発明の名称 パターン硬化膜の製造方法、電子部品の製造方法、及び当該パターン硬化膜の製造方法に用いるポジ型感光性樹脂組成物
出願人 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 (識別番号 398008295)
特許公開件数ランキング 13870 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 3848 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6665646
公報発行日 2020年3月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6665646
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