特許6608769イオンビーム装置

発明の名称　イオンビーム装置

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 1347 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2323 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6608769

公報発行日　2019年11月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6608769

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