特許6622720研磨パッドの表面性状測定装置を備えたＣＭＰ装置

発明の名称　研磨パッドの表面性状測定装置を備えたＣＭＰ装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 182 位（48件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 265 位（29件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6622720

公報発行日　2019年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6622720

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