特許 6584858 カセット管理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6584858

(24)【登録日】2019年9月13日

(45)【発行日】2019年10月2日

(54)【発明の名称】カセット管理システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20190919BHJP

   B65G 49/00 20060101ALI20190919BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 V

   B65G49/00 A

【請求項の数】3

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-159645(P2015-159645)

(22)【出願日】2015年8月12日

(65)【公開番号】特開2017-38014(P2017-38014A)

(43)【公開日】2017年2月16日

【審査請求日】2018年6月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】関家 一馬

【審査官】 井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−３１３８６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平４−１９６３３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２５５３２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２５４１７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１１８５６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｇ ４９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の被加工物を複数収容して運搬する収容カセットと、
被加工物に付された該被加工物のＩＤを示す印を読み取る読み取り手段とを備えるカセット管理システムであって、
該収容カセットは、
被加工物を収容し、互いに対をなすガイドレールが内側に複数対形成される一対の側壁と、
該被加工物のＩＤと該収容カセットのＩＤと被加工物の運搬先情報とを対応付けた加工情報において、該読み取り手段が読み取った被加工物のＩＤに対応する運搬先情報を受信する受信手段と、
該受信手段が受信した該運搬先情報を表示する表示手段と、を備えることを特徴とするカセット管理システム。

【請求項2】

該読み取り手段は、
該加工情報において、読み取った被加工物のＩＤに対応する収容カセットのＩＤを表示する表示部を備えることを特徴とする請求項１に記載のカセット管理システム。

【請求項3】

該収容カセットが、
該受信手段と該表示手段を駆動する充電可能な電池を備え、
該収容カセットが運搬先又は運搬元の所定の領域に載置されると、該電池と電力供給源とが接続され、該電池が充電されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカセット管理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、カセット管理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等の板状の被加工物を複数のデバイスチップに分割する加工装置として、切削装置やレーザー加工装置が知られている。それらの加工装置で被加工物は、単体の状態、又は環状フレームの開口に粘着テープ（ダイシングテープ）を介して支持されてフレームユニットを構成した状態で、複数段のガイドレールが形成された収容カセットに収容されて運搬され、加工装置に搬入される（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

収容カセットは、運搬する事を目的としているため、必ず運搬先があるが、どこに運搬するかは、ウエーハを見てもわからない事が多く、例えば、カセットに添付された指示書などを見てオペレータが収容カセットを運搬する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平９−２１３７８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、こうした加工装置を操作するオペレータは、頻繁に交代する。このために、オペレータは、指示書を見忘れたり、見たとしても誤った加工装置に収容カセットを運搬してしまう恐れがある。

【0006】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、間違い無く所定の加工装置に運搬されることができるカセット管理システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のカセット管理システムは、板状の被加工物を複数収容して運搬する収容カセットと、被加工物に付された該被加工物のＩＤを示す印を読み取る読み取り手段とを備えるカセット管理システムであって、該収容カセットは、被加工物を収容し、互いに対をなすガイドレールが内側に複数対形成される一対の側壁と、該被加工物のＩＤと該収容カセットのＩＤと被加工物の運搬先情報とを対応付けた加工情報において、該読み取り手段が読み取った被加工物のＩＤに対応する運搬先情報を受信する受信手段と、該受信手段が受信した該運搬先情報を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
また、前記カセット管理システムにおいて、該読み取り手段は、該加工情報において、読み取った被加工物のＩＤに対応する収容カセットのＩＤを表示する表示部を備えるものとすることができる。

【0008】

また、前記カセット管理システムにおいて、該収容カセットが、該受信手段と該表示手段を駆動する充電可能な電池を備え、該収容カセットが運搬先又は運搬元の所定の領域に載置されると、該電池と電力供給源とが接続され、該電池が充電されるものとすることができる。

【発明の効果】

【0009】

そこで、本願発明は、加工責任者や管理者などが入力した運搬先情報を表示手段が表示するため、オペレータが頻繁に交代しても、収容カセット自体に運搬先が表示される。したがって、収容カセットは、間違い無く所定の加工装置に運搬されることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係る収容カセットが用いられるカセット管理システムの構成例を示す図である。

【図2】図２は、図１に示されたカセット管理システムの構成例のブロック図である。

【図3】図３は、図１に示されたカセット管理システムのサーバに記憶された加工情報の一例を示す図である。

【図4】図４は、図１に示されたカセット管理システムの読み取り手段の表示部の表示状態の一例を示す平面図である。

【図5】図５は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。

【図6】図６は、図５に示された収容カセットの端末装置の表示部の表示状態の一例を示す平面図である。

【図7】図７は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を示す断面図である。

【図8】図８は、図１に示されたカセット管理システムのシーケンス図の一例である。

【図9】図９は、実施形態の変形例に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0012】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図１は、実施形態に係る収容カセットが用いられるカセット管理システムの構成例を示す図である。図２は、図１に示されたカセット管理システムの構成例のブロック図である。図３は、図１に示されたカセット管理システムのサーバに記憶された加工情報の一例を示す図である。図４は、図１に示されたカセット管理システムの読み取り手段の表示部の表示状態の一例を示す平面図である。図５は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。図６は、図５に示された収容カセットの端末装置の表示部の表示状態の一例を示す平面図である。図７は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を示す断面図である。

【0013】

実施形態に係る収容カセット１は、板状の被加工物Ｗを複数収容可能な収容カセットであって、複数の被加工物Ｗを半導体製造工程で用いられる各種の加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ間で運搬するためのものである。

【0014】

実施形態では、被加工物Ｗは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物Ｗは、表面に形成された複数のデバイスＤが複数のストリートＳによって格子状に区画されている。被加工物Ｗは、図５に示すように、環状フレームＦの開口を覆い外周部が環状フレームＦに貼着された粘着テープＴに貼着されてフレームユニットＦＵを構成する。被加工物Ｗは、フレームユニットＦＵに構成された状態で収容カセット１内に収容される。なお、本発明では、被加工物Ｗとして、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。

【0015】

さらに、本発明の収容カセット１は、被加工物ＷをフレームユニットＦＵに構成することなく、直接収容しても良い。また、被加工物Ｗは、環状フレームＦの所定の位置に被加工物ＷのＩＤ（Identification）を示す印であるバーコードＢＣが付されている。なお、被加工物ＷがフレームユニットＦＵを構成しない場合には、バーコードＢＣは、被加工物ＷのデバイスＤが形成されていない外周余剰領域に付される。

【0016】

収容カセット１は、図１に示すカセットステーション１００に載置されて、被加工物Ｗが出し入れされる。収容カセット１は、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２上に載置されて、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃにより加工される。加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、被加工物Ｗを切削する切削装置、被加工物Ｗを研削する研削装置、被加工物Ｗを研磨する研磨装置、又は被加工物Ｗをレーザー加工するレーザー加工装置などの種々の被加工物Ｗに種々の加工を施す加工装置である。なお、図１には、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、三つ示されているが、これに限定されない。

【0017】

また、運搬先又は運搬元の所定の領域であるカセットステーション１００及び加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２には、収容カセット１の表示端末 の電源である電池３０を充電するための充電端子１０３（図１及び図７に示す）が設けられる。充電端子１０３には、電力供給源である商用電源１０４からの交流電流がＡＣ−ＤＣコンバータにより変換された直流電流が供給される。また、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２には、カセット載置部１０２上に載置された収容カセット１の図示しない通信用端子に接続して、通信用端子に加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤ（Identification）を示す情報を送信する図示しない送信用端子が設けられている。被加工物Ｗは、予め定められた順番に従って複数の加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに順に運搬され、運搬された加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃにおいて各種の加工が順に行われる。

【0018】

収容カセット１は、図１及び図２に示すカセット管理システム２００により管理される。カセット管理システム２００は、収容カセット１を運搬すべき加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを表示するシステムである。カセット管理システム２００は、図１及び図２に示すように、管理入力装置２１０と、サーバ２２０と、読み取り手段２３０と、収容カセット１とを備える。

【0019】

管理入力装置２１０は、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが設けられる被加工物Ｗの加工工場の建物内に配置され、加工責任者や管理者などがサーバ２２０に図３に示す加工情報ＰＪを入力するものである。加工情報ＰＪは、図３に示すように、被加工物ＷのＩＤと、収容カセット１のＩＤ（Identification）と、工程情報ＫＪとを対応付けている。収容カセット１のＩＤは、対応付けられた被加工物Ｗを収容する収容カセット１のＩＤを示している。工程情報ＫＪは、対応付けられた被加工物Ｗが運搬される複数の加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを、運搬される加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの順番に従って示している。

【0020】

実施形態において、加工情報ＰＪは、ＩＤが「０００１」の被加工物Ｗ及びＩＤが「０００２」の被加工物ＷをＩＤが「０００１」の収容カセット１に収容し、ＩＤが「０００１」の被加工物Ｗ及びＩＤが「０００２」の被加工物ＷをＩＤが「０００１」の加工装置１０１ａとＩＤが「０００２」の加工装置１０１ｂとＩＤが「０００３」の加工装置１０１ｃに順に運搬することを示している。また、実施形態において、加工情報ＰＪは、ＩＤが「Ｎ」の被加工物ＷをＩＤが「ｎ」の収容カセット１に収容し、ＩＤが「Ｎ」の被加工物ＷをＩＤが「０００２」の加工装置１０１ｂとＩＤが「０００１」の加工装置１０１ａとＩＤが「０００３」の加工装置１０１ｃに順に運搬することを示している。

【0021】

管理入力装置２１０は、インターネット３００を介してサーバ２２０に接続し、表示部２１１と、入力部２１２と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２１３と、記憶部２１４とを備えている。表示部２１１は、入力する加工情報ＰＪなどを表示する。表示部２１１は、液晶ディスプレイのようなフラットパネルディスプレイにより構成される。入力部２１２は、加工情報ＰＪに被加工物Ｗ、収容カセット１及び加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを入力するためのものである。入力部２１２は、キーボード、タッチパネル、及びマウスの少なくとも一つにより構成される。

【0022】

記憶部２１４は、加工情報ＰＪを入力するプログラム等を保存している。記憶部２１４は、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリにより構成される。ＣＰＵ２１３は、インターネット３００を介してサーバ２２０に接続している。ＣＰＵ２１３は、入力部２１２により入力された加工情報ＰＪをインターネット３００経由でサーバ２２０に送信し、サーバ２２０のＤＢ２２１に記憶する。

【0023】

サーバ２２０は、加工工場又は加工メーカーの建物内に設置され、インターネット３００を介して管理入力装置２１０に接続している。サーバ２２０及び管理入力装置２１０は、インターネット３００を介して無線送受信機２２５に接続している。サーバ２２０は、加工情報ＰＪを管理している。サーバ２２０は、ＤＢ（Database）２２１と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２２２とを備えている。ＤＢ２２１は、加工情報ＰＪを記憶している。サーバ２２０のＣＰＵ２２２は、読み取り手段２３０が読み取った被加工物ＷのＩＤを受信すると、ＤＢ２２１に記憶された加工情報ＰＪを検索し、受信したＩＤの被加工物Ｗに対応した収容カセット１のＩＤと、工程情報ＫＪを抽出する。サーバ２２０のＣＰＵ２２２は、受信したＩＤの被加工物Ｗに対応した収容カセット１のＩＤを読み取り手段２３０に送信し、工程情報ＫＪを受信したＩＤの被加工物Ｗに対応した収容カセット１の端末装置２０に送信する。

【0024】

読み取り手段２３０は、被加工物Ｗに付されたバーコードＢＣを読み取るものである。読み取り手段２３０は、バーコードリーダにより構成される。読み取り手段２３０は、無線送受信機２３１に接続している。読み取り手段２３０は、液晶表示装置により構成された表示部２３２と、表示部２３２などの動作を制御する図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）とを備える。読み取り手段２３０は、読み取った被加工物ＷのＩＤを示す情報を、無線送受信機２３１，２２５と、インターネット３００を介してＤＢ２２１に送信する。読み取り手段２３０は、読み取ったＩＤの被加工物Ｗを収容する収容カセット１のＩＤを示す情報を、ＤＢ２２１、インターネット３００、無線送受信機２２５，２３１を介して受信し、図４に示すように、表示部２３２に表示する。

【0025】

収容カセット１は、板状の被加工物Ｗを複数収容して運搬するためのものである。収容カセット１は、図５に示すように、対向する一対の側壁２ａ，２ｂと、一対の側壁２ａ，２ｂの下端同士を連結する下端連結壁３と、一対の側壁２ａ，２ｂの上端同士を連結する上端連結壁４と、一対の側壁２ａ，２ｂと下端連結壁３と上端連結壁４とに連なる図示しない奥壁とを備えて、箱状に形成される。収容カセット１は、一対の側壁２ａ，２ｂと下端連結壁３と上端連結壁４とで囲まれて構成される出入口５を通して被加工物Ｗが出し入れされる。

【0026】

収容カセット１は、一対の側壁２ａ，２ｂ間に収容する。収容カセット１は、互いに対をなすガイドレール１０，１１が一対の側壁２ａ，２ｂの内側に複数対形成される。互いに対をなすガイドレール１０，１１は、互いに間隔をあけて対向し、互いに同じ高さとなる位置に配置されている。ガイドレール１０，１１は、水平方向と平行に直線状に延びている。複数対のガイドレール１０，１１は、鉛直方向に間隔をあけて配置されている。複数対のガイドレール１０，１１の鉛直方向の間隔は、環状フレームＦ及び被加工物Ｗの厚みよりも若干大きい。収容カセット１は、図７に示すように、互いに対をなすガイドレール１０，１１上に被加工物Ｗを載置して、複数の被加工物Ｗを収容する。

【0027】

また、収容カセット１は、端末装置２０を備える。端末装置２０は、タブレット端末により構成される。端末装置２０は、収容カセット１の外表面に取り付けられている。実施形態において、端末装置２０は、上端連結壁４の上面に取り付けられている。

【0028】

端末装置２０は、無線送受信機２１と、制御プログラムを実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）２２と、制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）２３と、ＣＰＵ２２の作業領域として使用されるＲＡＭ（Random Access Memory）２４と、ＣＰＵ２２により情報が書き込まれる不揮発性メモリ２５と、表示手段である表示部２６とを少なくとも備える。

【0029】

無線送受信機２１は、収容カセット１が収容した被加工物Ｗの運搬先情報である工程情報ＫＪを受信する受信手段である。無線送受信機２１は、ＤＢ２２１が送信した工程情報ＫＪを受信する。ＣＰＵ２２は、無線送受信機２１が受信した工程情報ＫＪを不揮発性メモリ２５に書き込む。ＣＰＵ２２は、通信用端子に接続しており、収容カセット１が載置されたカセット載置部１０２から加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを示す情報が入力する。ＣＰＵ２２は、端末装置２０の動作を制御する。表示部２６は、液晶表示装置により構成される。表示部２６は、図６に示すように、無線送受信機２１が受信した運搬先情報である工程情報ＫＪの次に収容カセット１が運搬される加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを表示する。

【0030】

また、端末装置２０は、図７に示すように、無線送受信機２１、表示部２６、ＣＰＵ２２及びＲＡＭ２４を駆動する充電可能な電池３０と、電池３０を充電可能な充電機３１とを備える。充電機３１は、収容カセット１がカセットステーション１００又はカセット載置部１０２に載置されると充電端子１０３に接続する接続端子３２が接続している。収容カセット１は、カセットステーション１００又はカセット載置部１０２に載置されると、電池３０と商用電源１０４とが接続されて、充電端子１０３から接続端子３２を介して充電機３１に直流電流が供給される。そして、電池３０が充電される。収容カセット１がカセットステーション１００又はカセット載置部１０２から取り外されると、充電機３１は、電池３０の充電を停止する。

【0031】

次に、前述した構成のカセット管理システム２００の動作を図面に基づいて説明する。図８は、図１に示されたカセット管理システムのシーケンス図の一例である。

【0032】

カセット管理システム２００は、被加工物Ｗを収容カセット１に収容して、複数の加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに順に運搬する際に、まず、オペレータが収容カセット１をカセットステーション１００に載置する。すると、収容カセット１の端末装置２０の電池３０が充電機３１により充電される。なお、カセット管理システム２００は、管理入力装置２１０から加工情報ＰＪがＤＢ２２１に入力されている。

【0033】

そして、オペレータが、収容カセット１から被加工物Ｗを取り出し、読み取り手段２３０を用いて被加工物Ｗに付されたバーコードＢＣを読み取る（ステップＳＴ１）。読み取り手段２３０のＣＰＵが、読み取ったバーコードＢＣが示す被加工物ＷのＩＤを示す情報を無線送受信機２３１から無線送受信機２２５に送信する（ステップＳＴ２）。そして、無線送受信機２２５が受信した被加工物ＷのＩＤを示す情報をインターネット３００を介してサーバ２２０が受信する（ステップＳＴ１１）。

【0034】

サーバ２２０のＣＰＵ２２２がＤＢ２２１に記憶された加工情報ＰＪを検索して、受信した被加工物ＷのＩＤに対応する収容カセット１のＩＤ及び工程情報ＫＪを抽出する（ステップＳＴ１２）。サーバ２２０のＣＰＵ２２２がインターネット３００を介して、無線送受信機２２５から無線送受信機２３１に向けて抽出した収容カセット１のＩＤを示す情報を送信するとともに、インターネット３００を介して、無線送受信機２２５から無線送受信機２１に向けて抽出した工程情報ＫＪを収容カセット１の端末装置２０に送信する（ステップＳＴ１３）。

【0035】

無線送受信機２３１が収容カセット１のＩＤを示す情報を受信し、受信した情報が示す収容カセット１のＩＤを読み取り手段２３０のＣＰＵに送信する（ステップＳＴ３）。読み取り手段２３０のＣＰＵは、図４に示すように、表示部２３２に収容カセット１のＩＤを表示する（ステップＳＴ４）。

【0036】

また、無線送受信機２１が工程情報ＫＪを受信すると、端末装置２０のＣＰＵ２２が工程情報ＫＪを不揮発性メモリ２５に記憶する（ステップＳＴ２１）。ＣＰＵ２２は、不揮発性メモリ２５に記憶した工程情報ＫＪを検索して、最初に収容カセット１が運搬される加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを抽出し、図６に示すように、抽出した加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを表示部２６に表示する（ステップＳＴ２２）。

【0037】

そして、オペレータが、表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに収容カセット１を運搬し、収容カセット１をカセット載置部１０２に載置する。このとき、端末装置２０のＣＰＵ２２は、表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２に収容カセット１が載置されたか否かを判定する（ステップＳＴ２３）。具体的には、端末装置２０のＣＰＵ２２は、通信用端子を介して入力した加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤが表示部２６に表示した加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤに一致すると、表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２に収容カセット１が載置されたと判定する。また、本発明では、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤ情報を送信する無線送信機があり、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに収容カセット１を位置付けると、収容カセット１が載置された加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを端末装置２０が受信しても良い。端末装置２０のＣＰＵ２２は、表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２に収容カセット１が載置されていないと判定する（ステップＳＴ２３：Ｎｏ）と、ステップＳＴ２３を繰り返すことで、オペレータに表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに収容カセット１を運搬することを促すこととなる。

【0038】

端末装置２０のＣＰＵ２２は、表示部２６に表示されたＩＤの加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２に収容カセット１が載置されたと判定する（ステップＳＴ２３：Ｙｅｓ）と、収容カセット１が載置された加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが最後の工程を行うものであるか否かを判定する（ステップＳＴ２４）。端末装置２０のＣＰＵ２２は、収容カセット１が載置された加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが最後の工程を行うものではないと判定する（ステップＳＴ２４：Ｎｏ）と、不揮発性メモリ２５に記憶した工程情報ＫＪを検索して、次に収容カセット１が運搬される加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＩＤを抽出して（ステップＳＴ２５）、ステップＳＴ２２に戻る。端末装置２０のＣＰＵ２２は、収容カセット１が載置された加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが最後の工程を行うものであると判定する（ステップＳＴ２４：Ｙｅｓ）と、カセットステーション１００を示す情報を表示部２６に表示する（ステップＳＴ２６）。そして、オペレータが、収容カセット１をカセットステーション１００に運搬して、収容カセット１の工程を終了する。

【0039】

以上のように、実施形態に係る収容カセット１は、加工責任者や管理者などが入力した運搬先情報である工程情報ＫＪを収容カセット１に取り付けられた端末装置２０の表示部２６に表示する。このために、収容カセット１は、収容カセット１自体に運搬先が表示されるため、オペレータが頻繁に交代しても、収容カセット１を誤った運搬先に運搬する恐れがないという効果を奏する。したがって、収容カセット１は、間違い無く所定の加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃに運搬されることができる。また、加工装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのカセット載置部１０２やカセットステーション１００に収容カセット１を載置することで端末装置２０の電池３０を充電可能であるので、表示部２６が表示できなくなる事を抑制することができる。

【0040】

〔変形例〕
本発明の実施形態の変形例に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図９は、実施形態の変形例に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。なお、図９において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。

【0041】

実施形態の変形例に係る収容カセット１−２は、図９に示すように、端末装置２０を一方の側壁２ｂの外表面に取り付けている。変形例に係る収容カセット１−２は、実施形態と同様に、加工情報ＰＪを収容カセット１に取り付けられた端末装置２０の表示部２６に表示するために、収容カセット１を誤った運搬先に運搬する恐れがなく、収容カセット１−２を上下で積み重ねた状態でも、端末装置２０の表示部２６を視認することができるという効果を奏する。

【0042】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、カセット管理システム２００は、サーバ２２０のＤＢ２２１に加工情報ＰＪを記憶することなく、管理入力装置２１０と読み取り手段２３０及び端末装置２０がインターネット３００を介することなく、無線送受信機２１，２２５，２３１を介して情報を送受信してもよい。また、カセット管理システム２００は、サーバ２２０に被加工物Ｗの工程情報ＫＪを記憶した例を挙げたが、被加工物Ｗに関する工程情報ＫＪが記載された指示書等がある場合、その内容を読み取り手段２３０で読み取って受信手段である無線送受信機２１に送信し、その工程情報ＫＪを表示手段である表示部２６で表示させても良い。

【符号の説明】

【0043】

１，１−２ 収容カセット
２ａ，２ｂ 側壁
１０，１１ ガイドレール
２１ 無線送受信機（受信手段）
２６ 表示部（表示手段）
３０ 電池
１００ カセットステーション（所定の領域）
１０２ カセット載置部（所定の領域）
１０４ 商用電源（電力供給源）
ＫＪ 工程情報（運搬先情報）
Ｗ 被加工物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】