特許6603530プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理装置の制御方法

発明の名称　プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理装置の制御方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 24 位（177件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 23 位（173件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6603530

公報発行日　2019年11月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6603530

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