特許6652511ウェハ検査中に集光アパーチャ内に位置付けられる光学要素の構成の決定

発明の名称　ウェハ検査中に集光アパーチャ内に位置付けられる光学要素の構成の決定

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 347 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 280 位（91件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6652511

公報発行日　2020年2月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6652511

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