特許第6597065号(P6597065)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6597065炭化珪素単結晶、炭化珪素単結晶ウェハ、炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハ、電子デバイス
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