特許 6585961 搬送機構及び加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6585961

(24)【登録日】2019年9月13日

(45)【発行日】2019年10月2日

(54)【発明の名称】搬送機構及び加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20190919BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20190919BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20190919BHJP

   B23Q 7/04 20060101ALI20190919BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20190919BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20190919BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/07 F

   B24B41/06 A

   B23Q7/04 B

   B23Q7/04 A

   H01L21/304 622L

   H01L21/68 F

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-162427(P2015-162427)

(22)【出願日】2015年8月20日

(65)【公開番号】特開2017-41537(P2017-41537A)

(43)【公開日】2017年2月23日

【審査請求日】2018年6月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100132067

【弁理士】

【氏名又は名称】岡田 喜雅

(74)【代理人】

【識別番号】100137903

【弁理士】

【氏名又は名称】菅野 亨

(74)【代理人】

【識別番号】100150304

【弁理士】

【氏名又は名称】溝口 勉

(72)【発明者】

【氏名】関口 雄也

(72)【発明者】

【氏名】鳥飼 剛史

(72)【発明者】

【氏名】岩田 秀夫

【審査官】 井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１７６０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１１５７２７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２３Ｑ ７／０４

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

円板状ワークの外周を挟持してチャックテーブルに円板状ワークを搬送する搬送機構であって、
円板状ワークの外周に接触する少なくとも２つの固定爪と、
該２つの固定爪を結ぶ線の垂線方向に移動する１つの移動爪と、
該垂線方向に該移動爪を移動させる爪移動手段と、を備え、
該固定爪は、円板状ワークの接線方向に延びる長尺体で形成され、円板状ワークの外周に接触して円板状ワークの径方向の移動を規制する平坦面を有し、
平面視でハの字状に配置され該平坦面を向い合わせた該２つの固定爪と、該平坦面間が狭まる方向に移動する該１つの移動爪とで円板状ワークの外周を挟持する搬送機構。

【請求項2】

請求項１に記載の搬送機構と、円板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される円板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該搬送機構は、該爪移動手段により移動した該移動爪の位置を計測するスケールを備え、
該スケールが計測した値から円板状ワーク径違いによる円板状ワークの中心の変化量（Ｄ_Ｏ）を、該移動爪が移動した距離（Ｄ_Ａ）と該２つの固定爪の該平坦面に対する円板状ワークの接触位置と円板状ワークの中心位置が成す角（θ）とを用い、
Ｄ_Ｏ＝Ｄ_Ａ／（１＋ｃｏｓ（θ／２））
の式で算出する算出部を更に備え、
該算出部が算出した該変化量を用いて該チャックテーブルと該搬送機構とを相対的に位置調節させ該チャックテーブルの中心に円板状ワークを搬入する加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状ワークを搬送する搬送機構及び加工装置に関し、特に、円板状ワークの外周を保持して搬送するエッジクランプ式の搬送機構及び加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

エッジクランプ式の搬送機構を備えた加工装置では、円板状ワークの周囲で複数の保持爪が径方向に移動可能に構成されており、複数の保持爪を円板状ワークの外周に接触させることで円板状ワークが保持される（特許文献１又は特許文献２参照）。特許文献１に記載の搬送機構では、３つの保持爪がそれぞれ独立した駆動機構によって円板状ワークの径方向に移動可能に構成されている。特許文献２に記載の搬送機構では、３つの保持爪がリンク機構によって連結され、１つの駆動機構によって円板状ワークの径方向に３つの保持爪が移動可能に構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４−１１０３６４号公報

【特許文献2】特開２００７−２５８４５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１及び特許文献２では、３つの保持爪を全て可動な構成としたため、円板状ワークを保持した際に、それぞれの移動誤差に起因した中心位置のずれが生じてしまうという問題があった。

【0005】

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、中心位置をずらすことなく円板状ワークを保持することができる搬送機構及び加工装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の搬送機構は、円板状ワークの外周を挟持してチャックテーブルに円板状ワークを搬送する搬送機構であって、円板状ワークの外周に接触する少なくとも２つの固定爪と、２つの固定爪を結ぶ線の垂線方向に移動する１つの移動爪と、垂線方向に移動爪を移動させる爪移動手段と、を備え、固定爪は、円板状ワークの接線方向に延びる長尺体で形成され、円板状ワークの外周に接触して円板状ワークの径方向の移動を規制する平坦面を有し、平面視でハの字状に配置され平坦面を向い合わせた２つの固定爪と、平坦面間が狭まる方向に移動する１つの移動爪とで円板状ワークの外周を挟持する。

【0007】

この構成によれば、２つの固定爪に対して単一の移動爪を移動させることにより、円板状ワークの外周を挟持すると共に、搬送機構に対して円板状ワークの中心を位置合わせすることができる。このため、複数の移動爪で円板状ワークを挟持する構成に比べて、個々の移動爪の移動誤差に起因する位置ずれを防止することができる。

【0008】

また、本発明の加工装置は、上記した搬送機構と、円板状ワークを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持される円板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、搬送機構は、爪移動手段により移動した移動爪の位置を計測するスケールを備え、スケールが計測した値から円板状ワーク径違いによる円板状ワークの中心の変化量（Ｄ_Ｏ）を、移動爪が移動した距離（Ｄ_Ａ）と２つの固定爪の平坦面に対する円板状ワークの接触位置と円板状ワークの中心位置が成す角（θ）とを用い、Ｄ_Ｏ＝Ｄ_Ａ／（１＋ｃｏｓ（θ／２））の式で算出する算出部を更に備え、算出部が算出した変化量を用いてチャックテーブルと搬送機構とを相対的に位置調節させチャックテーブルの中心に円板状ワークを搬入する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、複数の固定爪に対して単一の移動爪を移動させることにより、中心位置をずらすことなく円板状ワークを保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本実施の形態に係る切削装置の模式図である。

【図2】本実施の形態に係る搬送機構の上面模式図である。

【図3】本実施の形態に係る搬送機構の保持動作を示す模式図である。

【図4】固定爪及び移動爪と円板状ワークとの位置関係を示す模式図である。

【図5】本実施の形態に係る搬送機構を用いてロボットハンドから円板状ワークを搬送するときの模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図１及び図２を参照して、本実施の形態に係る加工装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の模式図である。図２は、本実施の形態に係る搬送機構の上面模式図である。なお、図２においては、説明の便宜上、一部の構成を省略している。また、本実施の形態では、加工装置として、エッジトリミング加工を実施する切削装置を例に挙げて説明するが、この構成に限定されない。例えば、研削装置等、他のタイプの加工装置にも適用可能である。

【0012】

図１に示すように、本実施の形態に係る切削装置１は、チャックテーブル２に保持された円板状ワークＷの外周を切削手段３で切削して円板状ワークＷの外周の面取り部を除去する、いわゆるエッジトリミング加工を実施するように構成されている。また、切削装置１は、エッジクランプ式の搬送機構４によって円板状ワークＷの外周を挟持し、チャックテーブル２に対して円板状ワークＷを搬入出可能に構成されている。

【0013】

加工対象となる円板状ワークＷは、円形状を有しており、例えば、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハで構成される。なお、円板状ワークＷは、上記構成に限定されず、セラミック、ガラス、サファイア系の光デバイスウエーハで構成されてもよい。

【0014】

チャックテーブル２は、円板状ワークＷの外径より僅かに大きい円形状に形成され、上面に円板状ワークＷを保持するように構成されている。チャックテーブル２の上面は、円板状ワークＷの下面を保持する保持面を構成し、保持面には図示しない吸引源が接続されている。保持面に生じる負圧により、円板状ワークＷを吸引保持することができる。

【0015】

また、チャックテーブル２は、装置から円板状ワークＷを搬出する際に、円板状ワークＷの外周を保持面から浮上させる浮上機構（不図示）を備えている。浮上機構によって円板状ワークＷの外周が保持面から浮上されることにより、後述する搬送機構４で円板状ワークＷの外周を保持して搬送することが可能になる。さらにチャックテーブル２は、図示しない駆動モータにより、保持面の中心を軸に回転可能構成される。

【0016】

切削手段３は、チャックテーブル２に保持された円板状ワークＷを切削加工するものであり、スピンドル３０の先端に切削ブレード３１を回転可能に装着して構成される。切削ブレード３１は、例えば、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドで固めた円板状に形成されている。

【0017】

搬送機構４は、円板状ワークＷの外周を挟持してチャックテーブル２に対して円板状ワークＷを搬入出する、いわゆるエッジクランプ式の搬送機構である。図１及び図２に示すように、搬送機構４は、複数（本実施の形態では３つ）の保持爪４０で円板状ワークＷの外周を挟持するように構成されている。

【0018】

３つの保持爪４０は、円板状のベースプレート４１の外周側において、径方向に等間隔で設けられている。３つの保持爪４０の内、２つの保持爪４０は、ベースプレート４１に対して一体的に固定された固定爪４２であり、残り１つの保持爪４０は、円板状ワークＷの径方向に沿って移動可能な移動爪４３である。なお、固定爪４２及び移動爪４３は、移動可能か否かのみが異なるものであり、形状及びその他の構成は共通するものとする。このため、同一名称の構成は同一の符号を付し、その説明は適宜省略する。また、２つの固定爪４２と１つの移動爪４３の位置関係についての詳細は後述する。

【0019】

保持爪４０は、鉛直方向に延びる円柱部４４の下端に円板状ワークＷの外周を支持する外周支持部４５を設けて構成される。外周支持部４５は側面視において矩形形状を有するブロック体で形成されている。外周支持部４５は、円板状ワークＷの径方向内側において鉛直方向の外面を規定する平坦面４６と、平坦面４６の下端から径方向内側に向かって下方に傾斜する傾斜面４７とを有している。

【0020】

各保持爪４０の平坦面４６が円板状ワークＷの外周に接触することで円板状ワークＷの径方向の移動が規制され、円板状ワークＷの中心が位置合わせされる。また、傾斜面４７が円板状ワークＷの面取り部（Ｒ部）下方に接触することで円板状ワークＷの下方への移動が規制され、円板状ワークＷの落下が防止される。

【0021】

２つの固定爪４２は、ベースプレート４１の所定位置に形成された穴に円柱部４４を挿入し、ベースプレート４１の下面側において、平坦面４６及び傾斜面４７が径方向内側に向くように固定される。また、ベースプレート４１には、移動爪４３の移動をガイドするガイド穴４１ａが、移動爪４３を取り付ける位置に形成されている。ガイド穴４１ａは、ベースプレート４１の径方向に長い長穴形状を有しており、短径の長さが円柱部４４の外径と略同一に設定されている。移動爪４３は、ガイド穴４１ａに円柱部４４を挿入し、ベースプレート４１の下面側において、平坦面４６及び傾斜面４７が径方向内側に向くように取り付けられる。

【0022】

ここで、図２を参照して、２つの固定爪４２と１つの移動爪４３の位置関係について説明する。上記したように、３つの保持爪４０（２つの固定爪４２及び１つの移動爪４３）は、径方向に等間隔（１２０°間隔）で設けられている。より具体的には、図２に示すように、移動爪４３が、２つの固定爪４２を結ぶ直線Ｌ１に対する垂直二等分線Ｌ２上に配置されている。また、ガイド穴４１ａの長手方向が垂直二等分線Ｌ２に沿っているため、移動爪４３は、直線Ｌ１の垂線方向に移動可能に構成される。また、詳細は後述するが、搬送機構４の移動方向は、移動爪４３の移動方向、すなわち、垂直二等分線Ｌ２に沿う方向に設定される。

【0023】

図１に戻り、搬送機構４は、更に、移動爪４３を移動させる爪移動手段４８と、爪移動手段４８によって移動した移動爪４３の位置を計測するスケール４９とを備えている。爪移動手段４８は、例えば、駆動モータやエアシリンダ等、各種アクチュエータで構成される。スケール４９は、予め設定された移動爪４３の原位置座標に基づいて、移動爪４３の移動量に応じて現在位置座標を計測する。

【0024】

また、切削装置１は、装置各部を統括制御する制御手段を備えている。制御手段は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、例えば、搬送機構４の動作制御用のプログラムが記憶されている。

【0025】

制御手段は、搬送機構４が通常の円板状ワークＷとは外径の異なる円板状ワークＷを挟持した際に、円板状ワークＷの中心位置の変化量を算出する算出部５を有している。算出部５は、スケール４９が計測した移動爪４３の位置に基づいて円板状ワークＷの中心位置の変化量を算出する。中心位置の変化量の算出方法については後述する。なお、算出部５は、切削装置１（の制御手段）に限らず、搬送機構４に備えられる構成としてもよい。

【0026】

このように構成される切削装置１では、搬送機構４が２つの固定爪４２と１つの移動爪４３を用いて円板状ワークＷの外周を挟持することにより、搬送機構４に対する円板状ワークＷの中心が位置合わせされる（図１Ａ参照）。搬送機構４は、チャックテーブル２に対して円板状ワークＷの中心を位置合わせした状態で、円板状ワークＷをチャックテーブル２の保持面上に載置する（図１Ｂ参照）。

【0027】

そして、チャックテーブル２に吸引保持された円板状ワークＷの外周部分に、回転する切削ブレード３１を接触させてチャックテーブル２を一回転させることにより、エッジトリミング加工が実施される。この結果、後の工程で円板状ワークＷが薄化されたときに円板状ワークＷの外周がナイフエッジ形状となることがなく、円板状ワークＷの欠けを防止することができる。

【0028】

ところで、一般的なエッジクランプ式の搬送機構は、３つの保持爪を全て可動に構成している。例えば、各保持爪に固有の駆動機構を設けて保持爪を別々に移動可能に構成したり、各保持爪をリンク機構で接続して単一の駆動機構により各保持爪を移動可能に構成することが考えられる。しかしながら、これらの場合、保持爪を可動にするための構成が増える結果、搬送機構の重量が増加してしまう。さらには、複数の保持爪を可動な構成とした結果、各保持爪の移動誤差に起因した円板状ワークの位置ずれが生じてしまう。

【0029】

また、円板状ワークをチャックテーブルに搬入した後には、撮像カメラによってチャックテーブルに対する円板状ワークの中心の位置ずれが無いかどうか確認される。ここで、チャックテーブルに対する円板状ワークの中心の位置ずれがあった場合には、この位置ずれを補正するために再度搬送機構によって円板状ワークを置き直す必要がある。このため、余計に搬送時間がかかってしまうという問題もある。このように、円板状ワークの位置ずれに起因して様々な問題が発生するおそれがある。

【0030】

そこで、本実施の形態では、３つの保持爪４０の内、２つの保持爪４０（固定爪４２）を固定し、残り１つの保持爪４０（移動爪４３）を移動可能な構成とした。これにより、移動爪４３を可動とするための構成を単一の駆動機構（爪移動手段４８）で実現することができ、搬送機構４の重量を増やすことなく簡易な構成でエッジクランプ搬送が可能になる。また、２つの固定爪４２と単一の移動爪４３でエッジクランプを実現したことにより、複数の移動爪を用いた場合の移動誤差に起因する円板状ワークＷの位置ずれを防止することができる。

【0031】

次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係る搬送機構の搬送動作、特に、外径の大きさが異なる円板状ワークをエッジクランプする際の動作について詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係る搬送機構の保持動作を示す模式図である。図３Ａは、移動爪が径方向外側の退避位置に位置付けられた状態を示している。図３Ｂは、移動爪が、基準となる円板状ワークを挟持した第１の挟持位置に位置付けられた状態を示している。図３Ｃは、移動爪が、基準となる円板状ワークと外形寸法が異なる円板状ワークを挟持した第２の挟持位置に位置付けられた状態を示している。なお、図３では、仮置きテーブルからチャックテーブルに円板状ワークを搬送する場合について説明する。

【0032】

図４は、固定爪及び移動爪と円板状ワークとの位置関係を示す模式図である。なお、図４においては、説明の便宜上、３つの保持爪と円板状ワークのみ図示し、保持爪の傾斜面を構成する部分は省略している。また、図４においては、２つの固定爪を、円板状ワークの接線方向に延びる長尺体で形成している。機能としては、図１及び図２に示す固定爪と同一のため、同一の符号を付して説明する。

【0033】

図３Ａに示すように、円板状ワークＷは、円板状ワークＷの外径より小さい径を有する仮置きテーブル６上に載置されている。搬送機構４は、円板状ワークＷの上方に位置付けられ、移動爪４３はガイド穴４１ａの最外周側に位置付けられている。このときの移動爪４３の位置を退避位置（原位置）とする。退避位置では、移動爪４３の下端（より具体的には、傾斜面４７の最下縁部）が、搬送対象となる円板状ワークＷの外周より外側に位置付けられている。

【0034】

例えば、比較的外径の大きい円板状ワークＷを保持する場合、先ず、３つの保持爪４０の下端が円板状ワークＷの下方に位置付けられるように搬送機構４の高さが調整される。そして、移動爪４３が垂直二等分線Ｌ２（図２参照）に沿って径方向内側に向かって移動され、移動爪４３の平坦面４６が円板状ワークＷの外周に接触する。更に移動爪４３が移動されると、円板状ワークＷは移動爪４３によって固定爪４２側に押し込まれる。

【0035】

そして、図３Ｂに示すように、円板状ワークＷの外周が２つの固定爪４２の平坦面４６に接触したところで移動爪４３の移動が停止する。これにより、円板状ワークＷは、３つの保持爪４０（２つの固定爪４２及び１つの移動爪４３）によって外周が挟持（エッジクランプ）される。このため、円板状ワークＷの径方向の移動が規制される結果、搬送機構４に対する円板状ワークＷの中心が位置合わせされる。

【0036】

また、円板状ワークＷの径方向の移動が規制された状態で搬送機構４が上昇されると、円板状ワークＷは自重によって保持爪４０に対して下降し、面取り部下方に傾斜面４７が接触することで円板状ワークＷの下方への移動が規制される。これにより、円板状ワークＷの落下が防止される。

【0037】

ここで、円板状ワークＷの中心が位置合わせされたときの移動爪４３の位置を第１の挟持位置Ａ１（図４参照）とする。スケール４９は、第１の挟持位置Ａ１における移動爪４３の位置を計測する。スケール４９によって計測された移動爪４３の位置は、制御手段に記憶される。また、このときの円板状ワークＷの外径が、基準ワーク外径として設定される。

【0038】

ところで、円板状ワークＷは、個体差によりその外径寸法に所定のバラツキを有している。この円板状ワークＷの寸法誤差により、エッジクランプ搬送する際の位置合わせにずれが生じてしまうことになる。本実施の形態では、円板状ワークＷの外径寸法が異なる場合であっても、その誤差を吸収して適切に円板状ワークＷの中心を位置合わせすることが可能になっている。

【0039】

ここで、図３Ｃ及び図４を参照して、異なる外径の円板状ワークＷａをエッジクランプ搬送する場合について説明する。図３Ｃに示すように、円板状ワークＷより外径の小さい円板状ワークＷａをエッジクランプする場合、図３Ａ及び図３Ｂと同様にして移動爪４３を径方向内側に移動させ、各平坦面４６を円板状ワークＷａの外周に接触させる。ここで、円板状ワークＷａの中心が位置合わせされたときの移動爪４３の位置を第２の挟持位置Ａ２（図４参照）とする。スケール４９は、第２の挟持位置Ａ２における移動爪４３の位置を計測する。

【0040】

算出部５は、図３Ｂにおいて予め計測された第１の挟持位置Ａ１と第２の挟持位置Ａ２との差Ｄ_Ａから、円板状ワークＷに対する円板状ワークＷａの中心位置の変化量Ｄ_Ｏを算出する。具体的には、次式（１）で表される。
（１）
Ｄ_Ｏ＝Ｄ_Ａ／（１＋ｃｏｓ（θ／２））

【0041】

式（１）で示すＤ_Ｏは、図４に示す第１の挟持位置Ａ１における円板状ワークＷの中心位置Ｏ１と、第２の挟持位置Ａ２における円板状ワークＷａの中心位置Ｏ２との距離（上記した中心位置の変化量Ｄ_Ｏ）を表している。また、Ｄ_Ａは、第１の挟持位置Ａ１と第２の挟持位置Ａ２との距離（上記した差Ｄ_Ａ）である。さらに、θは、２つの固定爪４２の平坦面４６に対する円板状ワークＷの接触位置と円板状ワークＷの中心位置Ｏ１が成す角を表している。このように、角θと差Ｄ_Ａから円板状ワークＷに対する円板状ワークＷａの中心位置の変化量Ｄ_Ｏを算出することができる。なお、本実施の形態では、θ＝１２０°であるため、式（１）Ｄ_Ｏ＝２Ｄ_Ａ／３として、変化量Ｄ_Ｏ算出することができる。

【0042】

式（１）で算出された変化量Ｄ_Ｏは、チャックテーブル２に対して円板状ワークＷを搬入する際の位置ずれの原因となる。そこで、本実施の形態に係る搬送機構４は、算出部５が算出した変化量Ｄ_Ｏを用いて、チャックテーブル２に対して相対的に位置調節される。これにより、チャックテーブル２の中心と円板状ワークＷの中心とが位置合わせされた状態で、円板状ワークＷをチャックテーブル２に搬送することができる。

【0043】

特に、本実施の形態では、上記したように、搬送機構４の移動方向が、移動爪４３の移動方向、すなわち、垂直二等分線Ｌ２に沿う方向に設定されている。このため、チャックテーブル２に対する搬送機構４の位置調節量を上記した変化量Ｄ_Ｏと同じ値とすることができる。これにより、搬送機構４の位置調節量の算出工程を簡略化することが可能になる。

【0044】

以上のように、本実施の形態に係る切削装置１によれば、２つの固定爪４２に対して単一の移動爪４３を移動させることにより、円板状ワークＷの外周を保持すると共に、搬送機構４に対して円板状ワークＷの中心を位置合わせすることができる。このため、複数の移動爪で円板状ワークＷを挟持する構成に比べて、個々の移動爪の移動誤差に起因する位置ずれを防止することができる。また、異なる外径の円板状ワークＷであっても、円板状ワークＷの中心の変化量から、チャックテーブル２に対する搬送機構４の移動量を調節することができる。よって、異なる外径の円板状ワークＷであっても適切に中心位置を合わせた状態でチャックテーブル２に搬送することができる。

【0045】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0046】

例えば、上記した実施の形態では、搬送機構４が、３つの保持爪４０（２つの固定爪４２及び１つの移動爪４３）で円板状ワークＷの外周を挟持する構成としたが、この構成に限定されない。３つ以上の固定爪４２で搬送機構４が構成されてもよい。また、２つの固定爪４２を一体的に構成し、１つの固定爪としてもよい。すなわち、円板状ワークＷの外周に対して固定爪の接触位置が２つ以上あれば、固定爪の数は特に限定されない。

【0047】

また、上記した実施の形態では、３つの保持爪４０が径方向に等間隔（１２０°間隔）で設けられる構成としたが、この構成に限定されない。隣接する２つの保持爪４０と円板状ワークＷの中心位置との成す角度が１８０°を越えなければ、保持爪４０は、どのような角度間隔で設けられてもよい。

【0048】

また、上記した実施の形態では、異なる外径の円板状ワークとして、基準となる円板状ワークＷより外径寸法の小さい円板状ワークＷａとして説明したが、この構成に限定されない。基準となる円板状ワークＷより外径寸法の大きい円板状ワークであってもよい。

【0049】

また、上記した実施の形態では、搬送機構４の移動方向が移動爪４３の移動方向と一致する構成としたが、この構成に限定されない。搬送機構４の移動方向は、移動爪４３の移動方向と一致しなくてもよい。例えば、チャックテーブル２の移動方向を移動爪４３の移動方向と一致させてもよい。この場合、搬送機構４側では位置調整をせず、チャックテーブル２を搬送機構４に対して直線移動させることで位置調整が可能である。このときの搬送機構４に対するチャックテーブル２の位置調整量を上記した変化量Ｄ_Ｏとすることで、チャックテーブル２の位置調節量の算出工程を簡略化することが可能になる。

【0050】

また、上記した実施の形態では、搬送機構４が直線的に移動する（平行移動する）構成としたが、この構成に限定されない。例えば、搬送機構４が旋回移動するように構成されてもよい。この場合、搬送機構４を旋回させて搬送機構４がチャックテーブル２の上方に位置付けられたときの移動爪４３の移動方向を、チャックテーブル２の移動方向に一致させるとよい。

【0051】

また、上記した実施の形態では、異なる外径の円板状ワークの例として、円板状ワークの個体差による寸法誤差を有する円板状ワークを挙げて説明したが、この構成に限定されない。異なる外径の円板状ワークは、異なる規格のワーク径を有する円板状ワークであってもよい。例えば、図４に示すように、基準となる円板状ワークＷに対して、規格の異なる小さいワーク径を有する円板状ワークＷｂであってもよい。この場合、円板状ワークＷの外周に対する固定爪４２の接触位置から、移動爪４３と反対側の接線方向に向かって固定爪４２を延長することが好ましい。これにより、小さいワーク径を有する円板状ワークＷｂであっても、エッジクランプが可能になる。

【0052】

また、上記した実施の形態では、仮置きテーブル６に載置された円板状ワークＷをチャックテーブル２に搬送する場合について説明したが、この構成に限定されない。例えば、図５に示すように、ロボットハンド７に保持された円板状ワークＷをチャックテーブル２に搬送するようにしてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0053】

以上説明したように、本発明は、中心位置をずらすことなく円板状ワークを保持することができるという効果を有し、特に、円板状ワークの外周を保持して搬送するエッジクランプ式の搬送機構及び当該搬送機構を備えた加工装置に有用である。

【符号の説明】

【0054】

Ｗ 円板状ワーク
１ 切削装置（加工装置）
２ チャックテーブル
３ 切削手段（加工手段）
４ 搬送機構
４２ 固定爪
４３ 移動爪
４８ 爪移動手段
４９ スケール
５ 算出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】