特許6600074窒化ケイ素膜を堆積するための組成物及び方法

発明の名称　窒化ケイ素膜を堆積するための組成物及び方法

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 841 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 808 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6600074

公報発行日　2019年10月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6600074

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