特許 6633102 流体制御装置及びガスライン部の着脱方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6633102

(24)【登録日】2019年12月20日

(45)【発行日】2020年1月22日

(54)【発明の名称】流体制御装置及びガスライン部の着脱方法

(51)【国際特許分類】

   F16K 27/00 20060101AFI20200109BHJP

   F16B 5/10 20060101ALI20200109BHJP

   F15B 11/00 20060101ALN20200109BHJP

【ＦＩ】

   F16K27/00 B

   F16B5/10 B

   !F15B11/00 D

【請求項の数】7

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2017-564207(P2017-564207)

(86)(22)【出願日】2017年1月20日

(86)【国際出願番号】JP2017001855

(87)【国際公開番号】WO2017130850

(87)【国際公開日】20170803

【審査請求日】2018年7月24日

(31)【優先権主張番号】特願2016-14917(P2016-14917)

(32)【優先日】2016年1月28日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(73)【特許権者】

【識別番号】318009126

【氏名又は名称】株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ ＥＬＥＣＴＲＩＣ

(74)【代理人】

【識別番号】100183380

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 裕司

(74)【代理人】

【識別番号】110000279

【氏名又は名称】特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】落石 将彦

(72)【発明者】

【氏名】松田 隆博

(72)【発明者】

【氏名】宇波 博志

(72)【発明者】

【氏名】才記 由次

【審査官】 谿花 正由輝

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−２４１８２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６１−１９１９５９（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ２７／００

Ｆ１６Ｂ ５／１０

Ｆ１５Ｂ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体制御機器が取り付けられたライン支持部材を備えるガスライン部が、フレームに着脱可能に取り付けられた流体制御装置であって、
前記フレームは、第１横フレーム部材およびその下側に位置する第２横フレーム部材を有し、
前記第１横フレーム部材は、左右方向に延びる引掛部材と、前記引掛部材よりも下側に位置し前方に開口する複数の第１溝が形成された下側部とを備え、
前記ライン支持部材は、機器載置部と、前記機器載置部の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部と、を有し、
各側板部は、前記引掛部材よりも下側に位置する基部と、前記基部よりも上側かつ前記引掛部材の後側に位置する上方部とを有し、
前記基部には、後方へ開口し、前記第１溝に嵌め込まれた第２溝が形成され、
前記上方部には、前方へ突出し、前記引掛部材に上側から当接する突起部が設けられている、流体制御装置。

【請求項2】

前記上方部の後端には、その上端から下方へ行くにつれて前記機器載置部から離間するように傾斜する傾斜面が形成されている、請求項１に記載の流体制御装置。

【請求項3】

前記ライン支持部材の下端には、ボルトにより前記第２横フレーム部材に固定されるボルト固定部が設けられ、
前記ボルト固定部は、前記ボルトにより前記第２横フレーム部材に固定されていない状態では、下方にいくにつれて前方へ向かうように傾斜している、請求項１または請求項２に記載の流体制御装置。

【請求項4】

前記第２横フレーム部材には、左右方向に並ぶ複数の第１固定孔が形成され、
前記ライン支持部材の下端には、第２固定孔が形成されたボルト固定部が設けられ、
前記第２固定孔および対応する前記第１固定孔にボルトが挿入されることにより、前記ボルト固定部は、前記第２横フレーム部材に固定される、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流体制御装置。

【請求項5】

前記第２横フレーム部材には、左右方向に延び前方へ開口するスリットが形成され、
前記ライン支持部材の下端には、第２固定孔が形成されたボルト固定部が設けられ、
前記第２固定孔および前記スリットにボルトが挿入されることにより、前記ボルト固定部は、前記第２横フレーム部材に固定される、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流体制御装置。

【請求項6】

第１横フレーム部材および前記第１横フレーム部材の下側に位置する第２横フレーム部材を有し、前記第１横フレーム部材は、左右方向に延びる引掛部材と前記引掛部材よりも下側に位置し前方に開口する複数の第１溝が形成された下側部とを備える、フレームに対して、
流体制御機器が取り付けられる機器載置部と、前記機器載置部の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部と、を有するライン支持部材を備え、各側板部は、基部と、前記基部よりも上側に位置する上方部とを有し、前記基部には、後方へ開口する第２溝が形成され、前記上方部には、前方へ突出する突起部が設けられた、ガスライン部の着脱方法であって、
前記ガスライン部を上下方向に対して傾斜させた状態で、前記ライン支持部材の各基部の前記第２溝を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の前記第１溝に嵌め込み、前記上方部を前記引掛部材の後側に位置させ、
前記第２溝を中心に、前記ガスライン部を前記上方部が前方へ向かうように回転させて、前記上方部の前記突起部を前記第１横フレーム部材の前記引掛部材に上側から当接させ、前記ガスライン部を前記第１横フレーム部材に対し吊り下げられた状態にする、ガスライン部の着脱方法。

【請求項7】

前記上方部と前記第２溝との間には、下方に面する段差面を有する段差部が設けられ、
前記ガスライン部を上下方向に対して傾斜させた状態で、前記段差部の前記段差面を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の上面に載置し、
前記ガスライン部を斜め上方に移動させて、前記ライン支持部材の各基部の前記第２溝を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の前記第１溝に嵌め込む、請求項６に記載のガスライン部の着脱方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置、およびガスライン部の着脱方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、半導体製造装置の筐体の垂直な壁面に固定される流体制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。各ガスライン部のライン保持部材は、その鉤状の上端部を上横フレーム部材の切欠きに引掛け、ライン保持部材の下端を下横フレームのスリットに嵌め込み、上部カバーおよび下部カバーをボルトにより上横フレーム部材および下横フレーム部材に対し固定することにより、ライン保持部材の上端部および下端部を上横フレーム部材および下横フレーム部材に対し固定している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２−２４１８２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１における流体制御装置では、ライン保持部材を着脱する際には、上部カバーおよび下部カバーを取り外す必要があるが、他の機器との関係で、上部カバーの上側にあまりスペースはなく、上部カバーの取り外しが困難であった。さらに、ライン保持部材を上横フレーム部材に対し着脱する際には、ライン保持部材の上端部を一度上横フレームの上側を通過させる必要があるが、上部カバーの上側にあまりスペースはないため、ライン保持部材を着脱するのは困難であった。また、ボルトを用いてライン保持部材を固定するので作業効率が良くなかった。

【0005】

そこで本発明は、ガスライン部をフレームに対し効率よくかつ容易に装着することが可能な流体制御装置およびガスライン部の着脱方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を解決するために、本発明の一態様である流体制御装置は、流体制御機器が取り付けられたライン支持部材を備えるガスライン部が、フレームに着脱可能に取り付けられた流体制御装置であって、前記フレームは、第１横フレーム部材およびその下側に位置する第２横フレーム部材を有し、前記第１横フレーム部材は、左右方向に延びる引掛部材と、前記引掛部材よりも下側に位置し前方に開口する複数の第１溝が形成された下側部とを備え、前記ライン支持部材は、機器載置部と、前記機器載置部の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部と、を有し、各側板部は、前記引掛部材よりも下側に位置する基部と、前記基部よりも上側かつ前記引掛部材の後側に位置する上方部とを有し、前記基部には、後方へ開口し、前記第１溝に嵌め込まれた第２溝が形成され、前記上方部には、前方へ突出し、前記引掛部材に上側から当接する突起部が設けられている。

【0007】

また、前記上方部の後端には、その上端から下方へ行くにつれて前記機器載置部から離間するように傾斜する傾斜面が形成されても良い。

【0008】

また、前記ライン支持部材の下端には、ボルトにより前記第２横フレーム部材に固定されるボルト固定部が設けられ、前記ボルト固定部は、前記ボルトにより前記第２横フレーム部材に固定されていない状態では、下方にいくにつれて前方へ向かうように傾斜しても良い。

【0009】

また、前記第２横フレーム部材には、左右方向に並ぶ複数の第１固定孔が形成され、前記ライン支持部材の下端には、第２固定孔が形成されたボルト固定部が設けられ、前記第２固定孔および対応する前記第１固定孔にボルトが挿入されることにより、前記ボルト固定部は、前記第２横フレーム部材に固定されても良い。

【0010】

また、前記第２横フレーム部材には、左右方向に延び前方へ開口するスリットが形成され、前記ライン支持部材の下端には、第２固定孔が形成されたボルト固定部が設けられ、前記第２固定孔および前記スリットにボルトが挿入されることにより、前記ボルト固定部は、前記第２横フレーム部材に固定されても良い。

【0011】

また、本発明の一態様であるガスライン部のフレームに対する装着方法は、第１横フレーム部材および前記第１横フレーム部材の下側に位置する第２横フレーム部材を有し、前記第１横フレーム部材は、左右方向に延びる引掛部材と前記引掛部材よりも下側に位置し前方に開口する複数の第１溝が形成された下側部とを備える、フレームに対して、流体制御機器取り付けられる機器載置部と、前記機器載置部の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部と、を有するライン支持部材を備え、各側板部は、基部と、前記基部よりも上側に位置する上方部とを有し、前記基部には、後方へ開口する第２溝が形成され、前記上方部には、前方へ突出する突起部が設けられた、ガスライン部の着脱方法であって、前記ガスライン部を上下方向に対して傾斜させた状態で、前記ライン支持部材の各基部の前記第２溝を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の前記第１溝に嵌め込み、前記上方部を前記引掛部材の後側に位置させ、前記第２溝を中心に、前記ガスライン部を前記上方部が前方へ向かうように回転させて、前記上方部の前記突起部を前記第１横フレーム部材の前記引掛部材に上側から当接させ、前記ガスライン部を前記第１横フレーム部材に対し吊り下げられた状態にする。

【0012】

また、前記上方部と前記第１溝との間には、下方に面する段差面を有する段差部が設けられ、前記ガスライン部を上下方向に対して傾斜させた状態で、前記段差部の前記段差面を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の上面に載置し、前記ガスライン部を斜め上方に移動させて、前記ライン支持部材の各基部の前記第２溝を、前記第１横フレーム部材の前記下側部の前記第１溝に嵌め込んでも良い。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、ガスライン部をフレームに対し容易に装着することが可能な流体制御装置およびガスライン部の着脱方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施形態に係る流体制御装置の斜視図を示す。

【図2】一つのガスライン部がフレームに装着された状態を示す図である。

【図3】（ａ）は、第１横フレーム部材を一部省略した斜視図を示し、（ｂ）は、第１横フレーム部材の一部拡大図を示す。

【図4】第２横フレーム部材の一部省略斜視図を示す。

【図5】（ａ）は、ライン支持部材の一部省略斜視図を示し、（ｂ）は、ライン支持部材の一部省略側面図を示す。

【図6】ガスライン部を第１横フレーム部材および第２横フレーム部材に装着した状態の一部省略側面図を示す。

【図7】ライン支持部材を第１横フレーム部材および第２横フレーム部材に装着した状態におけるライン支持部材の係合部および固定部付近の拡大斜視図を示す。

【図8】ガスライン部のフレームへの装着方法の説明図を示す。

【図9】第２横フレーム部材の変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明の実施形態に係る流体制御装置１およびガスライン部３の着脱方法について、図面を参照して説明する。以下の説明において図１に示すように上下方向、左右方向、および前後方向を定義する。

【0016】

図１は、本実施形態に係る流体制御装置１の斜視図を示している。図２は、一つのガスライン部３がフレーム２に装着された状態を示す図である。

【0017】

図１に示すように、流体制御装置１は、フレーム２と、複数のガスライン部３（図の簡略化のため一つのガスライン部３にのみ参照番号を付している。）とを備える。

【0018】

フレーム２は、例えば半導体製造装置の筐体の垂直な壁面に固定される。フレーム２は、方形の枠状をなし、第１横フレーム部材１０と、第２横フレーム部材２０と、第１縦フレーム部材４、第２縦フレーム部材５とを備える。第２横フレーム部材２０は、第１横フレーム部材１０と平行をなし、第１横フレーム部材１０の下側に位置している。第１縦フレーム部材４および第２縦フレーム部材５は、第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０に直交し、それらの端部にそれぞれ接続されている。各フレーム部材１０、２０、４、５は、例えばステンレス鋼により構成されている。

【0019】

図２に示すように、各ガスライン部３は、第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０に支持され、ライン支持部材３０と、複数の継手６と、複数の流体制御機器７とを備える。各継手６は、図示せぬボルトによりライン支持部材３０に固定されている。複数の流体制御機器７は、自動弁、手動弁、レギュレータ、圧力計、および流量制御機器（例えば、マスフローコントローラ（ＭＦＣ：Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ））等により構成され、継手６に対しボルト８（図の簡略化のため一つのボルト８にのみ参照番号を付している。）により固定されている。

【0020】

次に、第１横フレーム部材１０の詳細な構造について図３を参照して説明する。図３（ａ）は、第１横フレーム部材１０の一部省略斜視図を示し、図３（ｂ）は、第１横フレーム部材１０の一部拡大図を示している。

【0021】

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、第１横フレーム部材１０は、板金を折り曲げることにより形成され、前方に開口１０ａを有する断面略コの字状をなし、第１上側部１１と、第１後側部１２と、第１下側部１３とを備える。

【0022】

第１上側部１１は、左右方向に延び上下方向に直交する平板状をなし、その両端には、第１、２縦フレーム部材４、５を取り付けるための取付部１４がそれぞれ設けられている。一対の取付部１４の間に位置する第１上側部１１の前端には、下側に突出する第１前側部１５が設けられている。第１前側部１５の後面１５Ａには、その左右方向の全長に亘って延びる引掛部材１６が、ボルト１５Ｂにより固定されている。

【0023】

第１後側部１２は、第１上側部１１の後端から下側に向かって突出し、前後方向に直交し左右方向に延びる平板状をなしている。

【0024】

第１下側部１３は、第１後側部１２の下端から前側に向かって突出し、左右方向に延び上下方向に直交する平板状をなし、その両端には、第１、２縦フレーム部材４、５を取り付けるための取付部１７がそれぞれ設けられている。第１下側部１３は、上面１３Ａと下面１３Ｄを有している。第１下側部１３の前端部１３Ｂには、前方に開口する複数の第１溝１３ｃが形成されている（図の簡略化のため一つの第１溝１３ｃにのみ参照番号を付している。）。各第１溝１３ｃは、後方にいくにつれ徐々に幅が狭くなるように形成されている。

【0025】

次に、第２横フレーム部材２０の詳細な構造について図４を参照して説明する。

【0026】

図４は、第２横フレーム部材２０の一部省略斜視図を示している。

【0027】

図４に示すように、第２横フレーム部材２０は、板金を折り曲げることにより形成され、後方が開口する断面略逆コの字状をなし、第２上側部２１と、第２前側部２２と、第２下側部２３とを備える。

【0028】

第２上側部２１は、左右方向に延び上下方向に直交する平板状をなしている。第２前側部２２は、第２上側部２１の前端から下側に向かって突出し、左右方向に延び前後方向に直交する平板状をなしている。第２前側部２２の両端には、第１、２縦フレーム部材４、５を取り付けるための取付部２４がそれぞれ設けられている。第２前側部２２の一対の取付部２４の間には、左右方向に並ぶ複数の第１固定孔２２ａ（図の簡略化のため一つの第１固定孔２２ａにのみ参照番号を付している。）が形成されている。第２下側部２３は、第２前側部２２の下端から後方に向かって突出し、左右方向に延び上下方向に直交する平板状をなしている。

【0029】

次に、ライン支持部材３０の詳細な構造について図５を参照して説明する。

【0030】

図５（ａ）は、ライン支持部材３０の一部省略斜視図を示し、図５（ｂ）は、ライン支持部材３０の一部省略側面図を示している。

【0031】

ライン支持部材３０は、例えばステンレス鋼の板材を折り曲げることにより形成されている。ライン支持部材３０は、上下方向に延びる平板状の機器載置部３１と、機器載置部３１の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部３２と、機器載置部３１の下端に設けられた固定部３３とを有する。

【0032】

機器載置部３１には、継手６を固定する図示せぬボルトと螺合する継手孔３１ａ（図の簡略化のため一つの継手孔３１ａにのみ参照番号を付している。）が複数形成されている。

【0033】

一対の側板部３２は、同一の形状を有している。各側板部３２は、上下方向に延びる平板状をなし、係合部３４と、係合部３４の下側に位置する板状部３５とを有する。係合部３４は、ライン支持部材３０がフレーム２に装着されたときに第１横フレーム部材１０の第１下側部１３よりも上側に位置する。

【0034】

係合部３４は、機器載置部３１の右縁から直接後方へ突出する基部３６と、基部３６の上端から上方へ延びる上方部３７とを備える。上方部３７には、その上端部から前方へ突出する突起部３７Ａが設けられている。基部３６、上方部３７、および突起部３７Ａにより、前方へ開口する凹部３７ｂが形成されている。上方部３７の後端には、その上端から下方へ行くにつれて機器載置部３１から離間するように傾斜する第１傾斜面３７Ｃが形成されている。

【0035】

基部３６の下端には、後方へ開口する第２溝３６ａが形成されている。第２溝３６ａの下側部分は、機器載置部３１から離間するにつれて下方へ傾斜する第２傾斜面３６Ｂにより形成されている。基部３６の後端であって第２溝３６ａの上側には、切欠き３６ｃが上下方向に沿って形成されている。当該切欠き３６ｃにより、基部３６の後端には、下方に面する段差面３６Ｄを有する段差部３６Ｅが形成されている。なお、基部３６の後端は、第１傾斜面３７Ｃの下端から下方に延びる第１後面３６Ｆと、第１後面３６Ｆよりも下側かつ前側に位置し切欠き３６ｃを形成する第２後面３６Ｇと、第１後面３６Ｆと第２後面３６Ｇを接続する段差面３６Ｄとにより構成される。

【0036】

固定部３３は、機器載置部３１の下端に接続され後方へ突出する接続部３３Ａと、接続部３３Ａの後端から下方へ突出するボルト固定部３３Ｂとを備える。接続部３３Ａは、機器載置部３１に対して直角に折り曲げられている。ボルト固定部３３Ｂは、下方にいくにつれて前方へ向かうように傾斜しており、ボルト９を挿入するための一対の第２固定孔３３ｃが形成されている。

【0037】

次に、ガスライン部３をフレーム２に装着した状態におけるライン支持部材３０と第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０との関係について、図６、７を参照して説明する。

【0038】

図６は、ガスライン部３を第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０に装着した状態の一部省略側面図を示している。図７は、ライン支持部材３０を第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０に装着した状態におけるライン支持部材３０の係合部３４および固定部３３付近の拡大斜視図を示している。

【0039】

図６、７に示すように、ガスライン部３を第１横フレーム部材１０および第２横フレーム部材２０に装着した状態において、ライン支持部材３０の各上方部３７は、第１横フレーム部材１０の第１前側部１５の後方に位置している。そして、各上方部３７の突起部３７Ａは、引掛部材１６に上側から当接し、上方部３７の凹部３７ｂ内に引掛部材１６が位置している。

【0040】

また、図７に示すように、ライン支持部材３０の各基部３６の第２溝３６ａが、相欠き継ぎのように第１横フレーム部材１０の第１下側部１３の第１溝１３ｃに前方から嵌め込まれ、左右方向において、ガスライン部３がフレーム２に対して位置決めされている。第１溝１３ｃは、側板部３２が２つ収まる寸法に形成されているが、後方にいくにつれて幅が狭くなって（テーパー部分を形成して）いる。さらに、一対の側板部３２の間隔は、右側の側板部３２が、対応する第１溝１３ｃの左側のテーパー部分に接し、左側の側板部３２が、対応する第１溝１３ｃの右側のテーパー部分に接する間隔で形成されている。このため、ライン支持部材３０の各基部３６の第２溝３６ａが奥まで挿入された際に、ガスライン部３がフレーム２に対して確実に位置決めされる。

【0041】

また、ボルト９が、ボルト固定部３３Ｂに各第２固定孔３３ｃおよび第２前側部２２の第１固定孔２２ａに挿入され、ライン支持部材３０の固定部３３が第２横フレーム部材２０に固定されている。上記のように、ボルト固定部３３Ｂは、下方にいくにつれて前方へ向かうように傾斜しているので、ボルト固定部３３Ｂを第２横フレーム部材２０の第２前側部２２に当接するようにボルト９により固定すると、ライン支持部材３０の上方部３７に前方側への力が作用する。これにより、ライン支持部材３０の上方部３７は、第１横フレーム部材１０の第１前側部１５に押しつけられる。

【0042】

次に、ガスライン部３の着脱方法について図８を参照して説明する。

【0043】

図８は、ガスライン部３のフレーム２への装着方法の説明図を示している。

【0044】

図８（ａ）に示すように、ガスライン部３を上下方向に対して傾斜して保持して、ガスライン部３の係合部３４の一部を、開口１０ａを介して第１横フレーム部材１０内に挿入し、各側板部３２の係合部３４の基部３６を第１横フレーム部材１０の第１下側部１３の第１溝１３ｃに挿入させながら、各段差部３６Ｅの段差面３６Ｄを第１下側部１３の上面１３Ａ上に載置する。これにより、ガスライン部３の自重の大部分が、第１横フレーム部材１０により支持される。

【0045】

図８（ｂ）に示すように、各係合部３４の基部３６の第２後面３６Ｇを第１下側部１３の第１溝１３ｃに沿って斜め上方に滑らせながら、図８（ｃ）に示すように、係合部３４の基部３６の第２傾斜面３６Ｂが第１下側部１３の下面１３Ｄに当接するまでガスライン部３を上昇させる。

【0046】

次に、ライン支持部材３０の各基部３６の第２溝３６ａを、第１横フレーム部材１０の第１下側部１３の第１溝１３ｃに嵌め込みながら、第２溝３６ａを中心にガスライン部３をその固定部３３が第２前側部２２に近づくように回転させる。これにより、ライン支持部材３０の各上方部３７の突起部３７Ａは、第１横フレーム部材１０の第１前側部１５に設けられた引掛部材１６に上側から当接し、上方部３７の凹部３７ｂ内に引掛部材１６が位置する。この結果、ガスライン部３は、第１横フレーム部材１０に対し吊り下げられた状態となる。

【0047】

ボルト９を、ボルト固定部３３Ｂに各第２固定孔３３ｃおよび第２前側部２２の第１固定孔２２ａに挿入し、ライン支持部材３０の固定部３３を第２横フレーム部材２０に固定する。

【0048】

また、ガスライン部３をフレーム２から取り外す際には、図８（ａ）〜（ｄ）に基づき説明した順序の逆を行う。すなわち、ボルト９を固定部３３のボルト固定部３３Ｂおよび第２横フレーム部材２０の第２前側部２２から取外し、第２溝３６ａを中心にガスライン部３をその固定部３３が第２前側部２２から離間するように回転させる。各基部３６の第２溝３６ａを第１下側部１３の第１溝１３ｃから外して、各基部３６の第２後面３６Ｇを第１下側部１３の第１溝１３ｃに沿って滑らせながら、各段差部３６Ｅの段差面３６Ｄが第１下側部１３の上面１３Ａに当接するまでガスライン部３を下降させる。そして、各係合部３４を第１横フレーム部材１０から離間させることによって、ガスライン部３がフレーム２から取り外される。

【0049】

以上のように、本実施形態の流体制御装置１によれば、上下方向に延びるライン支持部材３０は、平板状の機器載置部３１と、機器載置部３１の左右両縁から後方へ突出する一対の側板部３２とを有する。各側板部３２は、引掛部材１６よりも下側に位置する基部３６と、基部３６よりも上側かつ引掛部材１６の後側に位置する上方部３７とを有する。基部３６には、後方へ開口し、第１横フレーム部材１０の第１溝１３ｃに嵌め込まれた第２溝３６ａが形成され、上方部３７には、前方へ突出し、引掛部材１６に上側から当接する突起部３７Ａが設けられている。

【0050】

かかる構成により、ライン支持部材３０の各基部３６の第２溝３６ａを、第１横フレーム部材１０の第１下側部１３の第１溝１３ｃに嵌め込み、上方部３７を引掛部材１６の後側に位置させ、第２溝３６ａを中心に、ガスライン部３を上方部３７が前方へ向かうように回転させて、上方部３７の突起部３７Ａを第１横フレーム部材１０の引掛部材１６に上側から当接させ、ガスライン部３を第１横フレーム部材１０に対し吊り下げられた状態にすることができる。よって、第１横フレーム部材１０の上側にスペースがなくても、ガスライン部３をフレーム２に対し容易に装着することができる。また、ボルト等の固定具を用いずに装着するので、ガスライン部３をフレーム２に対する装着時の作業効率を向上させることができる。なお、装着時のみでははく、ガスライン部３をフレーム２から取り外す際にも、容易に取り外すことができ、作業効率を向上させることができる。

【0051】

また、上方部３７の後端には、その上端から下方へ行くにつれて機器載置部３１から離間するように傾斜する第１傾斜面３７Ｃが形成されている。かかる構成により、第１横フレーム部材１０にあまり奥行きが無い場合であっても、ライン支持部材３０の第１横フレーム部材１０への装着を容易に行うことができる。

【0052】

また、ボルト固定部３３Ｂは、ボルト９により第２横フレーム部材２０に固定されていない状態では、下方にいくにつれて前方へ向かうように傾斜しているので、ボルト固定部３３Ｂを第２横フレーム部材２０に当接するようにボルト９により固定すると、ライン支持部材３０の上方部３７に前方側への力が作用する。これにより、ライン支持部材３０の上方部３７は、第１横フレーム部材１０の第１前側部１５に押しつけられるので、ガスライン部３に対する振動による影響を低減させることができる。

【0053】

ボルト固定部３３Ｂの一対の第２固定孔３３ｃおよび第２横フレーム部材２０の対応する第１固定孔２２ａにボルト９が挿入されることにより、ボルト固定部３３Ｂは、第２横フレーム部材２０に固定される。かかる構成により、ガスライン部３に対する振動による影響を低減させることができる。

【0054】

また、ガスライン部３をフレーム２に装着する際に、ガスライン部３を上下方向に対して傾斜させた状態で、基部３６の段差部３６Ｅの段差面３６Ｄを、第１横フレーム部材１０の第１下側部１３の上面１３Ａに載置する。これにより、ガスライン部３の自重の大部分を、第１横フレーム部材１０に支持させることができるので、作業者の負担を軽減することができ、ガスライン部３をフレーム２に対する着脱時の作業効率を向上させることができる。

【0055】

また、第１下側部１３に形成された各第１溝１３ｃは、後方にいくにつれ徐々に幅が狭くなるように形成されているので、第１溝１３ｃに対する基部３６に形成された第２溝３６ａの嵌め込みを容易に行うことができる。また、基部３６に形成された第２溝３６ａの下側部分は、機器載置部３１から離間するにつれて下方へ傾斜する第２傾斜面３６Ｂにより形成されているので、第１下側部１３の下面１３Ｄから離間させることができる。これにより、ガスライン部３に対する振動による影響を低減させることができる。

【0056】

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。

【0057】

例えば、図９に示すような第２横フレーム部材１２０に左右方向に延びるスリット１２０ａを形成して、スリット１２０ａ内にめねじ部材（図示せず）を挿入することで、一対の第２固定孔３３ｃおよび前記スリット１２０ａにボルト９を挿入して、ボルト固定部３３Ｂを第２横フレーム部材１２０に固定しても良い。かかる構成により、ボルト固定部３３Ｂを第２横フレーム部材１２０の任意の位置に固定することができる。

【0058】

また、ライン支持部材３０の固定部３３を第１横フレーム部材２０に固定するのに、従来技術のような左右方向に延びるカバーを用いて固定しても良い。また、第２固定部３３Ｂは２本のボルト９で第２横フレーム部材２０に対し固定するようにしたが、第２固定部３３Ｂの左右方向の中央部に一つのボルト孔３３ｃを形成し、一本のボルト９のみで、第２固定部３３Ｂを第２横フレーム部材２０に固定しても良い。また、フレーム２は、一対の横フレーム部材と一対の縦フレーム部材とにより構成されていたが、一対の横フレーム部材から構成され、各横フレーム部材が半導体製造装置の筐体の垂直な壁面に固定される構成であっても良い。

【符号の説明】

【0059】

１：流体制御装置
２：フレーム
３：ガスライン部
４：第１縦フレーム部材
５：第２縦フレーム部材
７：流体制御機器
９：ボルト
１０：第１横フレーム部材
１３：第１下側部
１３ｃ：第１溝
１６：引掛部材
２０、１２０：第２横フレーム部材
２２ａ：第１固定孔
３０：ライン支持部材
３１：機器載置部
３２：側板部
３３Ｂ：ボルト固定部
３３ｃ：第２固定孔
３６：基部
３６ａ：第２溝
３７：上方部
３７Ａ：突起部
３７Ｃ：第１傾斜面
１２０ａ：スリット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】