特許第6620147号(P6620147)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6620147真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム
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  • 特許6620147-真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム 図000002
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  • 特許6620147-真空直線フィードスルー及び当該真空直線フィードスルーを有する真空システム 図000005
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