特許6621950ウェーハ剥離洗浄装置

発明の名称　ウェーハ剥離洗浄装置

出願人　株式会社東京精密　（識別番号 151494）

　　　　特許公開件数ランキング 285 位（34件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 211 位（44件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6621950

公報発行日　2019年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6621950

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