特許6646051コバルト研磨促進剤

発明の名称　コバルト研磨促進剤

出願人　キャボット　マイクロエレクトロニクス　コーポレイション　（識別番号 500397411）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1057 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6646051

公報発行日　2020年2月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6646051

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