特許6596419光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム

発明の名称　光学装置用支持装置、光学装置及びリソグラフィーシステム

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 492 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6596419

公報発行日　2019年10月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6596419

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