特許6595568蒸発源装置及び蒸着装置

発明の名称　蒸発源装置及び蒸着装置

出願人　キヤノントッキ株式会社　（識別番号 591065413）

　　　　特許公開件数ランキング 1022 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 580 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6595568

公報発行日　2019年10月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6595568

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