特許 6604651 ペリクル収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6604651

(24)【登録日】2019年10月25日

(45)【発行日】2019年11月13日

(54)【発明の名称】ペリクル収納容器

(51)【国際特許分類】

   G03F 1/66 20120101AFI20191031BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20191031BHJP

【ＦＩ】

   G03F1/66

   B65D85/30

【請求項の数】1

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2016-30677(P2016-30677)

(22)【出願日】2016年2月22日

(65)【公開番号】特開2017-151130(P2017-151130A)

(43)【公開日】2017年8月31日

【審査請求日】2017年12月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002060

【氏名又は名称】信越化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100159433

【弁理士】

【氏名又は名称】沼澤 幸雄

(72)【発明者】

【氏名】関原 一敏

【審査官】 今井 彰

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−１２８６３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１２９４５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３２６６３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０５２５５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１９０９９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３０２３６１２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００６−１８４４４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０８５４３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、２１／３０

Ｇ０３Ｆ １／００−１／８６

Ｂ６５Ｄ ８５／３０−８５／４８、８５／８６、８５／９０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ペリクル収納容器本体と、該ペリクル収納容器本体に嵌合して密閉する蓋体とから構成され、セパレータの無いペリクルを収納するペリクル収納容器であって、前記ペリクル収納容器本体上には、マスク粘着層塗布領域及び未塗布領域を有するペリクルフレームを支持するペリクルフレーム支持手段と固定具保持手段が設置され、前記ペリクルフレーム支持手段は、前記ペリクルフレームのマスク粘着層未塗布領域を支持するとともに、前記固定具保持手段は、前記ペリクルフレームの外側面に設けられた溝に挿入される板状のフレーム固定具と嵌合する溝又は孔を有し、該フレーム固定具を略水平方向に移動可能に保持するとともに、前記フレーム固定具は、前記固定具保持手段を通過した後端側の一部が前記蓋体の内側に取り付けられた弾性体により上方向から押圧されてその位置が固定されるか、または前記固定具保持手段を通過した後端が前記蓋体の内面に取り付けられた弾性体に接触して、水平方向への移動が規制されることを特徴とするペリクル収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体デバイス、プリント基板、液晶ディスプレイあるいは有機ＥＬディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造或は液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単に「フォトマスク」と記述）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。

【0003】

そのため、これらの作業は、通常、クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいので、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けした後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せずにペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。

【0004】

このようなペリクルは、一般に、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、鉄鋼、ステンレス鋼、エンジニアリングプラスチックなどからなるペリクルフレームの上端面に貼り付けるか又は接着して構成されている。また、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられている。

【0005】

このセパレータは、通常、ＰＥＴ樹脂などの１００〜２００μm程度の薄いフィルム上に離型剤を塗布し、所望の形状に切断加工して使用されているが、そのフィルムの薄さに加え、その形状がフレームの外形とほぼ同じ枠状の形状をしているため、紐のようになって清浄に洗浄することが困難であるという問題がある。また、マスク粘着層への貼り付け等の作業上においても、その取り扱いが極めて不便であるという問題もある。さらに、ペリクルを容器から自動装置で取り出す際には、セパレータを剥がす工程が必要となるが、セパレータが薄いフィルム状であるために、その形状や挙動が不安定であり、自動装置で取り扱うには不向きであるという問題もある。

【0006】

このような問題のあるセパレータは、粘着剤を保護するだけのものであり、ペリクル使用時にはこれを剥がして廃棄される類のものであるため、セパレータ自体を使用しなければこのような問題は生じないことになる。

【0007】

そこで、本発明者らは、従来から、セパレータを使用しないペリクル及びこのペリクルを収納する収納容器を提案してきた（例えば、特許文献１、２参照）。これら特許文献１、２に記載のペリクル収納容器は、ペリクルフレームの外側にマスク粘着層が塗布されない未塗布領域を形成し、その未塗布領域をペリクル収納容器本体上に設けたペリクルフレーム支持手段で支持するとともに、ペリクルフレームの外側面に設けた非貫通孔にピンを挿入することでペリクルを固定するというものである（後述する比較例を参照）。そして、これらペリクル収納容器に収納するペリクルにはセパレータが使用されていないから、セパレータの剥離が不要であり、セパレータ剥離時にペリクル膜に接触するような懸念もなく、自動装置でペリクルを取り出すことが容易であるといった多大な利点がある。

【0008】

しかしながら、このようなペリクル収納容器であっても、その管理・運用の面で若干の問題があることが明らかになった。すなわち、例えば特許文献１のペリクル収納容器では、ペリクルは、その垂直方向がペリクルフレーム支持手段で支持され、その水平方向がフレーム外側面の孔に挿入されたピンにより規制されてペリクル収納容器上に固定されているため、ピンとフレーム外側面の孔が正確に対向していなかったり、ピンの軸方向の距離が設計通りになっていないと、ピンを孔に挿入することができず、ペリクルをしっかりと固定することができないという問題がある。

【0009】

また、大型のペリクル収納容器の場合は、ペリクル収納容器全体の製造誤差が大きく、それが樹脂製の場合には温度変化や吸湿による寸法変動も発生するため、ピンの取り付け位置を厳密に管理することが困難であるという問題がある。そのため、容器製作後の保管中にピンの位置の再調整が必要となったり、ペリクルの収納後の寸法変動によってピンとペリクルフレームとの間に齧りが出て発塵するという問題も生じることになる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００９−１２８６３５

【特許文献2】特開２０１１−３４０２０

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

本発明は、前記のような問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、セパレータの無いペリクルの収納容器であって、その経時変化や製造起因による寸法誤差の影響が小さく、その管理・運用が容易なペリクル収納容器を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明は、ペリクル収納容器本体と、ペリクル収納容器本体に嵌合して密閉する蓋体とから構成され、セパレータの無いペリクルを収納するペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体上には、マスク粘着層塗布領域及び未塗布領域を有するペリクルフレームを支持するペリクルフレーム支持手段と固定具保持手段が設置され、ペリクルフレーム支持手段は、ペリクルフレームのマスク粘着層未塗布領域を支持するとともに、固定具保持手段は、ペリクルフレームの外側面に設けられた溝に挿入される板状のフレーム固定具と嵌合する溝又は孔を有し、フレーム固定具を略水平方向に移動可能に保持するとともに、フレーム固定具は、前記固定具保持手段を通過した後端側の一部が蓋体の内側に取り付けられた弾性体により上方向から押圧されてその位置が固定されるか、または前記固定具保持手段を通過した後端が蓋体の内面に取り付けられた弾性体に接触して、水平方向への移動が規制されることを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、ペリクルフレームの外側面に設けられた溝に板状のフレーム固定具を挿入してペリクルを固定する他に、蓋体の内面又は内面に取り付けた弾性体によってフレーム固定具を押圧して固定するので、寸法誤差に対する許容範囲が大きく、したがって、容器の経時変化や製造起因による寸法誤差の影響を受けにくく、管理・運用が容易であるというメリットがある。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明のペリクル収納容器の一実施形態を示す平面図である。

【図2】本発明の一実施形態を示す図１のＡ-Ａ断面図である。

【図3】本発明の一実施形態を示す図１のＢ-Ｂ断面図である。

【図4】本発明の一実施形態を示す図２のＣ部拡大図である。

【図5】本発明の一実施形態を示す図３のＤ部拡大図である。

【図6】本発明のペリクル収納容器全体を示す斜視図である。

【図7】フレーム固定具を固定具保持手段の溝に挿入して保持する状態を示す斜視図である。

【図8】フレーム固定具を固定具保持手段の角孔に挿入して保持する状態を示す斜視図である。

【図9】フレーム固定具を固定具保持手段に粘着テープで保持する状態を示す斜視図である。

【図10】フレーム固定具を蓋体内部の弾性体で押圧して固定する状態を示す断面図である。

【図11】比較例のピンを用いたペリクル収納容器の平面図である。

【図12】比較例のピンをピン保持手段で保持する状態を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は、これに何ら限定されるものではない。また、本発明は、辺長が５００ｍｍを超えるような大型のペリクルに適用した際に特に効果が大きいが、ペリクルの大きさや用途で限定されるものではない。

【0019】

図１〜図１０は、本発明の一実施形態を示すものである。図１では、説明のためにペリクル収納容器本体１１と周縁部で嵌合係止する蓋体１２は省略されている。本発明のペリクル収納容器本体１１上には、図１に示すように、ペリクルフレーム支持手段１３、フレーム固定具１４、固定具保持手段１５が設置されている。一方、収納されるペリクル２０には、図４に示すように、ペリクルフレーム２１の枠状を成す下面内周に沿ってマスク粘着層２２が設けられており、外周部にはマスク粘着層未塗布領域２３がある。そして、その対面にはペリクル膜接着層２４を介してペリクル膜２５が張設されている。

【0020】

収納するペリクル２０は、ペリクルフレーム２１のマスク粘着層２２が設けられる面の外周に少なくとも１ｍｍの幅を有するマスク粘着層未塗布領域２３があれば良く、このほかの仕様に制限はない。

【0021】

ペリクルフレーム支持手段１３は、ペリクルフレーム２１の各辺に少なくとも１箇所、好ましくは２箇所以上設けることが良い。位置や個数は、ペリクルフレーム２１の下方向への自重撓み及び輸送中の振動による振れを考慮して決定すればよい。

【0022】

ペリクルフレーム支持手段１３は、図４に示すように、階段状を成しており、その段差部１３ａにはペリクルフレーム２１のマスク粘着層未塗布領域２３が載置されている。この階段形状は、ペリクルフレーム２１の高さの２０％以上の高さのある垂直面１３ｂを有することが良く、その上部は５〜４５°の角度で外側に開いたテーパ面１３ｃとすることが良い。また、ペリクルフレーム支持手段１３の頂部の高さは、自動装置、あるいは取り出し治具によるペリクル２０の取り出し作業において、その装置との干渉を避けるために、ペリクル膜２５の面よりも低くなっていることが好ましい。

【0023】

このペリクルフレーム支持手段１３の形状は、図４に示す形状に限定されるものではなく、ペリクルフレーム２１の形状に合わせて適宜変更が可能である。また、別の方法でペリクル２０の水平方向への移動を規制することができれば、段差がない平面形状でも良い。

【0024】

ペリクルフレーム支持手段１３は、樹脂、エラストマー等の軟質でかつペリクルフレーム２１との接触において発塵しにくい材質を用いることが良く、射出成形、注型成形、光造形等の一括成形できる手法により製作されることが好ましい。具体的な材質としては、スチレン系、ポリエステル系、オレフィン系、ポリアミド系、ウレタン系などの熱可塑性エラストマー、ゴムとしては、ニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム等が挙げられる。この中でも、スチレン系、ポリエステル系エラストマーは、表面タックが小さく、載置したペリクルフレーム２１が貼り付きにくい利点があり、特に好ましい。

【0025】

ペリクルフレーム支持手段１３の大きさは、ペリクルフレーム２１に沿った長さで１０〜５０ｍｍ程度とすることが良く、接着など公知の方法によってペリクル収納容器本体１１に取り付けることができる。より好ましくは、図４にその断面が示されているように、ペリクルフレーム支持手段１３の下面に雌ねじを加工した金属製部材、例えば板ナット１７をインサート成形し、ボルト１６によりペリクル収納容器本体１１の外側から締結固定することが良い。

【0026】

ペリクルフレーム２１の外側面に設けられた溝２６には、図５に示すように、板状を成すフレーム固定具１４が挿入されている。このフレーム固定具１４は、図７及び図８に示すように、さらにペリクル収納容器本体１１上に設けられた固定具保持手段１５の水平方向の溝１５ａもしくは角孔１５ｂに保持されている。図７は、固定具保持手段１５に溝１５ａを設けた実施形態であり、図８は、固定具保持手段１５に角孔１５ｂを設けた実施形態である。これらの溝１５ａ又は角孔１５ｂは、フレーム固定具１４と嵌合した際に、スムーズに抜き差し可能な公差とすることが良い。溝１５ａの方が角孔１５ｂよりも寸法管理のしやすさ、成形性や洗浄性等の点で利点がある。

【0027】

また、ペリクル固定具１４は、その先端が段差１４ａを有する形状となっているが、先端がＲ状、テーパ―状又は幾つかの組み合わせ形状となっていても良く、その他全体的な形状についても適宜変更を加えることができる。

【0028】

フレーム固定具１４及び固定具保持手段１５は、ＡＢＳ、ＰＰＳ、ＰＯＭ、ＰＥＥＫなどの樹脂で製作することが良く、必要に応じてフィラー強化されたものを用いることも良い。製造方法としては、射出成型、トランスファー成形などの溶融成形又は機械切削加工などが挙げられる。

【0029】

ペリクル収納容器本体１１へ取り付ける場合は、接着の他にペリクル収納容器外側からボルト（図示しない）で締結することが良い。固定具保持手段１５は、量産性、作業性、発塵防止の点から、雌ねじを有する金属部品をインサートして射出成形で製作することが最も好ましい。

【0030】

フレーム固定具１４は、図１に示すように、この実施形態では、長辺の角部近傍の４箇所に設けられているが、この設置位置や個数は、フレームの固定しやすさ、ペリクル取り出し治具あるいは自動装置との干渉を考慮して、適宜決定することができる。例えば、短辺の角部近傍の４箇所でも構わないし、また、短辺と長辺の両方に配置されていても良い。好ましい設置位置としては、フレームの剛性が高く、膜張力によるフレーム撓みが小さく、寸法が安定しているフレームの角近傍を挙げることができるが、フレームの剛性が高ければ比較的内側に配置しても問題はない。

【0031】

ペリクル２０は、ペリクルフレーム側面の溝２６に挿入されたフレーム固定具１４が輸送中に抜けてしまうと、ペリクル収納容器１０内で移動してマスク粘着層２２が容器に接着したり、汚損又は破損する恐れがある。そのため、フレーム固定具１４を固定具保持手段１５上でしっかりと固定するために、蓋体１２の内面をフレーム固定具１４の上面に接触又は押圧させてフレーム固定具１４を固定する構造とすることが良い。例えば、図５に示すように、蓋体１２の内側に樹脂、ゴム、エラストマー等からなる弾性体５１を取り付けるとともに、この弾性体５１を介してフレーム固定具１４を押圧固定することが好ましい。この実施態様では、弾性体５１を介することでより寸法誤差の影響を排除することができる。

【0032】

弾性体５１の好適な材質としては、具体的には、スチレン系、ポリエステル系、オレフィン系、ポリアミド系、ウレタン系などの熱可塑性エラストマー、ゴムとしては、ニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が挙げられる。この中でも、低硬度のものが入手しやすく、低発塵、低発ガスであることから、シリコーンゴム、ウレタンゴムが特に好ましい。

【0033】

また、フレーム固定具１４を固定するための他の実施形態としては、図９に示すように、固定具保持手段９１の形状を平面部のある形状とし、フレーム固定具１４を粘着テープ９２により固定具保持手段９１に貼り付け固定する形態も挙げられる。この実施形態では、粘着テープ９２の取り付け、取り外しの際に作業者の手等からペリクル２０に異物が付着する恐れはあるが、操作が簡便であり、設計や運用において、フレーム固定具１４の固定に関して蓋体１２との位置関係を考慮しなくても良いという利点がある。

【0034】

さらに、他の実施形態としては、フレーム固定具１４の後端を蓋体１２の内面に接触させて水平方向（溝から抜ける方向）への移動を規制するような形態も挙げられる。この実施形態では、図１０に示すように、蓋体１２内面に弾性体１０１を取り付けてこれに接触させることが好ましい。この実施形態では、弾性体１０１を介してフレーム固定手段１４を規制することで各部材の寸法誤差をより吸収しやすくなるため、寸法誤差による不具合を解消することができる。

【0035】

ペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２は、厚さ２〜８ｍｍ程度のアクリル、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＣなどの樹脂板を用いて真空成型又は圧空成形で製作することが好ましい。一辺が２００ｍｍ以下の小型のものは射出成型で製作しても良く、この場合、剛性や平面度の向上を目的として適宜リブ等を設けることができる。

【0036】

ペリクル収納容器本体１１は、付着した異物の視認性の向上のために黒色であることが好ましい。蓋体１２は、収納したペリクル２０を視認することができるように透明又は有色半透明であることが好ましいが、耐候性等の理由から時には黒色であってもよい。また、ペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２は、共に樹脂自体に帯電防止性能を付与するか又はその表面に帯電防止塗装を施すことも異物の付着防止の観点から好適である。さらに、樹脂自体に難燃材を添加するか又は難燃性樹脂を使用するなどによって難燃性が付与されていれば、安全性の点からより好ましい。

【0037】

ペリクル収納容器本体１１は、その辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型の場合は、樹脂成形品の外側に金属や繊維強化樹脂からなる補強材を取り付けるか又は収納容器自体を金属で製作することが好ましい。収納容器自体を金属とした際に使用する材料としては、アルミニウム合金、マグネシウム合金等の軽合金が好適であるが、ステンレス鋼や炭素鋼の薄板を使用しても良い。成形方法としては、鋳造等の一体成形が好ましいが、プレス成型等で各構成部材を製作した後に、溶接や接着、ネジ締結等の手法により各構成部材を接合して構成しても良い。また軽量化のためにはその内部を空洞にしても良い。

【0038】

また、ペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２は、共に使用時の利便性を考慮して、ハンドルや蓋体を固定するためのバックルを設けることができる（図示しない）。さらに、ペリクル収納容器本体１１には、フォークリフト等での搬送を考慮した脚部等を設けることもできる（図示しない）。

【実施例】

【0039】

以下、本発明の実施例について図面に基づいて詳細に説明する。
最初に、図１〜６に示すようなペリクル収納容器１０を製作した。ペリクル収納容器本体１１は、厚さ５ｍｍの黒色難燃帯電防止ＡＢＳ樹脂板を真空成形して製作した。一方、ペリクル収納容器本体１１と周縁部で嵌合する蓋体１２は、厚さ５ｍｍの透明ポリカーボネート樹脂板を真空成形して製作したもので、成形加工後にその全面に帯電防止剤（信越ポリマー（株）製、商品名セプルジーダ）を塗装した。組み合わせた後の外寸は、１３５０ｘ１５３５ｘ１２０ｍｍである。

【0040】

ペリクルフレーム支持手段１３は、材質としてポリエステル系エラストマー（東レ・デュポン（株）製、商品名；ハイトレル）を用い、内部にステンレス鋼で製作した板ナット１７を挿入し、射出成型により製作した。そして、このように製作したペリクルフレーム支持手段１３をペリクル収納容器本体１１上に配置し、裏面から各２本のボルト１６で取り付けた。

【0041】

ペリクルフレーム支持手段１３の取り付け位置は、図１に示すように、長辺、短辺とも４箇所である。このような位置は、ペリクル取り出しの際に、ペリクルを把持するハンドリング治具又は自動装置のペリクル把持機構と干渉しないように考慮して決定される。

【0042】

また、ペリクル収納容器本体１１上には、ＡＢＳ樹脂を射出成型して製作した固定具保持手段１５が裏面からボルト（図示しない）にて固定されている。この固定具保持手段１５を固定する場合、固定具保持手段１５に挿入されるペリクル固定具１４がペリクルフレーム２１外側面に設けた図５に示す溝２６に嵌合するようにその位置の調整を行った。

【0043】

そして、このペリクル収納容器１０をクラス１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄し、完全に乾燥させた。

【0044】

次に、このペリクル収納容器１０を評価するために、ペリクル２０を製作した。最初に、外寸１３６６ｘ１１３６ｍｍ、フレーム幅１２ｍｍ、フレーム高さ５．８ｍｍのＡ５０５２アルミニウム合金製フレームを機械切削加工してペリクルフレーム２１を製作した。また、このペリクルフレーム２１の各長辺には、通気孔として直径１．５ｍｍの貫通孔（図示しない）を４箇所設けるとともに、長辺の角部近傍には、高さ３ｍｍ、深さ２．３ｍｍ、長さ４０ｍｍの溝２６を設けた。そして、その表面をＲａ０．６程度にサンドブラスト処理した後に黒色アルマイト処理を施した。

【0045】

また、このペリクルフレーム２１の枠状を成す一面には、トルエンで希釈したシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製）をエア加圧式ディスペンサで塗布し、その内周に沿って高さ１．２ｍｍ、幅５ｍｍのマスク粘着層２２の塗布領域を形成した。そのため、フレーム幅が１２ｍｍのペリクルフレーム２１には、その外周に幅７ｍｍのマスク粘着層が塗布されていない未塗布領域２３が形成されている。

【0046】

さらに、ペリクルフレーム２１のマスク粘着層２２を形成した面の対面には、トルエンで希釈したシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製）をエア加圧式ディスペンサで塗布し、ペリクル膜接着層２４を形成した。そして、このペリクル膜接着層２４上にペリクル膜２５としてフッ素系樹脂（旭硝子（株）製、商品名サイトップ）からなる厚さ４．１μｍのものを張設するとともに、各長辺に設けた通気孔をＰＴＦＥ膜からなるフィルタで覆って（図示しない）、ペリクル２０を完成させた。

【0047】

次に、このように製作したペリクル２０を暗室内で異物検査の上、洗浄したペリクル収納容器本体１１上のペリクルフレーム支持手段１３上に載置し、図５に示すように、フレーム固定具１４を固定具保持手段１５上でスライドさせてペリクルフレーム２１の外側面の溝２６に挿入した。そして、その後に、蓋体１２をペリクル収納容器本体１１に被せて密閉するとともに、その周縁部を粘着テープ（図示しない）で密封して、ペリクル２０をペリクル収納容器１０に収納した。

【0048】

このペリクル２０の収納に際し、４箇所のフレーム固定具１４近傍の蓋体１２の内側には、図５に示すように、硬度５０（ショアＡ）のシリコーンゴム製の弾性体５１を取り付けておいた。この弾性体５１は、蓋体１２をペリクル収納容器本体１１上に載置した際に、フレーム固定具１４の上部に接触して、０．２〜１ｍｍの変形しろで潰れるように調整されているため、フレーム固定具１４は、この弾性体５１により、固定具保持手段１５上で押圧固定されている状態となる。

【0049】

最後に、本発明のペリクル収納容器１０の評価として、従来のセパレータを使用しないペリクル２０が収納されたペリクル収納容器１０を作業者２名でおよそ腰の高さまで持ち上げて、水平から略垂直に傾ける動作を各辺（４方向）について５回の合計２０回行った。その後、クリーンルーム内にて開梱し、暗室でペリクル２０の損傷や異物の付着状況を検査したところ、ペリクル２０は、ペリクル収納容器本体１１上で全く動いておらず、ペリクル２０に付着している異物の増加も全く見られなかった。

【0050】

また、ペリクルフレーム２１についても検査したところ、ペリクルフレーム支持手段１３に接触していた部分の異物付着や擦れなどの痕跡は見られず、マスク粘着層２２についても接触跡などの欠陥は全く見られなかった。

【0051】

次に、この使用したペリクル収納容器１０を湿度４０〜７０％、温度２０〜３０℃の環境で１年間保管し、１年後にこのペリクル収納容器１０を再び開梱し、同じペリクル２０を１年前の試験と同様に収納したところ、ペリクルフレーム支持手段１３上にペリクルフレーム２１を載置して溝２６にペリクル固定具１４を挿入することができたので、経時的な変化もなく運用上及び管理上の問題は何ら見られなかった。

【比較例】

【0052】

比較例では、最初に、実施例のペリクル収納容器１０のフレーム固定具１４、固定具保持手段１５に替えて、図１１の平面図に示すような、ピン１１２とピン保持手段１１３からなる固定手段を用いたペリクル収納容器１１０を製作した。図１２は、ピン１１２とピン保持手段１１３を組み合わせた状態を示す斜視図である。図１１では、ペリクル収納容器本体の説明のために、蓋体についての記載を省略しているが、蓋体の構造は、基本的に実施例と同一である。

【0053】

比較例のピン１１２とピン保持手段１１３の材質は、何れもＡＢＳ樹脂とし、射出成型にて製作した。ピン１１２は、ピン軸１１２ａ、突起１１２ｂ、一段太くなった操作部１１２ｃから構成されるとともに、ピン保持手段１１３に支持されている。また、ピン１１２は、抜き差し可能な間隙で嵌合するとともに、旋回操作により突起１１２ｂがピン保持手段の凹部１１３ａに噛みあい、挿入した位置で固定されるようになっている。そして、ピン軸１１２ａの先端には、ペリクルフレーム１２１との擦れによる発塵防止を目的として、フッ素ゴムからなる弾性体１１４が取り付けられている。

【0054】

次に、比較例でも、実施例と同寸のペリクルフレーム１２１を製作し、その長辺外側面には、直径２ｍｍ、深さ２．５ｍｍの非貫通の丸孔１２２をフレーム角部から３０ｍｍの位置に合計４箇所設けた。そして、ペリクルフレーム１２１をペリクル収納容器本体１１１上のペリクルフレーム支持手段１３上に載置した際に、ピン１１２がペリクルフレーム１２１の外側面の孔１２２に挿入できるように、ピン保持手段１１３はその位置が調整されるとともに、ボルト（図示しない）にてペリクル収納容器本体１１１上に固定されている。

【0055】

そして、実施例と同様に、このペリクル収納容器１１０をクラス１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で洗浄して、完全に乾燥させた。

【0056】

次に、比較例でも、このペリクル収納容器１１０を評価するために、ペリクルフレーム１２１を用いた点以外は実施例と全く同じ材料と製作工程でペリクル１２０を製作したので、比較例のペリクルフレーム１２１にも、マスク粘着層が塗布された領域とその外周にはマスク粘着層が塗布されていない未塗布領域が形成されている。したがって、比較例のペリクル１２０と実施例のペリクル２０とは、実施例のペリクルフレーム２１の外側面では溝２６を有していたのに対して、ペリクルフレーム１２１の外側面では非貫通の丸孔１２２を有している点以外は全く同じ構成である。

【0057】

このようなペリクル１２０を暗室内で異物検査の上、ペリクル収納容器１１０内に収納し、周縁部を粘着テープにて密封して（図示しない）、ペリクル収納容器１１０を完成させた。

【0058】

最後に、比較例のペリクル収納容器１１０の評価として、実施例と同様に、ペリクル１２０の収納されたペリクル収納容器１１０を作業者２名でおよそ腰の高さまで持ち上げて、水平から略垂直に傾ける動作を各辺（４方向）について５回の合計２０回行った。その後、クリーンルーム内にて開梱し、暗室でペリクル１２０の損傷や異物の付着状況を検査したところ、ペリクル１２０は、ペリクル収納容器本体１１１上で全く動いておらず、ペリクル１２０に付着している異物の増加も全く見られなかった。

【0059】

また、ペリクルフレーム１２１についても検査したところ、ペリクルフレーム支持手段１３に接触していた部分の異物付着や擦れなどの痕跡は全く見られなかった。

【0060】

しかしながら、次に、この使用したペリクル収納容器１１０を実施例と同じく湿度５０％、温度２０〜３０℃の環境で１年間保管し、１年後にこのペリクル収納容器１１０を再び開梱し、同じペリクル１２０を収納しようとしたところ、ペリクルフレーム１２１の孔１２２とピン１１２の位置が正対しておらず、水平方向におよそ１．５ｍｍのずれが生じていたため、ピン１１２を挿入することができなかった。この理由としては、ペリクル収納容器本体１１１の経時寸法変化によりピン１１２の位置がずれてしまったためと考えられ、ペリクル１２０の収納にはピン位置の再調整が必要であった。

【符号の説明】

【0061】

１０ ペリクル収納容器
１１ ペリクル収納容器本体
１２ 蓋体
１３ ペリクルフレーム支持手段
１３ａ 段差部
１３ｂ 垂直面
１３ｃ テーパ面
１４ フレーム固定具
１４ａ 先端段差部
１５ 固定具保持手段
１５ａ 溝
１５ｂ 角孔
１６ ボルト
１７ 板ナット
２０ ペリクル
２１ ペリクルフレーム
２２ マスク粘着層
２３ マスク粘着層未塗布領域
２４ ペリクル膜接着層
２５ ペリクル膜
２６ 溝
５１ 弾性体
９１ 固定具保持手段
９２ 粘着テープ
１０１ 弾性体
１１０ ペリクル収納容器
１１１ ペリクル収納容器本体
１１２ ピン
１１２ａ ピン軸
１１２ｂ 突起
１１２ｃ 操作部
１１３ ピン保持手段
１１３ａ 凹部
１１４ 弾性体
１２０ ペリクル
１２１ ペリクルフレーム（比較例）
１２２ 孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】