特許6625997タングステンＣＭＰ用の組成物

発明の名称　タングステンＣＭＰ用の組成物

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1045 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6625997

公報発行日　2019年12月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6625997

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