特許6620170荷電粒子線装置およびその光軸調整方法

発明の名称　荷電粒子線装置およびその光軸調整方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 221 位（145件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 78 位（300件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6620170

公報発行日　2019年12月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6620170

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