特許6604134ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法、ならびに該マスクブランク用の反射層付基板およびその製造方法

発明の名称　ＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法、ならびに該マスクブランク用の反射層付基板およびその製造方法

出願人　旭硝子株式会社　（識別番号 44）

　　　　特許公開件数ランキング 117 位（269件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 66 位（353件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6604134

公報発行日　2019年11月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6604134

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