中間製品のチタンハブ１０側を上にして鉛直方向に対して軸線Ｏ１を傾斜させて回転させ、接着剤供給装置４０から両面粘着テープ２２０の外周側全周に補強用接着剤２４０Ｌを供給する。
また、内周側接続補強部２４２を形成する補強用接着剤の塗布は、図１４（Ｂ）に示すように、例えば、中間製品のブレード本体３０側を上にして鉛直方向に対して軸線Ｏ１を傾斜させて回転させ、接着剤供給装置４０から両面粘着テープ２２０の内周側全周に補強用接着剤２４０Ｌを供給する。

【0101】

（４）補強用接着剤硬化（Ｓ２０４）
補強用接着剤を硬化させて接続補強部を形成する。
補強用接着剤硬化（Ｓ２０４）については、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
Ｓ２０１〜Ｓ２０４の手順によりブレード装着品（中間製品）が完成する。
なお、Ｓ２０１〜Ｓ２０４の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0102】

第２実施形態に係るハブ型ブレード２００によれば、接続補強部２４０がチタンハブ１０とブレード本体３０を接続するので、チタンハブ１０とブレード本体３０との接続強度を大きくすることができる。

【0103】

また、ハブ型ブレード２００によれば、接続補強部保持部１０Ｄ、１０Ｅが表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍに形成され、接続補強部保持部３０Ｄ、３０Ｅがダイヤモンド超砥粒３２が露出しているので、接続補強部２４０をチタンハブ１０及びブレード本体３０に安定して接続することができる。

【0104】

また、両面粘着テープ２２０が接続補強部２４０により外周側と内周側で封止されているので、粘着面２２０Ａ、２２０Ｂの劣化を抑制することができる。

【0105】

また、第２実施形態に係るハブ型ブレードによれば、チタンハブ１０とブレード本体３０を接続した後に接続補強部２４０を形成するのでハブ型ブレード２００を効率的に製造することができる。

【0106】

また、ハブ型ブレード２００によれば、ブレード本体３０がチタンハブ１０の外縁で急激に屈曲するのが緩和され、切断時にブレード本体３０が割れるのを抑制することができる。

【0107】

また、ハブ型ブレード２００によれば、接続補強部２４０が遅延性紫外線硬化接着剤により形成され、容易に塗布して短時間で硬化するので接続補強部２４０を効率的に形成することができる。

【0108】

＜第３実施形態＞
以下、図１５〜図１７を参照し、本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。図１５は、第３実施形態に係るハブ型ブレードの外周側接続補強部の概略を説明する部分拡大図であり、図１６は内周側接続補強部の概略を説明する部分拡大図である。図１５、図１６において、符号３００はハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号３２０は両面粘着テープを、符号３０はブレード本体を、符号３４０は接続補強部を示している。

【0109】

ハブ型ブレード３００は、図１５、図１６に示すように、例えば、チタンハブ１０と、両面粘着テープ（粘着性接続部材、粘着性接続部）３２０と、ブレード本体３０と、接続補強部３４０とを備えている。また、両面粘着テープ３２０は、粘着性接続部を構成する。
なお、チタンハブ１０、ブレード本体３０については第１実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。

【0110】

両面粘着テープ（粘着性接続部材）３２０は、図１５、図１６に示すように、例えば、テープ基材３２１と、テープ基材３２１のブレード取付面１０Ａ側に塗布される粘着剤３２２と、ブレード本体３０側の接続面３０Ｔ側に塗布される粘着剤３２３とを備えている。また、粘着剤３２２は粘着面３２０Ａを形成し、粘着剤３２３は粘着面３２０Ｂを形成する。

【0111】

テープ基材３２１は、例えば、外周がチタンハブ１０の外径と同径とされ、内周側にブレード本体３０の取付穴３０Ｈと同径の円形穴３２０Ｈが形成されたドーナツ状とされている。
粘着剤３２２、３２３は、外周側がテープ基材３２１より小径に形成され、内周側が円形穴３２０Ｈより大径に形成されている。
また、両面粘着テープ３２０の厚さ（例えば、０．１ｍｍ以下）、弾性係数、保持力（粘着力）等、導電性等については、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0112】

接続補強部３４０は、例えば、両面粘着テープ３２０の外周側に形成される外周側接続補強部３４１と、両面粘着テープ３２０の内周側に形成される内周側接続補強部３４２とを備えている。

【0113】

また、接続補強部３４０は、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部であり、第１実施形態と同様のものを適用可能である。

【0114】

外周側接続補強部３４１は、例えば、テープ基材３２１とブレード取付面１０Ａとを接続する接続補強部３４１Ａと、テープ基材３２１と接続面３０Ｔとを接続する接続補強部３４１Ｂとを備えている。

【0115】

内周側接続補強部３４２は、例えば、テープ基材３２１とブレード取付面１０Ａとを接続する接続補強部３４２Ａと、テープ基材３２１と接続面３０Ｔとを接続する接続補強部３４２Ｂとを備えている。

【0116】

また、接続補強部３４０は、両面粘着テープ３２０の内周側及び外周側縁部において、粘着面３２０Ａ及び粘着面３２０Ｂを液密に封止する。その他は、第１実施形態と同様であるので、説明を省略する。

【0117】

次に、図１７を参照して、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。図１７は、第３実施形態に係るブレード装着工程における手順の概略を説明するフローチャートである。
第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、第１実施形態に係るブレード装着工程（Ｓ１１）の手順（Ｓ１０１〜Ｓ１０４）に代えて、図１７に示す手順（Ｓ３０１〜Ｓ３０５）を適用する。その他は第１実施形態と同様の手順を適用することができる。

【0118】

第３実施形態におけるブレード装着工程は、図１７に示すように、例えば、Ｓ３０１〜Ｓ３０５の手順により構成される。
（１）両面粘着テープの対象領域に補強用接着剤を塗布（Ｓ３０１）
両面粘着テープ３２０のブレード取付面１０Ａ側の接続補強部３４１Ａ、３４２Ａと対応する領域に補強用接着剤を塗布する。なお、両面粘着テープに補強用接着剤を塗布するのに代えて、両面粘着テープが貼着されていないブレード取付面１０Ａの接続補強部３４１Ａ、３４２Ａと対応する領域に第１実施形態と同様の手順で補強用接着剤を塗布してもよい。
（２）ハブに両面粘着テープを貼着及び接着剤配置（Ｓ３０２）
ハブに両面粘着テープ３２０を貼着する。これにより、テープ基材３２１とブレード取付面１０Ａの間に接続補強部３４１Ａ、３４２Ａを形成する接着剤が配置される。
Ｓ３０２については、第１実施形態のＳ１０１と同様であるので説明を省略する。
（３）補強用接着剤を塗布（Ｓ３０３）
Ｓ３０３における両面粘着テープ３２０の接続面３０Ｔ側の接続補強部３４１Ｂ、３４２Ｂと対応する領域に補強用接着剤を塗布する。この補強用接着剤の塗布は第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
（４）ハブにブレード素材を接続（Ｓ３０４）
（５）補強用接着剤硬化（Ｓ３０５）
Ｓ３０４、Ｓ３０５については、第１実施形態のＳ１０３、Ｓ１０４と同様の手順を適用することができる。
Ｓ３０１〜Ｓ３０５の手順によりブレード装着品（中間製品）が完成する。
なお、Ｓ３０１〜Ｓ３０５の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0119】

第３実施形態に係るハブ型ブレード３００によれば、両面粘着テープ３２０を構成する粘着剤３２２、３２３が外周側接続補強部３４１及び内周側接続補強部３４２により封止されるので、粘着剤３２２、３２３の劣化を抑制することができる。

【0120】

＜第４実施形態＞
以下、図１８を参照し、本発明の第４実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。図１８は、第４実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。
図１８において、符号４００はハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号４２は粘着性接続部を、符号４２０は粘着テープを、符号４２２は接着樹脂部を、符号４４０は接続補強部を示している。

【0121】

ハブ型ブレード４００は、図１８に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部４２と、ブレード本体３０と、接続補強部４４０とを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部４２及び接続補強部４４０を介して接続されている。
また、粘着性接続部４２は、接着樹脂部４２２と、粘着テープ４２０とを備え、ブレード取付面１０Ａから接着樹脂部４２２、粘着テープ４２０の順に配置されて、粘着テープ４２０が接続面３０Ｔに接続されている。
ブレード本体３０は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0122】

チタンハブ１０は、ブレード取付面１０Ａに接着樹脂部４２２が配置され、接着樹脂部４２２を介して粘着テープ４２０と接続されている。
また、チタンハブ１０は、例えば、ブレード取付面１０ＡがＲｍａｘ５〜５０μｍ（ＪＩＳ Ｂ０６０１ １９８２）に形成されていることが好適である。その他は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0123】

また、粘着テープ４２０は、図１８に示すように、例えば、テープ基材４２１と、テープ基材４２１の接続面３０Ｔ側に塗布された粘着剤４２３とを備え、粘着剤４２３の表面が粘着面４２０Ｓとされた片面粘着テープである。そして、粘着剤４２３が接続面３０Ｔと接続されている。
また、粘着テープ４２０は、外周側が取付面１０Ａの外径より小さく、内周側にブレード本体３０の円形穴３０Ｈより大径の円形穴４２０Ｈが形成されドーナツ状とされている。

【0124】

粘着テープ４２０を構成するテープ基材４２１、粘着剤４２３は、第１実施形態に係る粘着テープ１２０のテープ基材１２１、粘着剤１２３と同様の構成であってもよい。なお、テープ基材４２１は、接着樹脂部４２２を構成する接着剤が安定して定着することが好適である。その他は、粘着剤が一面であることを除き第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0125】

また、粘着テープ４２０の外径、厚さ（例えば、０．１ｍｍ以下）、弾性係数、保持力（粘着力）、導電性等は、例えば、概ね第１実施形態に係る両面粘着テープと同様であるので説明を省略する。

【0126】

接着樹脂部４２２は、ブレード取付面１０Ａに形成され、例えば、エポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂を主成分とする接着剤、アクリル樹脂系接着剤等が硬化したものである。なお、接着樹脂部４２３が導電性を有するかどうかは任意に設定可能であるが、導電性を有することが好適である。
また、接着樹脂部４２２は、例えば、弾性係数、保持力（接着力）等がブレード本体３０の平面度を保持し、切断時の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体３０に破損を生じさせない設定とされていることが好適である。

【0127】

導電性接着剤としては、例えば、ＣＮ−３１６０Ｌ、ＣＮ−７１２０（商品名：化研テック株式会社製）、ＴＢ３３５１Ｃ（商品名：株式会社スリーボンド製）、エポキシ樹脂に銀（Ａｇ）系フィラーが混合されたスリーボンド３３８０（商品名：株式会社スリーボンド製）等を溶剤（例えば、酢酸エチル）で希釈して適用することが可能である。

【0128】

また、導電性を有さない接着剤としては、例えば、紫外線硬化接着剤（遅延硬化型）（例えば、ＡＵＶ−８８００、ＡＵＶ−００８２P（商品名：新田ゼラチン株式会社製）、ＣＶ７８３１（商品名：パナソニック株式会社製）、ＳＸ−ＵＶ３００（商品名：セメダイン株式会社製））や、シアノアクリレート系の瞬間接着剤（例えば、ＡＬＴＥＣＯ ＣＮ２（商品名：株式会社アルテコ製）、ＡＬＴＥＣＯ ＣＮ４（商品名：株式会社アルテコ製）、セメダイン ３０００ＤＸＦ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ ＤＸＬＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ＤＸＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ衝撃（商品名：東亞合成株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ４０００（商品名東亞合成株式会社製））を適用することができる。

【0129】

接続補強部４４０は、外周側接続補強部４４１と、内周側接続補強部４４２とを備えている。
外周側接続補強部４４１は粘着性接続部４２の外周側全周にわたって形成され、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔを接続している。
また、内周側接続補強部４４２は粘着性接続部４２の内周側全周にわたって形成され、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔを接続している。
また、接続補強部４４０は、粘着性接続部４２の外周側及び内周側を液密に封止している。
また、接続補強部４４０は、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部であり、第１実施形態と同様のものを適用することができる。

【0130】

次に、図１９を参照して、第４実施形態に係るブレード装着工程の概略を説明する。図１９は、第４実施形態に係るブレード装着工程の手順の概略を説明するフローチャートである。
第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、第１実施形態に係るブレード装着工程（Ｓ１１）の手順（Ｓ１０１〜Ｓ１０４）に代えて、図１９に示す手順（Ｓ４０１〜Ｓ４０６）を適用する。その他は第１実施形態と同様の手順を適用することができる。

【0131】

（１）ハブに接着剤を塗布する（Ｓ４０１）
まず、チタンハブ１０のブレード取付面１０Ａの粘着性接続部４２の対象領域に接着樹脂部４２２を形成する接着剤を塗布する。
なお、ブレード取付面１０Ａに代えて、粘着テープ４２０のテープ基材４２１の裏面（粘着剤４２３と反対側の面）に接着樹脂部４２２を形成する接着剤を塗布してもよい。
（２）ハブに粘着テープを接着する（Ｓ４０２）
次に、塗布した接着剤に粘着テープ４２０を接着する。このとき、チタンハブ１０の軸線Ｏ１と、粘着テープ４２０の軸線を同軸に接着する。
（３）接着剤硬化（Ｓ４０３）
次いで、接着剤を硬化させて接着樹脂部４２２に粘着テープ４２０を接続する。
（４）補強用接着剤を塗布（Ｓ４０４）
次に、粘着性接続部４２の外周側及び内周側に、接続補強部４４０を形成する補強用接着剤を塗布する。補強用接着剤の塗布は、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
（５）ハブにブレード素材を接続（Ｓ４０５）
次に、チタンハブにブレード素材を貼着する。
チタンハブにブレード素材を貼着する際は、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
（６）補強用接着剤硬化（Ｓ４０６）
次に、補強用接着剤を硬化させて接続補強部を形成する。
補強用接着剤硬化については、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
Ｓ４０１〜Ｓ４０６の手順によりブレード装着品（中間製品）が完成する。
なお、Ｓ４０１〜Ｓ４０６の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0132】

第４実施形態に係るハブ型ブレード４００によれば、粘着テープ４２０が接着樹脂部４２２によってブレード取付面１０Ａに接続されているので、大きな接続強度を確保することができる。

【0133】

また、ハブ型ブレード４００によれば、粘着テープ４２０の外周側と内周側に接続補強部４４０が形成されているので、粘着剤４２３の劣化を抑制することができる。

【0134】

＜第４実施形態（第１変形例）＞
以下、図２０を参照し、本発明の第４実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードについて説明する。図２０は、第４実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する部分断面図である。
図２０において、符号４００Ａはハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号４２Ａは粘着性接続部を、符号４２０Ａは粘着テープを、符号４２２Ａは接着樹脂部を、符号４４０Ａは接続補強部を示している。

【0135】

ハブ型ブレード４００Ａは、図２０に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部４２Ａと、ブレード本体３０と、接続補強部４４０Ａとを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部４２Ａ及び接続補強部４４０Ａを介して接続されている。
また、粘着性接続部４２Ａは、接着樹脂部４２２Ａと、粘着テープ４２０Ａとを備え、ブレード取付面１０Ａから接着樹脂部４２２Ａ、粘着テープ４２０Ａの順に配置されて接続面３０Ｔに接続されている。
チタンハブ１０、ブレード本体３０については、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0136】

また、粘着テープ４２０Ａは、図２０に示すように、例えば、テープ基材４２１Ａと、テープ基材４２１Ａの接続面３０Ｔ側に塗布された粘着剤４２３Ａとを備え、粘着剤４２３Ａの表面が粘着面４２０Ｓとされた片面粘着テープである。
また、テープ基材４２１Ａは、例えば、外周側が取付面１０Ａと同径とされ、内周側にブレード本体３０の円形穴３０Ｈと同径の円形穴４２０ＨＡが形成されドーナツ状とされている。
また、粘着剤４２３Ａは、外周側がテープ基材４２１Ａより小径とされ、内周側が円形穴４２０ＨＡより大径とされている。その他は、第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0137】

接着樹脂部４２２Ａは、ブレード取付面１０Ａに形成され、外径及び内径は、粘着テープ４２０Ａのテープ基材４２１Ａと対応して形成されている。その他は、第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0138】

接続補強部４４０Ａは、外周側接続補強部４４１Ａと、内周側接続補強部４４２Ａとを備えている。
外周側接続補強部４４１Ａは、粘着テープ４２０Ａを構成する粘着剤４２３Ａの外周側全周にわたって形成され、テープ基材４２１Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
また、内周側接続補強部４４２Ａは、粘着テープ４２０Ａを構成する粘着剤４２３Ａの内周側全周にわたって形成され、テープ基材４２１Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
また、接続補強部４４０Ａは、粘着剤４２３Ａの外周側及び内周側を液密に封止する。その他は、第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0139】

＜第４実施形態（第２変形例）＞
以下、図２１を参照し、本発明の第４実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードについて説明する。図２１は、第４実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する部分断面図である。
図２１において、符号４００Ｂはハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号４２Ｂは粘着性接続部を、符号４２０Ｂは粘着テープを、符号４２２Ｂは接着樹脂部を、符号４４０Ｂは接続補強部を示している。

【0140】

ハブ型ブレード４００Ｂは、図２１に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部４２Ｂと、ブレード本体３０と、接続補強部４４０Ｂとを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部４２Ｂ及び接続補強部４４０Ｂを介して接続されている。
また、粘着性接続部４２Ｂは、接着樹脂部４２２Ｂと、粘着テープ４２０Ｂとを備え、ブレード取付面１０Ａから接着樹脂部４２２Ｂ、粘着テープ４２０Ｂの順に配置されて接続面３０Ｔに接続されている。チタンハブ１０は第４実施形態と同様であり、ブレード本体３０は第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0141】

また、粘着テープ４２０Ｂは、図２１に示すように、例えば、テープ基材４２１Ｂと、テープ基材４２１Ｂの接続面３０Ｔ側に塗布された粘着剤４２３Ｂとを備え、粘着剤４２３Ｂの表面が粘着面４２０Ｓとされた片面粘着テープである。
また、テープ基材４２１Ｂは、例えば、外周側が取付面１０Ａと同径とされ、内周側がブレード本体３０の円形穴３０Ｈと同径の円形穴４２０ＨＢが形成されドーナツ状とされている。
また、粘着剤４２３Ｂは、外周側及び内周側がテープ基材４２１Ａと同径に形成されている。その他は、第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0142】

接着樹脂部４２２Ｂについては、第４実施形態の第１変形例と同様であるので説明を省略する。

【0143】

接続補強部４４０Ｂは、外周側接続補強部４４１Ｂと、内周側接続補強部４４２Ｂとを備えている。
外周側接続補強部４４１Ｂは、粘着テープ４２０Ｂを構成する粘着剤４２３Ｂの外周側全周にわたって形成され、テープ基材４２１Ｂと接続面３０Ｔとを接続する。
また、内周側接続補強部４４２Ｂは、粘着テープ４２０Ｂを構成する粘着剤４２３Ｂの内周側全周にわたって形成され、テープ基材４２１Ｂと接続面３０Ｔとを接続する。
また、接続補強部４４０Ｂは、粘着剤４２３Ｂの外周側及び内周側を液密に封止する。その他は、第４実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0144】

＜第５実施形態＞
以下、図２２、図２３を参照して、本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。図２２は、第５実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視Ｚ−Ｚで示す部分断面図である。また、図２３は、第５実施形態に係るブレード装着工程の手順の一例の概略を説明するフローチャートである。
図２２において、符号５００はハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号５２は粘着性接続部を、符号５２０は粘着テープを、符号５２３は接着樹脂部を、符号５４０は接続補強部を示している。

【0145】

ハブ型ブレード５００は、図２２に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部５２と、ブレード本体３０と、接続補強部５４０とを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部５２及び接続補強部５４０を介して接続されている。
また、粘着性接続部５２は、粘着テープ５２０と、接着樹脂部５２３とを備え、ブレード取付面１０Ａから粘着テープ５２０、接着樹脂部５２３の順に配置されて、接着樹脂部５２３が接続面３０Ｔと接続されている。
チタンハブ１０については、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0146】

また、接着樹脂部５２３は、接続面３０Ｔに配置され粘着テープ５２０と接続される。その他は、第４実施形態の接着樹脂部４２２と同様であるので説明を省略する。

【0147】

粘着テープ５２０は、テープ基材５２１と、粘着剤５２２とを備え、テープ基材５２１のブレード取付面１０Ａ側に粘着剤５２２が配置され、粘着剤５２２の表面が粘着面５２０Ｓとされた片面粘着テープである。そして、接着樹脂部５２２がブレード取付面１０Ａと接続されている。テープ基材５２１、粘着剤５２２は、第４実施形態のテープ基材４２１、粘着剤４２３と同様のものを適用することが可能である。

【0148】

ブレード本体３０は、この実施形態において、例えば、接続面３０Ｔの全面にわたり、金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出する構成とされている。

【0149】

接続補強部５４０は、外周側接続補強部５４１と、内周側接続補強部５４２とを備えている。
外周側接続補強部５４１は粘着性接続部５２の外周側全周にわたって形成され、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔを接続している。
また、内周側接続補強部５４２は粘着性接続部５２の内周側全周にわたって形成され、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔを接続している。
また、接続補強部５４０は、粘着性接続部５２の外周側、内周側を液密に封止する。
また、接続補強部５４０は、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部であり、接続補強部５４０を形成する接着剤は、第１実施形態と同様のものを適用することができる。

【0150】

次に、図２３を参照して、第５実施形態に係るブレード装着工程の概略を説明する。図２３は、第５実施形態に係るブレード装着工程の手順の概略を説明するフローチャートである。
第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、第１実施形態に係るブレード装着工程（Ｓ１１）の手順（Ｓ１０１〜Ｓ１０４）に代えて、図２３に示す手順（Ｓ５０１〜Ｓ５０６）を適用する。その他は第１実施形態と同様の手順を適用することができる。

【0151】

（１）ブレード素材に接着剤を塗布する（Ｓ５０１）
まず、ブレード素材（ブレード本体）３０の接続面３０Ｔの粘着性接続部５２の対象領域に接着樹脂部５２３を形成する接着剤を塗布する。
なお、接続面３０Ｔに代えて、粘着テープ５２０のテープ基材５２１の裏面（粘着剤５２２と反対側の面）に接着樹脂部５２３を形成する接着剤を塗布してもよい。
（２）ブレード素材に粘着テープを接着する（Ｓ５０２）
次に、塗布した接着剤に粘着テープ５２０を接着する。このとき、ブレード本体３０の軸線Ｏ１と、粘着テープ５２０の軸線を同軸に接着する。
（３）接着剤硬化（Ｓ５０３）
次いで、接着剤を硬化させて接着樹脂部５２３に粘着テープ５２０を接続する。
（４）補強用接着剤を塗布（Ｓ５０４）
次に、粘着性接続部５２の外周側及び内周側に接続補強部５４０を形成する補強用接着剤を塗布する。補強用接着剤の塗布は、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
（５）ブレード素材にハブを接続（Ｓ５０５）
次に、ブレード素材にチタンハブを貼着する。
ブレード素材にチタンハブを貼着する際は、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
（６）補強用接着剤硬化（Ｓ５０６）
次に、補強用接着剤を硬化させて接続補強部を形成する。
補強用接着剤硬化については、第１実施形態と同様の手順を適用することができる。
Ｓ５０１〜Ｓ５０６の手順によりブレード装着品（中間製品）が完成する。
なお、Ｓ５０１〜Ｓ５０６の手順は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

【0152】

第５実施形態に係るハブ型ブレード５００によれば、粘着テープ５２０が接着樹脂部５２３によって接続面３０Ｔに接続されているので、ブレード本体３０を大きな接続強度で保持することができる。

【0153】

また、ハブ型ブレード５００によれば、接着樹脂部５２３によりブレード本体３０を接続するので、ビトブレード等、通気性があるブレード本体を容易かつ確実に保持することができる。

【0154】

また、ハブ型ブレード５００によれば、粘着テープ５２０の外周側と内周側に接続補強部５４０が形成されているので、粘着剤５２２の劣化を抑制することができる。

【0155】

＜第５実施形態（第１変形例）＞
以下、図２４を参照し、本発明の第５実施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードについて説明する。図２４は、第５施形態の第１変形例に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する部分断面図である。
図２４において、符号５００Ａはハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号４２Ａは粘着性接続部を、符号５２０Ａは粘着テープを、符号５２３Ａは接着樹脂部を、符号５４０Ａは接続補強部を示している。

【0156】

ハブ型ブレード５００Ａは、図２４に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部５２Ａと、ブレード本体３０と、接続補強部５４０Ａとを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部５２Ａ及び接続補強部５４０Ａを介して接続されている。
また、粘着性接続部５２Ａは、接着樹脂部５２３Ａと、粘着テープ５２０Ａとを備え、ブレード取付面１０Ａから粘着テープ５２０Ａ、接着樹脂部５２３Ａの順に配置されて接続面３０Ｔに接続されている。
チタンハブ１０については第１実施形態と同様であり、ブレード本体３０については第５実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0157】

また、粘着テープ５２０Ａは、図２４に示すように、例えば、テープ基材５２１Ａと、テープ基材５２１Ａのブレード取付面１０Ａ側に塗布された粘着剤５２２Ａとを備え、粘着剤５２２Ａの表面が粘着面５２０Ｓとされた片面粘着テープである。
また、テープ基材５２１Ａは、例えば、外周側が取付面１０Ａと同径に形成され、内周側がブレード本体３０の円形穴３０Ｈと同径の円形穴５２０ＨＡが形成されドーナツ状とされている。また、粘着剤５２２Ａは、外周側がテープ基材５２１Ａより小径とされ、内周側が円形穴５２０ＨＡより大径とされている。その他は、第５実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0158】

接着樹脂部５２３Ａは、接続面３０Ｔに形成され、外径及び内径は、粘着テープ５２０Ａのテープ基材５２１Ａと対応して形成されている。その他は、第４実施形態の接着樹脂部４２３と同様であるので説明を省略する。

【0159】

接続補強部５４０Ａは、外周側接続補強部５４１Ａと、内周側接続補強部５４２Ａとを備えている。
外周側接続補強部５４１Ａは、粘着テープ５２０Ａを構成する粘着剤５２２Ａの外周側全周にわたって形成され、テープ基材５２１Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
内周側接続補強部５４２Ａは、粘着テープ５２０Ａを構成する粘着剤５２２Ａの内周側全周にわたって形成され、テープ基材５２１Ａと接続面３０Ｔとを接続する。
また、接続補強部５４０Ａは、粘着剤５２２Ａの外周側及び内周側を液密に封止している。その他は、第４実施形態の第１変形例と同様であるので説明を省略する。

【0160】

＜第５実施形態（第２変形例）＞
以下、図２５を参照し、本発明の第５実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードについて説明する。図２５は、第５実施形態の第２変形例に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する部分断面図である。
図２５において、符号５００Ｂはハブ型ブレードを、符号１０はチタンハブを、符号５２Ｂは粘着性接続部を、符号５２０Ｂは粘着テープを、符号５２３Ｂは接着樹脂部を、符号５４０Ｂは接続補強部を示している。

【0161】

ハブ型ブレード５００Ｂは、図２５に示すように、例えば、チタンハブ１０と、粘着性接続部５２Ｂと、ブレード本体３０と、接続補強部５４０Ｂとを備えている。
そして、チタンハブ１０とブレード本体３０は、粘着性接続部５２Ｂ及び接続補強部５４０Ｂを介して接続されている。
また、粘着性接続部５２Ｂは、接着樹脂部５２３Ｂと、粘着テープ５２０Ｂとを備え、ブレード取付面１０Ａから粘着テープ５２０Ｂ、接着樹脂部５２３Ｂの順に配置されて接続面３０Ｔに接続されている。チタンハブ１０は第２実施形態と同様であり、ブレード本体３０は第５実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0162】

また、粘着テープ５２０Ｂは、図２５に示すように、例えば、テープ基材５２１Ｂと、テープ基材５２１Ｂのブレード取付面１０Ａ側に塗布された粘着剤５２２Ｂとを備え、粘着剤５２２Ｂの表面が粘着面５２０Ｓとされた片面粘着テープである。
また、テープ基材５２１Ｂは、例えば、外周側が取付面１０Ａと同径とされ、内周側がブレード本体３０の円形穴３０Ｈと同径の円形穴５２０ＨＢが形成されドーナツ状とされている。また、粘着剤５２２Ｂは、外周側及び内周側がテープ基材５２１Ｂと同径に形成されている。その他は、第５実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0163】

接着樹脂部５２３Ｂについては、第５実施形態の第１変形例の接着樹脂部５２３Ａと同様であるので説明を省略する。

【0164】

接続補強部５４０Ｂは、外周側接続補強部５４１Ｂと、内周側接続補強部５４２Ｂとを備えている。
外周側接続補強部５４１Ｂは、粘着テープ５２０Ｂを構成する粘着剤５２２Ｂの外周側全周にわたって形成され、テープ基材５２１Ｂとブレード取付面１０Ａとを接続している。
また、内周側接続補強部５４２Ｂは、粘着テープ５２０Ｂを構成する粘着剤５２２Ｂの内周側全周にわたって形成され、テープ基材５２１Ｂとブレード取付面１０Ａとを接続している。
また、接続補強部５４０Ｂは、粘着剤５２２Ｂの外周側及び内周側を液密に封止する。その他は、第５実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0165】

なお、上記実施形態において記載した技術的事項については、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。

【0166】

例えば、接続補強部の形態については、適宜設定することが可能であり、第１実施形態〜第５実施形態の接続補強部を組み合わせて適用してもよい。
また、上記実施形態においては、接続補強部が粘着性接続部の外周側と内周側全周にわたって形成され、粘着性接続部を封止する場合について説明したが、粘着性接続部の外周側と内周側のいずれか一方のみに接続補強部を形成してもよい。また、粘着性接続部の外周側、内周側の周方向に断続的に接続補強部を形成してもよい。

【0167】

また、例えば、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔの双方が粘着力により粘着性接続部と接続されている場合に、ブレード取付面１０Ａと接続面３０Ｔのいずれか一方のみに接続補強部を形成してもよい。

【0168】

また、粘着性接続部材として両面粘着テープを用いるか、第１実施形態の第１変形例に示すテープ基材を有さない両面粘着部材を適用するかは適宜設定することができる。

【0169】

また、上記実施形態においては、接続補強部が遅延性紫外線硬化接着剤を硬化して形成する場合について説明したが、紫外線硬化接着剤、熱硬化樹脂、嫌気性樹脂等種々の樹脂を適用することができる。

【0170】

また、上記実施形態においては、ハブがチタン合金で形成されている場合について説明したが、純チタンや他の材料で形成してもよい。その場合、比強度が純アルミニウム（（ＪＩＳ規格 Ａ１０６０−Ｏ）比強度２５．９）以上であることが好適である。
例えば、アルミニウム合金又は純アルミニウムによりハブを形成する場合、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。

【0171】

また、ハブをマグネシウム又はマグネシウム合金によりハブを形成する場合には、例えば、ＭＢ３（Ｍg-８．４％Ａｌ-０．６％Ｚｎ-０．２５％Ｍｎ）、ＭＢ５（Ｍg-３．３％Ｚｎ-０．６％Ｚｒ）、ＭＢ６（Ｍg-５．５％Ｚｎ-０．６％Ｚｒ）等が好適である。マグネシウムハブは比強度が大きいので高速回転が可能で、減衰能が優れているので振動の発生が抑制され安定的に切断することができる。

【0172】

また、ハブをプラスチックにより形成してもよく、ポリカーボネードをはじめとするエンジニアリングプラスチック、繊維強化プラスチック、アクリル樹脂等の汎用プラスチックの中から適宜設定することで高速回転させて効率的に切断することができる。
また、ハブをポリカーボネート（比強度 ５２．５ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成すると高速回転させて切断能力を向上することができる。

【0173】

また、上記実施形態においては、ブレード本体３０がニッケルめっきからなる金属母材３１にダイヤモンド超砥粒３２が分散する構成とされている場合について説明したが、例えば、銅（Ｃｕ）や銅合金（例えば、Ｃｕ−Ｓｎ）をはじめとする適用可能な種々の金属母材に砥粒が分散されたメタルブレード、フェノール樹脂等からなるレジンブレード、砥粒を混合したセラミックス粉末を含むガラス粉末（無機材料）を焼成して形成したビトブレード、超硬合金により形成されたブレード等、種々のブレード本体を用いてもよい。
本発明では、電着ブレードとして形成できない種々のブレード本体を粘着性接続部により接続可能することができる。

【0174】

また、図５、図６、図７、図１３、図１７、図１９、図２３に示したフローチャートは一例であり、適宜変更（省略、追加）してもよい。

【産業上の利用可能性】

【0175】

本発明に係るハブ型ブレードによれば、切断能力を向上することができるので産業上利用可能である。

【符号の説明】

【0176】

１００、１００Ａ、２００、３００、４００、４００Ａ、４００Ｂ、５００、５００Ａ、５００Ｂ ハブ型ブレード
１０ チタンハブ（ハブ）
３０ ブレード本体
３０Ｔ 接続面
１２０、１２５、２２０、３２０ 両面粘着テープ（粘着性接続部材、粘着性接続部）
１２５ 両面粘着接続部材（粘着性接続部）
４２、４２Ａ、４２Ｂ、５２、５２Ａ、５２Ｂ 粘着性接続部
４２０、４２０Ａ、４２０Ｂ、５２０、５２０Ａ、５２０Ｂ 粘着テープ（粘着性接続部材、粘着性接続部）
４２２、４２２Ａ、４２２Ｂ、５２３、５２３Ａ、５２３Ｂ 接着樹脂部（粘着性接続部）
１２０Ａ、１２０Ｂ、１２５Ａ、１２５Ｂ，２２０Ａ、２２０Ｂ、３２０Ａ、３２０Ｂ、４２０Ｓ、５２０Ｓ 粘着面
１２１、２２１、３２１、４２１、５２１ テープ基材
１２２、１２３、２２２、２２３、３２２、３２３、４２３、４２３Ａ、４２３Ｂ、５２２、５２２Ａ、５２２Ｂ 粘着剤（粘着性接着樹脂）
１４０、２４０、３４０、４４０、４４０Ａ、４４０Ｂ、５４０、５４０Ａ、５４０Ｂ 接続補強部（紫外線硬化樹脂、紫外線硬化接着剤、光硬化樹脂）
１４１、２４１、３４１、３４１Ａ、３４１Ｂ、４４１、４４１Ａ、４４１Ｂ、５４１、５４１Ａ、５４１Ｂ 外周側接続補強部
１４２、２４２、３４２、３４２Ａ、３４２Ｂ、４４２、４４２Ａ、４４２Ｂ、５４２、５４２Ａ、５４２Ｂ 内周側続補強部材

【要約】

【課題】ハブとブレード本体の少なくともいずれか一方の側を粘着力により接続する粘着性接続部を有し、切断能力を向上させることが可能なハブ型ブレードを提供すること。
【解決手段】ハブ型ブレード１００であって、チタンハブ１０と、ブレード本体３０と、前記チタンハブ１０と前記ブレード本体３０の間に配置され、ブレード取付面１０Ａ及び接続面３０Ｔを粘着力により保持して前記チタンハブ１０と前記ブレード本体３０とを接続する粘着性接続部１２０と、前記粘着性接続部１２０の外周側及び内周側に配置され、前記ブレード取付面１０Ａ及び前記接続面３０Ｔの接続を補強する接続補強部１４０とを備えることを特徴とする。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】