特許第6657239号(P6657239)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6657239材料堆積源構成の分配アセンブリのためのノズル、材料堆積源構成、真空堆積システム、及び材料を堆積させるための方法
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