特許6621057照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法

発明の名称　照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 152 位（220件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 128 位（218件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6621057

公報発行日　2019年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6621057

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