特許6604239静電チャック装置

発明の名称　静電チャック装置

出願人　住友大阪セメント株式会社　（識別番号 183266）

　　　　特許公開件数ランキング 643 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（11件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6604239

公報発行日　2019年11月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6604239

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