特許6626800プラズマ処理装置のシャワープレートを検査する方法

発明の名称　プラズマ処理装置のシャワープレートを検査する方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 30 位（228件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25 位（235件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6626800

公報発行日　2019年12月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6626800

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