特許 6620976 レーザー加工装置及びレーザー加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6620976

(24)【登録日】2019年11月29日

(45)【発行日】2019年12月18日

(54)【発明の名称】レーザー加工装置及びレーザー加工方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20191209BHJP

   B23K 26/53 20140101ALI20191209BHJP

   B23K 26/00 20140101ALI20191209BHJP

   B23K 26/02 20140101ALI20191209BHJP

   B23K 26/067 20060101ALI20191209BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 B

   B23K26/53

   B23K26/00 M

   B23K26/02 A

   B23K26/067

【請求項の数】6

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2015-191965(P2015-191965)

(22)【出願日】2015年9月29日

(65)【公開番号】特開2017-69340(P2017-69340A)

(43)【公開日】2017年4月6日

【審査請求日】2018年7月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(72)【発明者】

【氏名】植木原 明

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１３８９５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−００７２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８２９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／１５６６８９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−０９２６８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０３４７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０３１２８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／１１９１１４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１４−０１９１２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２５２５２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１１３１８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２０５１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２４５１７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２３Ｋ ２６／００

Ｂ２３Ｋ ２６／０２

Ｂ２３Ｋ ２６／０６７

Ｂ２３Ｋ ２６／５３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、前記ウェーハの切断予定ラインに沿って前記ウェーハの内部に改質領域を形成するレーザー加工装置であって、
前記レーザー光を出力するレーザー光源と、
前記レーザー光源から出力された前記レーザー光の光路上に配設され、前記レーザー光を変調する空間光変調器と、
前記空間光変調器で変調された前記レーザー光を前記ウェーハの内部に集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点が所望の位置に形成されるように、前記空間光変調器の変調パターンを制御する制御手段と、
前記ウェーハを前記レーザー光に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記空間光変調器と前記集光レンズとの間に配設され、前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点からの反射光の一部を前記レーザー光の光路から分岐させる光路分岐手段と、
前記光路分岐手段により分岐された前記反射光の光路上に配設され、前記反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像した撮像画像に基づき、前記空間光変調器の動作状態を判断する判断手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記ウェーハの内部においてレーザー光照射面からの深さが互いに異なり、かつ前記ウェーハの移動方向に互いに離れた複数の位置に前記レーザー光が前記集光レンズで同時に集光されるように前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する手段であり、
前記空間光変調器とは別に構成され、前記ウェーハの内部において前記レーザー光の集光点を合わせる前記複数の位置で前記レーザー光の収差が所定の収差以下となるように補正する収差補正手段であって、前記複数の位置の前記深さに合わせて前記補正する収差の補正量を変更できるように構成された収差補正手段を備える、
レーザー加工装置。

【請求項2】

前記撮像手段で撮像した前記撮像画像に基づき、前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点の基準位置に対する位置ずれ量を検出する検出手段を備え、
前記制御手段は、前記検出手段で検出された前記位置ずれ量が小さくなるように、前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する、
請求項１に記載のレーザー加工装置。

【請求項3】

前記制御手段は、前記ウェーハの深さ方向における第１の位置に前記レーザー光が集光されるとともに、前記第１の位置とは前記ウェーハの深さ方向に異なる第２の位置に前記レーザー光が集光されるように前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する、
請求項１又は２に記載のレーザー加工装置。

【請求項4】

ウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、前記ウェーハの切断予定ラインに沿って前記ウェーハの内部に改質領域を形成するレーザー加工方法であって、
レーザー光源から出力されたレーザー光を空間光変調器で変調する変調工程と、
前記空間光変調器で変調された前記レーザー光を集光レンズで前記ウェーハの内部に集光する集光工程と、
前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点が所望の位置に形成されるように、前記空間光変調器の変調パターンを制御する制御工程と、
前記ウェーハを前記レーザー光に対して相対的に移動させる移動工程と、
前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点からの反射光を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像した撮像画像に基づき、前記空間光変調器の動作状態を判断する判断工程と、
を含み、
前記制御工程は、前記ウェーハの内部においてレーザー光照射面からの深さが互いに異なり、かつ前記ウェーハの移動方向に互いに離れた複数の位置に前記レーザー光が集光レンズで同時に集光されるように前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する工程であり、
前記変調工程とは別に行われ、前記ウェーハの内部において前記レーザー光の集光点を合わせる前記複数の位置で前記レーザー光の収差が所定の収差以下となるように補正する収差補正工程であって、前記複数の位置の前記深さに合わせて前記補正する収差の補正量を変更する収差補正工程を含む、
レーザー加工方法。

【請求項5】

前記撮像工程で撮像した前記撮像画像に基づき、前記集光レンズで集光された前記レーザー光の集光点の基準位置に対する位置ずれ量を検出する検出工程を含み、
前記制御工程は、前記検出工程で検出された前記位置ずれ量が小さくなるように、前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する、
請求項４に記載のレーザー加工方法。

【請求項6】

前記制御工程は、前記ウェーハの深さ方向における第１の位置に前記レーザー光が集光されるとともに、前記第１の位置とは前記ウェーハの深さ方向に異なる第２の位置に前記レーザー光が集光されるように前記空間光変調器の前記変調パターンを制御する、
請求項４又は５に記載のレーザー加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表面に複数のデバイスが形成されたウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、ウェーハの切断予定ラインに沿ってウェーハの内部に改質領域を形成するレーザー加工装置及びレーザー加工方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、表面に複数のデバイスが形成されたウェーハを個々のチップに分割するには、細かなダイヤモンド砥粒で形成された厚さ３０μｍ程度の薄い砥石により、ウェーハに研削溝を入れてウェーハをカットするダイシング装置が用いられていた。

【0003】

ダイシング装置では、薄い砥石（以下、ダイシングブレードと称する）を例えば３０，０００〜６０，０００ｒｐｍで高速回転させてウェーハを研削し、ウェーハを完全切断（フルカット）又は不完全切断（ハーフカット或いはセミフルカット）を行う。

【0004】

しかし、このダイシングブレードによる研削加工の場合、ウェーハが高脆性材料であるため脆性モード加工となり、ウェーハの表面や裏面にチッピングが生じ、このチッピングが分割されたチップの性能を低下させる要因になっていた。

【0005】

このような問題に対して、従来のダイシングブレードによる切断に替えて、ウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、ウェーハ内部に多光子吸収による改質領域（改質層）を形成して個々のチップに分割する技術が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００９−３４７２３号公報

【特許文献2】特開２０１０−５８１２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上述したような技術では、ウェーハの内部で発生する収差を抑制するために空間光変調器が用いられているが、この空間光変調器が正常に動作しているか否かをリアルタイムで確認する手段がない。そのため、空間光変調器の動作状態を確認するためには、一旦レーザー加工を停止した後、ウェーハを切断予定ラインで分断して加工断面を観察しなければならかった。

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、空間光変調器の動作状態を容易に確認することが可能なレーザー加工装置及びレーザー加工方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、本発明の第１態様に係るレーザー加工装置は、ウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、ウェーハの切断予定ラインに沿ってウェーハの内部に改質領域を形成するレーザー加工装置であって、レーザー光を出力するレーザー光源と、レーザー光源から出力されたレーザー光の光路上に配設され、レーザー光を変調する空間光変調器と、空間光変調器で変調されたレーザー光をウェーハの内部に集光する集光レンズと、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点が所望の位置に形成されるように、空間光変調器の変調パターンを制御する制御手段と、ウェーハをレーザー光に対して相対的に移動させる移動手段と、空間光変調器と集光レンズとの間に配設され、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点からの反射光の一部をレーザー光の光路から分岐させる光路分岐手段と、光路分岐手段により分岐された反射光の光路上に配設され、反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像した撮像画像に基づき、空間光変調器の動作状態を判断する判断手段と、を備える。

【0010】

本発明の第２態様に係るレーザー加工装置は、第１態様において、撮像手段で撮像した撮像画像に基づき、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点の基準位置に対する位置ずれ量を検出する検出手段を備え、制御手段は、検出手段で検出された位置ずれ量が小さくなるように、空間光変調器の変調パターンを制御する。

【0011】

本発明の第３態様に係るレーザー加工装置は、第１態様又は第２態様において、制御手段は、ウェーハの内部においてレーザー光照射面からの深さが互いに異なり、かつウェーハの移動方向に互いに離れた複数の位置にレーザー光が集光レンズで同時に集光されるように空間光変調器の変調パターンを制御する手段であり、空間光変調器とは別に構成され、ウェーハの内部においてレーザー光の集光点を合わせる複数の位置でレーザー光の収差が所定の収差以下となるように補正する収差補正手段を備える。

【0012】

本発明の第４態様に係るレーザー加工装置は、第３態様において、制御手段は、ウェーハの深さ方向における第１の位置にレーザー光が集光されるとともに、第１の位置とはウェーハの深さ方向に異なる第２の位置にレーザー光が集光されるように空間光変調器の変調パターンを制御する。

【0013】

本発明の第５態様に係るレーザー加工方法は、ウェーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を照射することにより、ウェーハの切断予定ラインに沿ってウェーハの内部に改質領域を形成するレーザー加工方法であって、レーザー光源から出力されたレーザー光を空間光変調器で変調する変調工程と、空間光変調器で変調されたレーザー光を集光レンズでウェーハの内部に集光する集光工程と、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点が所望の位置に形成されるように、空間光変調器の変調パターンを制御する制御工程と、ウェーハをレーザー光に対して相対的に移動させる移動工程と、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点からの反射光を撮像する撮像工程と、撮像工程で撮像した撮像画像に基づき、空間光変調器の動作状態を判断する判断工程と、を含む。

【0014】

本発明の第６態様に係るレーザー加工方法は、第５態様において、撮像工程で撮像した撮像画像に基づき、集光レンズで集光されたレーザー光の集光点の基準位置に対する位置ずれ量を検出する検出工程を含み、制御工程は、検出工程で検出された位置ずれ量が小さくなるように、空間光変調器の変調パターンを制御する。

【0015】

本発明の第７態様に係るレーザー加工方法は、第５態様又は第６態様において、制御工程は、ウェーハの内部においてレーザー光照射面からの深さが互いに異なり、かつウェーハの移動方向に互いに離れた複数の位置にレーザー光が集光レンズで同時に集光されるように空間光変調器の変調パターンを制御する工程であり、変調工程とは別に行われ、ウェーハの内部においてレーザー光の集光点を合わせる複数の位置でレーザー光の収差が所定の収差以下となるように補正する収差補正工程を含む。

【0016】

本発明の第８態様に係るレーザー加工方法は、第７態様において、制御工程は、ウェーハの深さ方向における第１の位置にレーザー光が集光されるとともに、第１の位置とはウェーハの深さ方向に異なる第２の位置にレーザー光が集光されるように空間光変調器の変調パターンを制御する。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、ウェーハに集光されたレーザー光の集光点からの反射光を撮像した撮像画像から空間光変調器の動作状態を容易に確認することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の一実施形態に係るレーザー加工装置の概略を示した構成図

【図2】ウェーハの内部に改質領域が形成される様子を示した概念図

【図3】ウェーハ内部に形成された改質領域から亀裂がウェーハ深さ方向に伸展する様子を概念図

【図4】赤外線カメラで撮像した撮像画像の一例を示した図

【図5】収差補正量と総亀裂長さの関係を示したグラフ

【図6】収差補正量と亀裂下端長さの関係を示したグラフ

【図7】ウェーハの内部に改質領域が形成される様子を示した概念図であり、レーザー光が集光される２つの位置（集光位置）の他の形態を説明するための図

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、添付図面に従って本発明の実施形態について詳説する。

【0020】

図１は、本発明の一実施形態に係るレーザー加工装置の概略を示した構成図である。図１に示すように、本実施形態のレーザー加工装置１は、主として、ウェーハ移動部１１、レーザーヘッド２０、制御部６０等から構成されている。

【0021】

ウェーハ移動部１１は、ウェーハＷを吸着保持する吸着ステージ１３と、レーザー加工装置１の本体ベース１６に設けられ、吸着ステージ１３をＸＹＺθ方向に精密に移動させるＸＹＺθテーブル１２等からなる。このウェーハ移動部１１によって、ウェーハＷが図のＸＹＺθ方向に精密に移動される。なお、ウェーハ移動部１１は、移動手段の一例である。

【0022】

ウェーハＷは、デバイスが形成された表面に粘着材を有するバックグラインドテープ（以下、ＢＧテープ）が貼付され、裏面が上向きとなるように吸着ステージ１３に載置される。ウェーハＷの厚さは、特に制限はないが、典型的には７００μｍ以上、より典型的には７００〜８００μｍである。

【0023】

なお、ウェーハＷは、一方の面に粘着材を有するダイシングシートが貼付され、このダイシングシートを介してフレームと一体化された状態で吸着ステージ１３に載置されるようにしてもよい。

【0024】

レーザーヘッド２０は、主として、レーザー光源２２、空間光変調器２８、集光レンズ３８、ハーフミラー４０、赤外線カメラ４２等を備えている。

【0025】

レーザー光源２２は、制御部６０の制御に従って、ウェーハＷの内部に改質領域を形成するための加工用のレーザー光Ｌを出力する。レーザー光Ｌの条件としては、例えば、光源が半導体レーザー励起Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、波長が波長：１．１μｍ、レーザー光スポット断面積が３．１４×１０^−８ｃｍ^２、発振形態がＱスイッチパルス、繰り返し周波数が８０〜１２０ｋＨｚ、パルス幅が１８０〜３８０ｎｓ、出力が１０Ｗである。

【0026】

空間光変調器２８は、レーザー光源２２から出力されたレーザー光Ｌの光路上に配設される。空間光変調器２８は、位相変調型のものであり、レーザー光源２２から出力されたレーザー光Ｌを入力し、２次元配列された複数の画素それぞれにおいてレーザー光Ｌの位相を変調する所定のホログラムパターン（変調パターン）を呈示して、その位相変調後のレーザー光Ｌを出力する。このホログラムパターンは、集光位置の異なる複数のフレネルレンズパターンを重ね合せたものである。これにより、詳細を後述するように、ウェーハＷの内部においてレーザー光照射面（ウェーハＷの裏面）からの深さが互いに異なり、かつ図１のＸ方向に平行なウェーハ移動方向（加工送り方向）Ｍに互いに離れた２つの位置にレーザー光Ｌが集光レンズ３８により同時に集光される。

【0027】

空間光変調器２８としては、例えば、反射型液晶（LCOS：Liquid Crystal on Silicon）の空間光変調器（SLM：Spatial Light Modulator）が用いられる。空間光変調器２８の動作、及び空間光変調器２８で呈示されるホログラムパターンは、制御部６０によって制御される。なお、空間光変調器２８の具体的な構成や空間光変調器２８で呈示されるホログラムパターンについては既に公知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

【0028】

集光レンズ３８は、レーザー光ＬをウェーハＷの内部に集光させる対物レンズ（赤外対物レンズ）である。集光レンズ３８の開口数（ＮＡ）は０．６〜０．８（例えば０．６５）のものが用いられる。

【0029】

集光レンズ３８は、ウェーハＷの内部において生じるレーザー光Ｌの収差を補正するために補正環付き対物レンズで構成される。この集光レンズ３８に設けられる補正環（不図示）は手動で回転自在に構成されており、補正環を所定方向に回転させると、集光レンズ３８を構成しているレンズ群の間隔が変更され、ウェーハＷのレーザー光照射面（裏面）から所定の深さの位置でレーザー光Ｌの収差が所定の収差以下となるように収差を補正することができる。なお、集光レンズ３８の補正環は、収差補正手段の一例である。

【0030】

なお、集光レンズ３８の補正環は、図示しない補正環駆動部によって電動で回転されるように構成されていてもよい。この場合、制御部６０は、補正環駆動部の動作を制御して、補正環を回転させることによってレーザー光Ｌの収差が所望の状態となるように補正を行う。

【0031】

ハーフミラー４０は、空間光変調器２８と集光レンズ３８との間に配設される。ハーフミラー４０は、集光レンズ３８で集光されたレーザー光Ｌの集光点からの反射光の一部をレーザー光Ｌの光路から分岐させる。ハーフミラー４０は、光路分岐手段の一例である。

【0032】

ハーフミラー４０で分岐された反射光（すなわち、集光レンズ３８によるレーザー光Ｌの集光点からの反射光）は、赤外線カメラ４２に入射する。

【0033】

赤外線カメラ４２は、撮像手段の一例であり、ウェーハＷのレーザー光照射面（裏面）側からウェーハＷを撮像するものである。赤外線カメラ４２は、赤外光の波長域に対して感度を有する撮像素子（不図示）を備えている。したがって、レーザーヘッド２０に対するウェーハＷの相対的な高さ（Ｚ方向位置）を調整して、ウェーハＷのレーザー光照射面（裏面）又はデバイス面（表面）にレーザー光Ｌの集光点を合わせて、レーザー光Ｌの集光点からの反射光を赤外線カメラ４２でウェーハＷを撮像することにより、撮像した撮像画像から空間光変調器２８の動作状態を判断することが可能となる。赤外線カメラ４２で撮像された撮像画像は、レーザー加工装置１の記憶部（不図示）に記憶される。なお、空間光変調器２８の動作状態は、後述する制御部６０によって記憶部に記憶された撮像画像（すなわち、赤外線カメラ４２で撮像された撮像画像）に基づいて判断される。

【0034】

赤外線カメラ４２としては、例えばＩｎＧａＡｓ（インジウムガリウムヒ素）カメラに代表される近赤外領域（１μｍ以上の波長領域）で高い感度を有するカメラ（近赤外線カメラ）が好ましく用いられる。

【0035】

レーザーヘッド２０は、上記構成の他、ビームエキスパンダ２４、λ／２波長板２６、縮小光学系３６等を備えている。

【0036】

ビームエキスパンダ２４は、レーザー光源２２から出力されたレーザー光Ｌを空間光変調器２８のために適切なビーム径に拡大する。λ／２波長板２６は、空間光変調器２８へのレーザー光入射偏光面を調整する。縮小光学系３６は、第１のレンズ３６ａ及び第２のレンズ３６ｂからなるアフォーカル光学系（両側テレセントリックな光学系）であり、空間光変調器２８で変調されたレーザー光Ｌを集光レンズ３８に縮小投影する。

【0037】

また、図示を省略したが、レーザーヘッド２０には、ウェーハＷとのアライメントを行うためのアライメント光学系、ウェーハＷと集光レンズ３８との間の距離（ワーキングディスタンス）を一定に保つためのオートフォーカスユニット等が備えられている。

【0038】

制御部６０は、ＣＰＵ、メモリ、入出力回路部等からなり、レーザー加工装置１の各部の動作を制御する。具体的には、ウェーハＷの厚み、ウェーハＷの送り速度を制御し、最適な条件で各部（ウェーハ移動部１１やレーザーヘッド２０等）の動作を制御し、改質領域の形成を行う。

【0039】

また、制御部６０は、空間光変調器２８の動作を制御し、所定のホログラムパターンを空間光変調器２８に呈示させる。具体的には、ウェーハＷの内部において互いに異なる２つの位置（すなわち、レーザー光照射面からの深さが互いに異なり、かつ図１のＸ方向に平行なウェーハ移動方向Ｍに互いに離れた２つの位置）にレーザー光Ｌが集光レンズ３８により同時に集光されるように、レーザー光Ｌを変調するためのホログラムパターンを空間光変調器２８に呈示させる。なお、ホログラムパターンは、改質領域の形成位置、照射するレーザー光Ｌの波長、及び集光レンズ３８やウェーハＷの屈折率等に基づいて予め導出され、制御部６０に記憶されている。

【0040】

また、制御部６０は、赤外線カメラ４２で取得された撮像画像に基づき、空間光変調器２８の動作状態を判断する。なお、制御部６０は、制御手段及び判断手段の一例であり、これらの手段は別々に構成されていてもよい。

【0041】

レーザー加工装置１はこの他に、図示しないウェーハ搬送手段、操作板、テレビモニタ、及び表示灯等から構成されている。

【0042】

操作板には、レーザー加工装置１の各部の動作を操作するスイッチ類や表示装置が取り付けられている。テレビモニタは、図示しないＣＣＤカメラで撮像したウェーハ画像の表示、又はプログラム内容や各種メッセージ等を表示する。表示灯は、レーザー加工装置１の加工中、加工終了、非常停止等の稼働状況を表示する。

【0043】

以上のように構成された本実施形態のレーザー加工装置１の作用について説明する。ここでは、ウェーハＷとして、厚さが７７５μｍのシリコン基板を加工する場合を一例に説明する。

【0044】

まず、集光レンズ３８に備えられた補正環を手動（または電動）で回転させることにより、ウェーハＷの内部においてレーザー光Ｌを集光させる位置（改質領域の加工深さ）でレーザー光Ｌの収差が所定の収差以下となるように収差補正量を調整する。なお、本明細書において、「収差補正量」とは、ウェーハＷのレーザー光照射面からの深さに換算した値である。すなわち、例えば収差補正量が５００μｍである場合には、ウェーハＷのレーザー光照射面からの深さが５００μｍの付近位置でレーザー光の収差が最小となることを意味する。本例では、詳細を後述するように、ウェーハＷの厚さが７７５μｍである場合には、補正環による収差補正量は５００μｍに設定されることが好ましい。

【0045】

次に、加工対象となるウェーハＷを吸着ステージ１３に載置した後、図示しないアライメント光学系を用いてウェーハＷのアライメントが行われる。

【0046】

次に、ＸＹＺθテーブル１２をウェーハ移動方向Ｍに加工送りしながら（すなわち、ウェーハＷをレーザー光Ｌに対してウェーハ移動方向Ｍに相対的に移動しながら）、レーザーヘッド２０からウェーハＷに対してレーザー光Ｌを照射する。

【0047】

このとき、レーザー光源２２から出力されたレーザー光Ｌは、ビームエキスパンダ２４によってビーム径が拡大され、第１ミラー３０によって反射され、λ／２波長板２６によって偏光方向が変更されて空間光変調器２８に入射される。

【0048】

空間光変調器２８に入射されたレーザー光Ｌは、空間光変調器２８に呈示された所定のホログラムパターンに従って変調される。その際、制御部６０は、ウェーハＷの内部において互いに異なる２つの位置にレーザー光Ｌが集光レンズ３８により同時に集光されるように、レーザー光Ｌを変調するためのホログラムパターンを空間光変調器２８に呈示させる制御を行う。

【0049】

空間光変調器２８から出射されたレーザー光Ｌは、第２ミラー３１、第３ミラー３２によって順次反射された後、第１のレンズ３６ａを通過し、さらに第４ミラー３３、第５ミラー３４によって反射され、第２のレンズ３６ｂを通過し、集光レンズ３８に入射される。これにより、空間光変調器２８から出射されたレーザー光Ｌは、第１のレンズ３６ａ、第２のレンズ３６ｂからなる縮小光学系３６によってハーフミラー４０を介して集光レンズ３８に縮小投影される。そして、集光レンズ３８に入射されたレーザー光Ｌは、集光レンズ３８によりウェーハＷの内部において互いに異なる２つの位置に集光される。

【0050】

図２は、ウェーハＷの内部に改質領域が形成される様子を示した概念図である。図２に示すように、空間光変調器２８によって変調されたレーザー光Ｌは、集光レンズ３８によってウェーハＷの内部においてレーザー光照射面（ウェーハＷの裏面）からの深さが互いに異なり、かつウェーハ移動方向Ｍに互いに離れた２つの位置に同時に集光される。これにより、それぞれの集光位置の近傍には多光子吸収による改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成される。また、改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成されると、それぞれの改質領域Ｐ１、Ｐ２からウェーハ深さ方向（ウェーハ厚さ方向）に延びる亀裂（クラック）Ｋ１、Ｋ２が形成される。

【0051】

ここで、レーザー光Ｌが集光される２つの位置（集光位置）について詳細に説明すると、本実施形態では、ウェーハＷの内部においてウェーハ深さ方向における第１の位置Ｑ１（図２において右側の集光点）にレーザー光Ｌが集光されるとともに、第１の位置Ｑ１とはウェーハ深さ方向に異なる第２位置Ｑ２（図２において左側の集光点）にレーザー光が集光される。

【0052】

さらに本実施形態においては、第２の位置Ｑ２は、第１の位置Ｑ１よりもウェーハ移動方向Ｍの上流側（図２の左側）に配置され、かつウェーハＷのレーザー光照射面から第１の位置Ｑ１よりも深い位置に配置される。なお、第１の位置Ｑ１と第２の位置Ｑ２との距離（間隔）の一例を示すと、ウェーハ深さ方向の距離は５０μｍである。また、ウェーハ移動方向Ｍの距離は３０μｍである。

【0053】

この状態でウェーハＷがレーザー光Ｌに対して相対的に移動することにより、図３に示すように、レーザー光Ｌの２つの集光点（集光位置Ｑ１、Ｑ２）の移動軌跡に沿って、ウェーハＷの内部には改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成される。これにより、ウェーハＷの切断予定ラインに沿って、ウェーハＷ内部に改質領域Ｐ１と改質領域Ｐ２とが所定の間隔で重ねられた状態で１ラインずつ形成される。

【0054】

このように改質領域Ｐ１と改質領域Ｐ２とが所定の間隔で重ねられた状態で形成されると、ウェーハ深さ方向に重なる２つの改質領域Ｐ１、Ｐ２のうち、時間的に遅れて形成される改質領域Ｐ１の形成時の衝撃により、図３に示すように、改質領域Ｐ１の亀裂Ｋ１と改質領域Ｐ２の亀裂Ｋ２がつながり、さらに改質領域Ｐ２から延びる亀裂Ｋ２がウェーハＷのレーザー光照射面とは反対側の面（ウェーハＷの表面）側に向かって伸展する。

【0055】

すなわち、空間光変調器２８によってレーザー光Ｌを変調することで、ウェーハＷの内部において互いに異なる位置にレーザー光Ｌを同時に集光させることで、スループットを低下させることなく、ウェーハＷの表面からのウェーハＷの最終厚みＴ２の位置を示す目標面とウェーハＷの表面との間の所望の位置まで亀裂を伸展させることができる。なお、図２及び図３において、Ｔ１は、ウェーハＷの初期厚み（本例では７７５μｍ）を示す。

【0056】

切断予定ラインに沿って改質領域Ｐ１、Ｐ２が１ラインずつ形成されると、ＸＹＺθテーブル１２がＹ方向に１ピッチ割り出し送りされ、次のラインも同様に改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成される。

【0057】

全てのＸ方向と平行な切断予定ラインに沿って改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成されると、ＸＹＺθテーブル１２が９０°回転され、先程のラインと直交するラインも同様にして全て改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成される。

【0058】

これにより、全ての切断予定ラインに沿って改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成される。なお、改質領域Ｐ１、Ｐ２は、平面上の位置（ウェーハＷの裏面又は表面から見た位置）は同じであり共に切断予定ラインに沿って形成されるが、ウェーハＷの厚さ方向（ウェーハ深さ方向）の位置のみが異なる。

【0059】

以上のようにして切断予定ラインに沿って改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成された後、図示しない研削装置を用いて、ウェーハＷの裏面を研削して、ウェーハＷの厚さ（初期厚み）Ｔ１を所定の厚さ（最終厚み）Ｔ２（例えば、３０〜５０μｍ）に加工する裏面研削工程が行われる。

【0060】

裏面研削工程の後、ウェーハＷの裏面にエキスパンドテープ（ダイシングテープ）が貼付され、ウェーハＷの表面に貼付されているＢＧテープが剥離された後、ウェーハＷの裏面に貼付されたエキスパンドテープに張力を加えて引き伸ばすエキスパンド工程が行われる。

【0061】

これにより、ウェーハＷの表面側まで伸展した亀裂（クラック）を起点にしてウェーハＷが切断される。すなわち、ウェーハＷが切断予定ラインに沿って切断され、複数のチップに分割される。

【0062】

ここで、本実施形態におけるレーザー加工装置１では、上述したレーザー加工が実施される前に空間光変調器２８の動作状態を確認する動作確認処理が行われる。

【0063】

この動作確認処理では、制御部６０は、ウェーハ移動部１１を制御してレーザーヘッド２０に対するウェーハＷの相対的な高さ（Ｚ方向位置）を調整し、ウェーハＷのレーザー光照射面（裏面）又はデバイス面（表面）にレーザー光Ｌの集光点を合わせた状態で、レーザー光Ｌの集光点からの反射光を赤外線カメラ４２で撮像する。

【0064】

図４は、赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像の一例を示した図である。空間光変調器２８の動作状態が正常である場合、赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像には、図４に示すように、空間光変調器２８で呈示されるホログラムパターン（変調パターン）に対応したレーザー光Ｌのスポット形状が所望の位置、大ききとなる。これに対し、空間光変調器２８の動作状態が異常である場合には、図４に示すようなレーザー光Ｌのスポット形状が形成されなかったり、レーザー光Ｌのスポット形状が所望の位置、大きさで形成されなかったりする。したがって、赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像から空間光変調器２８の動作状態を判断することが可能である。

【0065】

本実施形態では、空間光変調器２８が正常に動作しているときに赤外線カメラ４２で予め撮像した撮像画像（基準画像）が記憶部（不図示）に記憶される。そして、制御部６０は、赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像と記憶部に記憶された基準画像とを比較することにより、空間光変調器２８が正常に動作しているか否かを判断する。制御部６０によって判断された空間光変調器２８の動作状態はテレビモニタや表示灯等の通知手段にてユーザーに通知される。なお、空間光変調器２８の動作状態が異常である場合のみユーザーに通知するようにしてもよい。

【0066】

また、制御部６０は、赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像と記憶部に記憶された基準画像との比較から、集光レンズ３８によるレーザー光Ｌの集光位置（スポット位置）が適切な位置に存在するか、レーザー光Ｌと空間光変調器２８に呈示したホログラムパターン（変調パターン）の位置が適切であるか等の判断も可能である。

【0067】

すなわち、制御部６０は、上述した比較を行うことにより、ウェーハＷの切断加工予定ラインに対するレーザー光Ｌの集光点の水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）やウェーハ深さ方向（Ｚ方向）の基準位置からの位置ずれ量を確認することができる。換言すれば、各改質領域Ｐ１、Ｐ２のウェーハ深さ方向位置（Ｚ方向位置）や加工送り方向位置（Ｘ方向位置）やインデックス送り方向位置（Ｙ方向位置）が適正な位置に形成されているか否かを容易に判定することが可能となる。

【0068】

また、本実施形態では、制御部６０は、上述した動作確認処理によってレーザー光Ｌのスポット形状の位置や大きさが所望の位置や大きさとなるように、上述した位置ずれ量が小さくなるように空間光変調器２８が呈示するホログラムパターンを制御する構成を好ましく採用することができる。この構成によれば、空間光変調器２８が正常に動作していないと判断された場合でも空間光変調器２８の動作が正常となるように自動的にホログラムパターンを補正しながら、レーザー光Ｌのスポット形状を最適な位置、大きさにすることができ、ウェーハの分割に適した改質領域を形成することが可能となり、安定した品質のチップを得ることができる。

【0069】

以上のとおり、本実施形態によれば、集光レンズ３８によるレーザー光Ｌの集光点からの反射光を赤外線カメラ４２で撮像した撮像画像から空間光変調器２８の動作状態を容易に確認することが可能となる。

【0070】

また、本実施形態では、空間光変調器２８を用いて複数の位置にレーザー光Ｌを集光レンズ３８で同時に集光させつつ、集光レンズ３８の補正環を用いてレーザー光Ｌの集光点を合わせる位置の収差が所定の収差以下となるように補正するようにしたので、ウェーハＷの厚さが厚い場合でも、ウェーハ深さ方向の深い位置にレーザー光Ｌを効率良く集光させることが可能となる。また、ウェーハ深さ方向に重なる改質領域Ｐ１、Ｐ２が形成されたときに生じる亀裂をウェーハＷのレーザー光照射面とは反対側の面（ウェーハＷの表面）側まで十分に伸展させることができる。したがって、効率よくウェーハＷをチップに分割することが可能となり、安定した品質のチップを効率よく得ることができる。

【0071】

ここで、上記効果を検証するために本発明者等が行った実験について説明する。

【0072】

この実験では、実施例として、上述した実施形態のレーザー加工装置１を用いた。また、比較例として、上述した特許文献２と同様の構成を有する装置、すなわち、空間光変調器を用いて、ウェーハの内部において互いに異なる２つの位置にレーザー光を集光させつつ、それぞれの位置における収差補正を行う装置（第１の比較例）、及び空間光変調器を用いずに（すなわち、１つの集光位置にレーザー光を集光させ）、補正環を用いて収差補正を行う装置（第２の比較例）を用いた。

【0073】

実験条件としては、厚さが７７５μｍのウェーハ（シリコン基板）に対し、それぞれの装置で収差補正量を変化させながら改質領域を形成したときのウェーハ深さ方向に生じる総亀裂長さ（亀裂の全体長さ）と亀裂下端長さ（改質領域の下端からウェーハ表面側に延びる亀裂の長さ）を測定した（図３参照）。

【0074】

図５は、収差補正量と総亀裂長さの関係を示したグラフである。図６は、収差補正量と亀裂下端長さの関係を示したグラフである。図５及び図６において、横軸は収差補正量を示し、縦軸はそれぞれ各装置により生じた総亀裂長さ、亀裂下端長さをそれぞれ示している。

【0075】

図５及び図６から分かるように、実施例では、第１の比較例や第２の比較例に比べて、すべての収差補正量にわたって総亀裂長さが長くなり、しかも亀裂下端長さも長くなる結果が得られた。

【0076】

特に収差補正量が５００μｍである場合、実施例では、総亀裂長さが約２５０μｍ、亀裂下端長さが約８０μｍとなり、第１の比較例や第２の比較例よりも非常に優れた結果が得られている。この結果より、本実施形態のレーザー加工装置１においては、厚さが７７５μｍのウェーハＷを加工する場合には、補正環による収差補正量を５００μｍ（すなわち、ウェーハＷのレーザー光照射面（ウェーハＷの裏面）からの深さが５００μｍの位置で収差が最小となるように）に設定することが好ましい。そして、この深さ（５００μｍ）の近傍でレーザー光Ｌが互いの深さが異なる２つの位置に集光レンズ３８で同時に集光されるように空間光変調器２８でレーザー光を変調することにより、ウェーハＷの内部に形成される改質領域からウェーハ深さ方向に延びる亀裂を十分に伸展させることができる。これにより、効率よくウェーハをチップに分割することが可能となり、安定した品質のチップを効率よく得ることができる。

【0077】

なお、本実施形態では、収差補正手段が、集光レンズ３８に備えられた補正環で構成される態様を示したが、これに限定されず、集光レンズ３８と空間光変調器２８との間のレーザー光Ｌの光路上（例えば、集光レンズ３８と第２のレンズ３６ｂとの間）に補正光学系を配置した構成としてもよい。この場合、図示しない駆動手段で補正光学系を構成する複数のレンズ群の間隔を変化させることにより、ウェーハＷの内部において発生するレーザー光Ｌの収差を補正することができる。

【0078】

また、補正環付き対物レンズを使用する代わりに、集光レンズ３８として、ウェーハＷの内部においてウェーハ深さ方向の所定の位置でレーザー光Ｌの収差が最小となるように予め補正機能を組み込んだ対物レンズ（赤外対物レンズ）を用いてよい。この場合、ウェーハＷの厚みやレーザー光の集光位置（改質領域の加工深さ）に応じて収差補正量は固定的なものとなるが、例えば収差補正量が５００μｍとなる位置で収差が最小となる対物レンズを用いることにより、改質領域からウェーハ深さ方向に亀裂を十分に伸展させることができる。

【0079】

また、本実施形態においては、ウェーハＷの内部においてウェーハ深さ方向に互いに異なる２つの位置にレーザー光Ｌを同時に集光させて、それぞれの集光位置に改質領域Ｐ１、Ｐ２を同時に形成する２段加工を行った後、ウェーハＷの裏面を研削する裏面研削工程を行い、ウェーハＷを個々のチップに分割する方法を採用したが、これに限定されず、例えば、必要に応じてウェーハＷの内部においてレーザー光Ｌを集光させる位置（改質領域の加工深さ）を変えながら複数回レーザー加工を行ってもよい。その際、改質領域の加工深さに応じて、空間光変調器２８に呈示させるホログラムパターンに、ウェーハＷの内部の収差を補正する補正パターン（この場合は、補正環による補正を打ち消す方向のパターン）を重畳させることにより、ウェーハＷのレーザー光照射面から比較的深い部分に対しても、適切な収差補正が可能となる。

【0080】

また、本実施形態においては、図２に示したように、レーザー光Ｌが集光される２つの位置（集光位置）Ｑ１、Ｑ２の配置関係として、第２の位置Ｑ２は、第１の位置Ｑ１よりもウェーハ移動方向Ｍの上流側（図２の左側）に配置され、かつウェーハＷのレーザー光照射面から第１の位置Ｑ１よりも深い位置に配置される構成を採用したが、これに限定されず、図７に示すように、図２に示した構成とは逆の構成でもよい。すなわち、第２の位置Ｑ２は、第１の位置Ｑ１よりもウェーハ移動方向Ｍの上流側（図７の左側）に配置され、かつウェーハＷのレーザー光照射面から第１の位置Ｑ１よりも浅い位置に配置される構成であってもよい。

【0081】

また、本実施形態では、ウェーハＷの内部において互いに異なる２つの位置にレーザー光Ｌが集光レンズ３８で同時に集光されるように空間光変調器２８でレーザー光Ｌの変調を行っているが、レーザー光Ｌを集光させる位置は２つに限らず、３つ以上であってもよい。

【0082】

また、本実施形態では、空間光変調器２８として、反射型の空間光変調器（ＬＣＯＳ−ＳＬＭ）を用いたが、これに限定されず、ＭＥＭＳ−ＳＬＭ又はＤＭＤ(デフォーマブルミラーデバイス)等であってもよい。また、空間光変調器２８は、反射型に限定されず、透過型であってもよい。更に、空間光変調器２８としては、液晶セルタイプ又はＬＣＤタイプ等が挙げられる。

【0083】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0084】

１０…レーザー加工装置、１１…ウェーハ移動部、１２…ＸＹＺθテーブル、１３…吸着ステージ、２０…レーザーヘッド、２２…レーザー光源、２４…ビームエキスパンダ、２６…λ／２波長板、２８…空間光変調器、３６…縮小光学系、３８…集光レンズ、４０…ハーフミラー、４２…赤外線カメラ、６０…制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】