特許 6676504 研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6676504

(24)【登録日】2020年3月16日

(45)【発行日】2020年4月8日

(54)【発明の名称】研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

(51)【国際特許分類】

   B24B 21/00 20060101AFI20200330BHJP

   B24B 9/00 20060101ALI20200330BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20200330BHJP

【ＦＩ】

   B24B21/00 A

   B24B9/00 601G

   H01L21/304 621E

   H01L21/304 622R

【請求項の数】13

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2016-174449(P2016-174449)

(22)【出願日】2016年9月7日

(65)【公開番号】特開2018-39069(P2018-39069A)

(43)【公開日】2018年3月15日

【審査請求日】2019年4月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100091498

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邉 勇

(74)【代理人】

【識別番号】100118500

【弁理士】

【氏名又は名称】廣澤 哲也

(72)【発明者】

【氏名】吉田 篤史

(72)【発明者】

【氏名】中西 正行

(72)【発明者】

【氏名】山下 道義

【審査官】 山村 和人

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−６６８９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−４６３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２４３４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−６４０４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−５５４１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ２１／００

Ｂ２４Ｂ ９／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を回転させ、
研磨テープを押圧部材で前記基板に押圧させながら、前記基板を研磨する研磨方法であって、
研磨中は、前記押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、
前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、
さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨することを特徴とする研磨方法。

【請求項2】

前記第１の荷重は前記研磨テープが破断に至らないように予め設定された許容値よりも大きく、前記第２の荷重は前記許容値以下であることを特徴とする請求項１に記載の研磨方法。

【請求項3】

前記第１の時間間隔は、前記研磨テープの伸びにより該研磨テープが破断に至らない時間間隔に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の研磨方法。

【請求項4】

前記第２の時間間隔は、前記第１の荷重が付加されたことにより伸びた研磨テープが、巻き取りリールに回収される時間間隔に設定されていることを特徴とする請求項３に記載の研磨方法。

【請求項5】

前記第１の時間間隔は、前記第２の時間間隔よりも長いことを特徴とする請求項４に記載の研磨方法。

【請求項6】

前記第１の荷重は、前記研磨テープが最大の研磨能力で前記基板を研磨する押圧荷重に設定されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の研磨方法。

【請求項7】

基板を保持して回転させる基板保持部と、
研磨テープを前記基板に対して押し付ける押圧部材を有する研磨ヘッドと、
前記研磨テープを巻き出しリールから前記研磨ヘッドを経由して巻き取りリールに送るテープ送り装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、
前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、
さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨するように、前記研磨ヘッドを制御することを特徴とする研磨装置。

【請求項8】

前記第１の荷重は前記研磨テープが破断に至らないように予め設定された許容値よりも大きく、前記第２の荷重は前記許容値以下であることを特徴とする請求項７に記載の研磨装置。

【請求項9】

前記第１の時間間隔は、前記研磨テープの伸びにより該研磨テープが破断に至らない時間間隔に設定されていることを特徴とする請求項８に記載の研磨装置。

【請求項10】

前記第２の時間間隔は、前記第１の荷重が付加されたことにより伸びた研磨テープが前記巻き取りリールに回収される時間間隔に設定されていることを特徴とする請求項９に記載の研磨装置。

【請求項11】

前記第１の時間間隔は、前記第２の時間間隔よりも長いことを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。

【請求項12】

前記第１の荷重は、前記研磨テープが最大の研磨能力で前記基板のエッジ部を研磨する押圧荷重に設定されていることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の研磨装置。

【請求項13】

基板保持部に指令を与えて、基板を回転させる動作を前記基板保持部に実行させるステップと、
研磨ヘッドに指令を与えて、研磨テープを前記基板に押し付ける押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨する動作を前記研磨ヘッドに実行させるステップと、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェハなどの基板を研磨する研磨方法および研磨装置に関し、特に研磨テープを基板の周縁部に押し当てて該周縁部を研磨する研磨方法および研磨装置に関する。さらに、本発明は、研磨テープで基板を研磨するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造における歩留まり向上の観点から、基板の表面状態の管理が近年注目されている。半導体デバイスの製造工程では、種々の材料がシリコンウェハ上に成膜される。このため、基板の周縁部には不要な膜や表面荒れが形成される。近年では、基板の周縁部のみをアームで保持して基板を搬送する方法が一般的になってきている。このような背景のもとでは、周縁部に残存した不要な膜が種々の工程を経ていく間に剥離して基板に形成されたデバイスに付着し、歩留まりを低下させてしまう。そこで、基板の周縁部に形成された不要な膜を除去するために、研磨装置を用いて基板の周縁部が研磨される。ここで、本明細書では、基板の周縁部を、基板の最外周に位置するベベル部と、このベベル部の径方向内側に位置するトップエッジ部およびボトムエッジ部とを含む領域として定義する。

【0003】

図８（ａ）および図８（ｂ）は、基板の一例としてのウェハの周縁部を示す拡大断面図である。より詳しくは、図８（ａ）はいわゆるストレート型のウェハの断面図であり、図８（ｂ）はいわゆるラウンド型のウェハの断面図である。図８（ａ）のウェハＷにおいて、ベベル部は、上側傾斜部（上側ベベル部）Ｐ、下側傾斜部（下側ベベル部）Ｑ、および側部（アペックス）Ｒから構成されるウェハＷの最外周面（符号Ｂで示す）である。図８（ｂ）のウェハＷにおいては、ベベル部は、ウェハＷの最外周面を構成する、湾曲した断面を有する部分（符号Ｂで示す）である。トップエッジ部は、ベベル部Ｂよりも径方向内側に位置する平坦部Ｅ１である。ボトムエッジ部は、トップエッジ部とは反対側に位置し、ベベル部Ｂよりも径方向内側に位置する平坦部Ｅ２である。トップエッジ部は、デバイスが形成された領域を含むこともある。本明細書では、トップエッジ部を単にエッジ部という。

【0004】

特許文献１は、基板のエッジ部を研磨テープで研磨することが可能な研磨装置を記載している。特許文献１に記載の研磨装置は、基板を保持して回転させる基板保持機構と、研磨テープを支持する複数のガイドローラを有するテープ供給回収機構と、テープ供給回収機構から供給された研磨テープを基板のエッジ部に押し当てる押圧部材を有する研磨ヘッドと、を備えている。テープ供給回収機構は、さらに、巻き出しリールと巻き取りリールとを有しており、テープ供給回収機構の複数のガイドローラに支持された研磨テープは、テープ送り装置によって巻き出しリールから研磨ヘッドを経由して巻き取りリールに送られる。テープ送り装置は、研磨テープの送り方向において、研磨ヘッドの下流側に位置する。テープ送り装置によって巻き出しリールから巻き取りリールに所定の送り速度で送られる研磨テープを、研磨ヘッドの押圧部材で回転する基板のエッジ部に押し付けることにより、基板のエッジ部が研磨される。

【0005】

研磨テープは、一般に、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂からなる基材フィルムと、この基材フィルム上に塗布されたウレタン、ポリエチレン樹脂などからなるバインダによって保持された砥粒とを備えた構造を有している。したがって、研磨テープはある程度の弾性を有しており、研磨テープに張力を加えると、研磨テープに伸びが発生する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１２−２１３８４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

基板のエッジ部の研磨中、押圧部材は、所定の押圧荷重で研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける。図９は、研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける研磨圧力と、研磨テープの研磨能力との関係の一例を示したグラフである。研磨圧力は、研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける押圧荷重を、基板のエッジ部と研磨テープとの接触面積で除算して得られる値である。図９では、基板のエッジ部と研磨テープとの接触面積が一定であるときの研磨圧力を記載しているので、研磨圧力の大きさは押圧荷重の大きさに相当する。本明細書において、研磨能力は、研磨テープが基板を研磨する能力を表し、研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける押圧荷重に応じて変化する。例えば、図９において、押圧荷重に対応する研磨圧力が１．３６ＭＰａの場合は、研磨テープは、該研磨テープが本来有する研磨能力を最大限に（すなわち、１００％）発揮して基板のエッジ部を研磨している。押圧荷重に対応する研磨圧力が０．３ＭＰａの場合は、研磨テープは、該研磨テープが本来有する研磨能力の半分（すなわち、５０％）で基板のエッジ部を研磨している。研磨能力は、基板のエッジ部の研磨レートに比例する。

【0008】

図９に示されるように、研磨テープの研磨能力は、研磨圧力が増加するにつれて増加していき、研磨圧力が１．３６ＭＰａのときに研磨能力が最大値（すなわち、１００％）に到達する。研磨圧力が１．３６ＭＰａを超えると、研磨テープと基板のエッジ部との間の摩擦によって、研磨テープの砥粒が基材フィルムから剥がれ落ちるため、研磨能力が低下する。研磨能力が最大となる研磨圧力（図９では、１．３６ＭＰａ）が最大研磨圧力である。このように、研磨圧力が最大研磨圧力に到達するまでは、研磨圧力を増加させることにより、研磨能力を増加させることができる。なお、図９は、研磨圧力と研磨テープの研磨能力と関係の一例を示しているにすぎず、研磨テープの最大研磨圧力および研磨能力は、砥粒の大きさ、バインダとして用いられる材料の種類などの研磨テープの構成に応じて変化する。

【0009】

一方で、研磨圧力（すなわち、研磨テープを基板に押し付ける押圧荷重）を増加させると、テープ送り装置が研磨テープを研磨ヘッドから巻き取りリールに一定の送り速度で送ることができなくなる。その結果、研磨ヘッドとテープ送り装置との間で研磨テープの伸びが発生する。研磨テープの伸びが増加していくと、研磨テープは破断に至る。破断した研磨テープを交換している間は、基板のエッジ部を研磨することができないので、研磨装置の生産性が低下する。さらに、研磨テープが破断すると、破断した研磨テープが基板に接触したり、押圧部材が研磨テープを介さずに直接基板に接触したりすることがある。この場合、破断した研磨テープと基板との接触、または押圧部材と基板との接触により、基板が損傷されたり、割れたりすることがある。したがって、研磨テープの破断を防止するために、研磨テープを基板に押し付ける押圧荷重の許容値が予め設定されている。許容値以下の押圧荷重で研磨テープを基板のエッジ部に押し付けることにより、テープ送り装置は、所定の送り速度で研磨テープを研磨ヘッドから巻き取りリールに送ることができる。従来の研磨装置では、研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける押圧荷重は許容値以下の一定値に維持されている。

【0010】

図１０は、研磨テープの研磨幅と、押圧荷重に対応する研磨圧力の許容値との関係の一例を示したグラフである。研磨幅は、基板のエッジ部に押し付けられる研磨テープの幅である。押圧荷重の許容値に対応する研磨圧力の許容値は研磨幅によって変化する。さらに、押圧荷重の許容値は研磨テープの引張り強度に依存するので、押圧荷重の許容値は研磨テープの基材フィルムの厚さによって異なる。図１０では、異なる基材フィルムの厚さを有する複数の研磨テープの研磨圧力の許容値が示されている。例えば、基材フィルムの厚さが１２５μｍであり、研磨幅が２．０ｍｍに設定された研磨テープで基板のエッジ部を研磨する場合は、研磨圧力の許容値は、０．５ＭＰａである。

【0011】

図１１は、図９に示されるグラフと図１０に示されるグラフとを重ね合わせたグラフである。図１１に示されるように、基板のエッジ部を研磨するときに研磨テープの最大研磨能力が発揮される最大研磨圧力は、１．３６ＭＰａである一方で、研磨テープの研磨圧力の許容値（押圧荷重の許容値に対応する）は、この最大研磨圧力よりも非常に小さい。したがって、従来の研磨装置では、研磨テープが本来有している研磨能力を十分に利用して、基板のエッジ部を研磨することができなかった。その結果、基板のエッジ部を研磨するための研磨時間が長くなるので、研磨テープが無駄に消費されていた。同様の問題は、研磨テープで基板を研磨する全ての研磨装置で発生する。例えば、この問題は、研磨テープでベベル部および／またはボトムエッジ部（図８（ａ）および図８（ｂ）参照）を研磨する研磨装置でも発生する。

【0012】

そこで、本発明は、研磨テープの研磨能力を十分に利用しながら、該研磨テープで基板を研磨することができる研磨方法および研磨装置を提供することを目的とする。さらに、本発明は、研磨テープで基板を研磨するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の一態様は、基板を回転させ、研磨テープを押圧部材で前記基板に押圧させながら、前記基板を研磨する研磨方法であって、研磨中は、前記押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨することを特徴とする研磨方法である。

【0014】

本発明の好ましい態様は、前記第１の荷重は前記研磨テープが破断に至らないように予め設定された許容値よりも大きく、前記第２の荷重は前記許容値以下であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の時間間隔は、前記研磨テープの伸びにより該研磨テープが破断に至らない時間間隔に設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第２の時間間隔は、前記第１の荷重が付加されたことにより伸びた研磨テープが前記巻き取りリールに回収される時間間隔に設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の時間間隔は、前記第２の時間間隔よりも長いことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の荷重は、前記研磨テープが最大の研磨能力で前記基板を研磨する押圧荷重に設定されていることを特徴とする。

【0015】

本発明の他の態様は、基板を保持して回転させる基板保持部と、研磨テープを前記基板に対して押し付ける押圧部材を有する研磨ヘッドと、前記研磨テープを巻き出しリールから前記研磨ヘッドを経由して巻き取りリールに送るテープ送り装置と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨するように、前記研磨ヘッドを制御することを特徴とする研磨装置である。

【0016】

本発明の好ましい態様は、前記第１の荷重は前記研磨テープが破断に至らないように予め設定された許容値よりも大きく、前記第２の荷重は前記許容値以下であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の時間間隔は、前記研磨テープの伸びにより該研磨テープが破断に至らない時間間隔に設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第２の時間間隔は、前記第１の荷重が付加されたことにより伸びた研磨テープが前記巻き取りリールに回収される時間間隔に設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の時間間隔は、前記第２の時間間隔よりも長いことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第１の荷重は、前記研磨テープが最大の研磨能力で前記基板のエッジ部を研磨する押圧荷重に設定されていることを特徴とする。

【0017】

本発明のさらに他の態様は、基板保持部に指令を与えて、基板を回転させる動作を前記基板保持部に実行させるステップと、研磨ヘッドに指令を与えて、研磨テープを前記基板に押し付ける押圧部材に第１の荷重を第１の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、前記第１の時間間隔後に、前記第１の荷重よりも小さい第２の荷重を前記押圧部材に第２の時間間隔かけながら前記基板を研磨し、さらに、前記押圧部材に前記第１の荷重と前記第２の荷重を繰り返しかけて前記基板を研磨する動作を前記研磨ヘッドに実行させるステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、研磨テープを第１の荷重で第１の時間間隔だけ基板に押し付けて基板を研磨し、次いで、研磨テープを第１の荷重よりも小さい第２の荷重で第２の時間間隔だけ基板に押し付けて基板を研磨し、さらに、これらの研磨動作を繰り返しながら、基板が研磨される。したがって、基板の研磨開始から研磨終了までの間における研磨テープの平均押圧荷重を増加させることができる。その結果、基板の研磨開始から研磨終了までの間における研磨テープの平均研磨能力が増加するので、研磨テープの研磨能力を十分に利用しながら、該研磨テープで基板を研磨することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】研磨装置の一実施形態を模式的に示す平面図である。

【図2】図１に示す研磨装置の側面図である。

【図3】図２に示す研磨装置の要部を拡大して示す模式図である。

【図4】図１に示す研磨ヘッドを示す模式図である。

【図5】一実施形態に係る制御部の構成を示す模式図である。

【図6】一実施形態に係る研磨方法でウェハのエッジ部を研磨するときの一連の処理を示したフローチャートである。

【図7】ウェハのエッジ部の研磨中に変化する押圧荷重の一例を示したグラフである。

【図8】図８（ａ）および図８（ｂ）は、基板の一例としてのウェハの周縁部を示す拡大断面図である。

【図9】研磨テープを基板のエッジ部に押し付ける研磨圧力と研磨能力との関係の一例を示したグラフである。

【図10】研磨テープの研磨幅と、押圧荷重に対応する研磨圧力の許容値との関係の一例を示したグラフである。

【図11】図９に示されるグラフと図１０に示されるグラフとを重ね合わせたグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
以下に説明する実施形態に係る研磨装置および研磨方法は、研磨テープの研磨面を基板のエッジ部に摺接させることで基板のエッジ部を研磨する。

【0021】

図１は、研磨装置の一実施形態を模式的に示す平面図であり、図２は、図１に示す研磨装置の側面図である。図３は、図２に示す研磨装置の要部を拡大して示す模式図である。研磨装置は、基板の一例であるウェハＷを保持し、回転させるウェハ保持部（基板保持部）１を備えている。このウェハ保持部１は、ウェハＷを保持することができるウェハステージ（基板ステージ）２と、ウェハステージ２をその軸心を中心に回転させるステージモータ３とを有する。研磨されるウェハＷは、ウェハステージ２の上面に真空吸引などにより保持され、ウェハステージ２とともにステージモータ３によって回転される。

【0022】

研磨装置は、研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧部材１１を備えた研磨ヘッド１０を有している。押圧部材１１は、ウェハステージ２の上方に配置される。研磨テープ７は、ウェハＷを研磨するための研磨具である。研磨装置は、さらに、研磨テープ７を研磨ヘッド１０に供給し、かつ研磨ヘッド１０から回収するテープ供給回収機構９を有している。テープ供給回収機構９は、巻き出しリール１４と、巻き取りリール１５とを有しており、研磨テープ７の一端は巻き出しリール１４に固定され、研磨テープ７の他端は巻き取りリール１５に固定されている。研磨テープ７の大部分は巻き出しリール１４と巻き取りリール１５の両方に巻かれており、研磨テープ７の一部は巻き出しリール１４と巻き取りリール１５との間を延びている。巻き出しリール１４および巻き取りリール１５は、それぞれリールモータ１７，１８によって反対方向のトルクが加えられており、これにより研磨テープ７にはテンションが付与される。

【0023】

テープ供給回収機構９は、さらに、巻き出しリール１４と巻き取りリール１５との間に配置された第１のガイドローラ２１と第２のガイドローラ２２を備えている。巻き出しリール１４と巻き取りリール１５との間を延びる研磨テープ７は第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２によって支持されており、押圧部材１１は、第１のガイドローラ２１と第２のガイドローラ２２との間に位置している。第１のガイドローラ２１の軸方向は、第２のガイドローラ２２の軸方向と平行である。第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２によって、研磨テープ７は、ウェハＷの接線方向と平行に延びるように支持される。

【0024】

一実施形態では、テープ供給回収機構９は、３つ以上のガイドローラを有していてもよい。この場合、３つ以上のガイドローラによって研磨テープ７が支持され、３つ以上のガイドローラの内の隣接する２つのガイドローラが、上記した第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２として用いられる。

【0025】

研磨装置は、さらに、テープ送り装置２０を備えており、このテープ送り装置２０は、巻き出しリール１４と巻き取りリール１５との間に配置される。テープ送り装置２０は、研磨テープ７を送るテープ送りローラ３１と、研磨テープ７をニップ点Ｐ１（図３参照）でテープ送りローラ３１に対して押し付けるニップローラ３２と、テープ送りローラ３１を回転させるテープ送りモータ３６とを備えている。研磨テープ７は、ニップ点Ｐ１でテープ送りローラ３１とニップローラ３２との間に挟まれている。テープ送りモータ３６を駆動して、テープ送りローラ３１を回転させると、研磨テープ７は巻き出しリール１４から研磨ヘッド１０を経由して巻き取りリール１５に送られる。このテープ送り装置２０は、研磨テープ７の送り方向において研磨ヘッド１０の下流側に位置している。

【0026】

研磨テープ７は、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂からなる基材フィルムと、この基材フィルム上に塗布されたウレタン、ポリエチレン樹脂などからなるバインダによって保持された砥粒（例えば、ダイヤモンド粒子など）とを備えた構造を有している。砥粒は、第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２の間を延びる研磨テープ７の下面に保持されており、研磨テープ７の下面がウェハＷを研磨する研磨面を構成する。

【0027】

研磨ヘッド１０は、研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧部材１１を備えている。この押圧部材１１は第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２の間に位置している。ウェハＷのエッジ部と研磨テープ７との接触点Ｐ２（図３参照）において、ガイドローラ２１，２２間の研磨テープ７がウェハＷの接線方向に延びるように第１のガイドローラ２１および第２のガイドローラ２２が配置されている。

【0028】

図４は、図１に示される研磨ヘッド１０を示す模式図である。図４に示されるように、研磨ヘッド１０は、研磨テープ７をウェハＷに押し付ける上記押圧部材１１と、押圧部材１１の押圧力を制御するエアシリンダ２５と、押圧部材１１とエアシリンダ２５とを連結する荷重伝達部材２７とを備えている。エアシリンダ２５は、ウェハ保持部１上のウェハＷに向かう所定の方向に押圧部材１１を付勢するアクチュエータである。本実施形態では、エアシリンダ２５は、押圧部材１１をウェハＷのエッジ部に向かって下方に付勢するように構成されている。本実施形態では、エアシリンダ２５によって付勢される押圧部材１１の方向は、ウェハ保持部１の軸心と平行な方向、すなわち鉛直方向である。荷重伝達部材２７の下部は、押圧部材１１を着脱可能に保持する押圧部材ホルダ２７ａとして構成されている。エアシリンダ２５によって発生した力は、荷重伝達部材２７を介して押圧部材１１に伝達される。

【0029】

押圧部材１１はその内部に形成された貫通孔１１ａを有している。貫通孔１１ａの一端は押圧部材１１の下面で開口しており、貫通孔１１ａの他端は真空ライン３０に接続されている。真空ライン３０には、図示しない弁が設けられており、弁を開くことにより押圧部材１１の貫通孔１１ａ内に真空が形成される。押圧部材１１が研磨テープ７の上面に接触した状態で貫通孔１１ａに真空が形成されると、研磨テープ７の上面は押圧部材１１の下面に保持される。

【0030】

押圧部材１１は荷重伝達部材２７に固定されている。押圧部材１１および荷重伝達部材２７は、一体的な構造体を構成し、エアシリンダ２５によって一体に移動される。荷重伝達部材２７は、ウェハ保持部１の軸心に沿って延びる直動ガイド３３に移動自在に連結されている。エアシリンダ２５および直動ガイド３３は、フレーム３９に固定されている。したがって、押圧部材１１および荷重伝達部材２７の全体の移動方向は、ウェハ保持部１の軸心と平行な方向（すなわち、鉛直方向）に制限される。

【0031】

図４に示されるように、研磨装置は、さらに、研磨ヘッド１０の動作を制御する制御部６を備えている。本実施形態では、制御部６は、エアシリンダ２５に接続されており、エアシリンダ２５の動作を制御して、押圧部材１１が研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧荷重を制御する。より具体的には、制御部６は、エアシリンダ２５に供給される気体（例えば、空気）の圧力を制御することにより、押圧部材１１が研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧荷重を調整する。

【0032】

本実施形態では、制御部６は、さらに、ウェハ保持部１の動作およびテープ送り装置２０の動作を制御する。より具体的には、制御部６は、ウェハ保持部１のステージモータ３に接続されており（図１および図２参照）、ステージモータ３の回転速度を制御して、所定の回転速度でウェハＷを回転させる。さらに、制御部６は、テープ送り装置２０のテープ送りモータ３６に接続されており（図１および図２参照）、研磨テープ７を巻き出しリール１４から研磨ヘッド１０を経由して巻き取りリール１５に送るために、テープ送りモータ３６の動作を制御する。

【0033】

このように、研磨ヘッド１０のエアシリンダ２５、ウェハ保持部１のステージモータ３、およびテープ送り装置２０のテープ送りモータ３６を含む研磨装置の動作は、制御部６によって制御される。本実施形態では、制御部６は、専用のコンピュータまたは汎用のコンピュータから構成される。図５は、一実施形態に係る制御部６の構成を示す模式図である。制御部６は、プログラムやデータなどが格納される記憶装置５０と、記憶装置５０に格納されているプログラムに従って演算を行うＣＰＵ（中央処理装置）などの処理装置５４と、データ、プログラム、および各種情報を記憶装置５０に入力するための入力装置５５と、処理結果や処理されたデータを出力するための出力装置５８と、インターネットなどのネットワークに接続するための通信装置６３を備えている。

【0034】

記憶装置５０は、処理装置５４がアクセス可能な主記憶装置５１と、データおよびプログラムを格納する補助記憶装置５２を備えている。主記憶装置５１は、例えばランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）であり、補助記憶装置５２は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）またはソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）などのストレージ装置である。

【0035】

入力装置５５は、キーボード、マウスを備えており、さらに、記録媒体からデータを読み込むための記録媒体読み込み装置５６と、記録媒体が接続される記録媒体ポート５７を備えている。記録媒体は、非一時的な有形物であるコンピュータ読み取り可能な記録媒体であり、例えば、光ディスク（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ）や、半導体メモリー（例えば、ＵＳＢフラッシュドライブ、メモリーカード）である。記録媒体読み込み装置５６の例としては、ＣＤドライブ、ＤＶＤドライブなどの光学ドライブや、カードリーダーが挙げられる。記録媒体ポート５７の例としては、ＵＳＢ端子が挙げられる。記録媒体に記録されているプログラムおよび／またはデータは、入力装置５５を介して制御部６に導入され、記憶装置５０の補助記憶装置５２に格納される。出力装置５８は、ディスプレイ装置５９、印刷装置６０を備えている。

【0036】

従来の研磨装置では、研磨テープ７の破断を防止するために、研磨テープ７の押圧荷重に対する許容値が予め定められている。許容値は、テープ送り装置２０が一定の送り速度で研磨テープ７を巻き出しリール１４から研磨ヘッド１０を経由して巻き取りリール１５に送ることができる押圧荷重の臨界値である。すなわち、押圧部材１１が許容値よりも大きな押圧荷重で研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付けた場合は、テープ送り装置２０は、研磨テープ７を一定の送り速度で研磨ヘッド１０から巻き取りリール１５に送ることができない。この場合、ウェハＷのエッジ部と研磨テープ７との接触点Ｐ２（図３参照）を通過した研磨テープ７の送り速度が低下する。特に、押圧荷重が非常に大きい場合は、接触点Ｐ２における研磨テープ７の移動が完全に阻止される。すなわち、接触点Ｐ２における研磨テープ７の送り速度が０になる。一方で、テープ送り装置２０のテープ送りモータ３６は、制御部６によって一定の回転速度で回転させられるので、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間で、研磨テープ７が伸び始める。研磨テープ７の伸びが増加すると、研磨テープ７が破断に至るので、従来の研磨装置では、研磨テープ７を許容値よりも大きな押圧荷重でウェハＷのエッジ部に押し付けることができなかった。

【0037】

図１１を参照して説明されたように、許容値以下の押圧荷重で研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける場合は、研磨テープ７の研磨能力を十分に利用することができない。したがって、従来の研磨装置では、研磨テープ７がウェハＷのエッジ部を研磨する研磨時間が長くなり、研磨テープ７が無駄に消費されていた。

【0038】

以下に説明する研磨方法によれば、研磨テープ７がウェハＷのエッジ部を研磨するときに、研磨テープ７の研磨能力を十分に利用することができる。したがって、研磨時間を短くすることができるとともに、研磨テープ７の消費量を低減することができる。

【0039】

図６は、一実施形態に係る研磨方法でウェハＷのエッジ部を研磨するときの一連の処理を示したフローチャートである。図６に示されるように、制御部６は、最初に、ウェハ保持部１に指令を与えて、ウェハステージ２上に載置されたウェハＷを回転させる（ステップ１）。図１および図２に示されるように、ウェハＷは、その表面に形成されている膜（例えば、デバイス層）が上を向くようにウェハステージ２に保持され、さらにウェハＷはウェハステージ２とともにその軸心を中心に回転される。回転するウェハＷの中心には、図示しない液体供給ノズルから研磨液（例えば、純水）が供給される。さらに、制御部６は、研磨テープ７を巻き出しリール１４から巻き取りリール１５に送るために、テープ送り装置２０のテープ送りモータ３６を駆動させる。

【0040】

次いで、制御部６は、エアシリンダ２５の動作を制御して、研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付けて、該エッジ部を研磨する（ステップ２）。ウェハＷのエッジ部の研磨中、制御部６は、エアシリンダ２５の動作を制御して、押圧部材１１が研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧荷重を変化させる。図７は、ウェハＷのエッジ部の研磨中に変化する押圧荷重の一例を示したグラフである。図７の縦軸は、押圧部材１１が研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧荷重を表し、図７の横軸は、研磨テープ７によってウェハＷのエッジ部が研磨される研磨時間を表す。図７に示されるグラフでは、上記許容値Ｆｋが太い一点鎖線で描かれている。この許容値Ｆｋ（図７では、２４Ｎ）は、研磨テープ７が破断に至らないように予め設定された値であり、制御部６に予め記憶されている。研磨テープ７を許容値Ｆｋ以下の押圧荷重でウェハＷのエッジ部に押し付けた場合は、テープ送り装置２０は、接触点Ｐ２を通過した研磨テープ７を所定の送り速度で巻き取りリール１５に送ることができる。

【0041】

図７に示されるように、研磨装置は、研磨テープ７を第１の荷重Ｆ１でウェハＷのエッジ部に押し付ける第１の押圧動作Ａ１と、研磨テープ７を第２の荷重Ｆ２でウェハＷのエッジ部に押し付ける第２の押圧動作Ａ２とを含む押圧サイクルＰＣを繰り返して、ウェハＷのエッジ部を研磨する。より具体的には、制御部６は、研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける押圧部材１１の押圧荷重が押圧サイクルＰＣを繰り返すように、エアシリンダ２５の動作を制御する。

【0042】

第１の荷重Ｆ１は、第２の荷重Ｆ２よりも大きい値に設定される。本実施形態では、第１の荷重Ｆ１（図７では、８４Ｎ）は、研磨テープ７が破断に至らないように予め設定された許容値Ｆｋ（図７では、２４Ｎ）よりも大きい値に設定されており、予め制御部６に記憶されている。第２の荷重Ｆ２（図７では、１８Ｎ）は、この許容値Ｆｋ以下である値に設定されており、予め制御部６に記憶されている。

【0043】

第１の荷重Ｆ１で研磨テープ７がウェハＷのエッジ部に押し付けられる第１の時間間隔Ｔ１（すなわち、第１の押圧動作Ａ１の時間間隔）は、研磨テープ７の伸びが発生しても破断に至らない時間間隔に設定される。研磨テープ７の破断は、該研磨テープ７がある程度伸びた後に発生する。研磨テープ７が伸び始めてから破断に至るまでの時間は、研磨テープ７の基材フィルムの材料および基材フィルムの厚さに依存する。さらに、研磨テープ７が伸び始めてから破断に至るまでの時間は、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との距離Ｄ（図３参照）に依存する。より具体的には、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との距離Ｄを長くすると、伸びが発生する研磨テープ７の長さが増加するので、研磨テープ７の破断が発生しにくくなる。したがって、この第１の時間間隔Ｔ１は、研磨テープ７の基材フィルムの材料および厚さと、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との距離Ｄとに基づいた実験などによって予め決定され、制御部６に予め記憶されている。

【0044】

第２の荷重Ｆ２で研磨テープ７がウェハＷのエッジ部に押しつけられる第２の時間間隔Ｔ２（すなわち、第２の押圧動作Ａ２の時間間隔）は、第１の時間間隔Ｔ１の間に伸びた研磨テープ７がテープ送り装置２０を介して巻き取りリール１５に回収される時間間隔に設定される。この第２の時間間隔Ｔ２は、第１の時間間隔Ｔ１の間に伸びた研磨テープ７の長さと、テープ送り装置２０による研磨テープ７の送り速度（すなわち、テープ送りモータ３６の回転速度）と、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との距離Ｄとに基づいた実験などによって予め決定され、制御部６に予め記憶されている。

【0045】

本実施形態の第１の押圧動作Ａ１では、制御部６は、押圧荷重が徐々に第１の荷重Ｆ１に到達するように、エアシリンダ２５の動作を制御する。本実施形態の第２の押圧動作Ａ２では、制御部６は、押圧荷重が徐々に第２の荷重Ｆ２に到達するように、エアシリンダ２５の動作を制御する。本明細書では、第１の時間間隔Ｔ１は、エアシリンダ２５に供給される気体の圧力の増加が開始される時点と、該気体の圧力の減少が開始される時点の間の時間間隔を表す。同様に、第２の時間間隔Ｔ２は、エアシリンダ２５に供給される気体の圧力の減少が開始される時点と、該気体の圧力の増加が開始される時点との間の時間間隔を表す。

【0046】

図７に示されるグラフでは、押圧サイクルＰＣは、第１の押圧動作Ａ１と、該第１の押圧動作Ａ１に続く第２の押圧動作Ａ２とで構成されている。一実施形態では、押圧サイクルＰＣを、第２の押圧動作Ａ２と、該第２の押圧動作Ａ２に続く第１の押圧動作Ａ１によって構成してもよい。

【0047】

接触点Ｐ２を通過した研磨テープ７は、ウェハＷのエッジ部を研磨した後の研磨テープである。したがって、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間の研磨テープ７に伸びが発生しても、研磨テープ７がウェハＷのエッジ部を研磨する研磨能力は低下しない。さらに、研磨テープ７が許容値Ｆｋ以下である第２の荷重Ｆ２でウェハＷのエッジ部に押し付けられているときに、研磨テープ７はテープ送り装置２０によって所定の送り速度で巻き取りリール１５に送られる。したがって、第２の荷重Ｆ２でウェハＷのエッジ部に研磨テープ７を押し付ける第２の時間間隔Ｔ２の間に、第１の荷重Ｆ１で押圧されることにより伸びた研磨テープ７を、巻き取りリール１５に回収することができる。その結果、第１の荷重Ｆ１で研磨テープ７を再びウェハＷのエッジ部に押し付けたときに、接触点Ｐ２とニップ点Ｐ１との間の研磨テープ７には伸びが発生していないので、研磨テープ７の破断を防止することができる。

【0048】

一実施形態では、制御部６は、押付荷重が第１の荷重Ｆ１である時間間隔Ｔ１の間（すなわち、第１の押圧動作Ａ１の間）、テープ送りモータ３６の駆動を停止させてもよい。この場合、研磨テープ７の伸びが発生しないので、研磨テープ７の破断を確実に防止することができる。

【0049】

図６に戻り、ウェハＷの研磨中、制御部６は、ウェハＷのエッジ部の研磨量を監視している（ステップ３）。ウェハＷのエッジ部の研磨は、研磨量が目標研磨量に到達したときに終了される。研磨量が目標研磨量に到達した時点である研磨終点を検出するために、本実施形態の研磨ヘッド１０は、押圧部材１１の鉛直方向の位置を検出可能な距離センサ４１を備えている（図４参照）。この距離センサ４１は、フレーム３９に固定されており、押圧部材１１を保持する押圧部材ホルダ２７ａの移動距離を測定することが可能に構成されている。このような距離センサ４１は、例えば、光学式の距離センサである。距離センサ４１は、制御部６に接続されており、制御部６は、押圧部材１１を保持する押圧部材ホルダ２７ａの移動距離を測定する距離センサ４１からの出力信号に基づいて、間接的に押圧部材１１の鉛直方向の位置を検出することができる。

【0050】

研磨量は、ウェハＷのエッジ部の研磨開始からの押圧部材１１の鉛直方向の移動距離に相当する。したがって、制御部６は、距離センサ４１の出力信号に基づいて、研磨量が目標研磨量に到達したか否かを検出することができる。例えば、押圧部材１１の鉛直方向の位置が所定の目標位置に到達したときに、制御部６は、研磨量が目標研磨量に到達したと判断し、ウェハＷのエッジ部の研磨を終了する。したがって、押圧サイクルＰＣの途中で、ウェハＷのエッジ部の研磨が終了されてもよい（図７参照）。ウェハＷのエッジ部の研磨が終了すると、制御部６は、エアシリンダ２５の動作を制御して、押圧部材１１および研磨テープ７を上昇させる。

【0051】

ウェハＷのエッジ部の研磨中、制御部６は、距離センサ４１の出力信号に基づいて、研磨量が目標研磨量に到達したか否かを監視している。図６のステップ３で、研磨量が目標研磨量に到達したことを制御部６が検出すると、制御部６は、ウェハＷのエッジ部の研磨を終了する（ステップ４）。より具体的には、制御部６は、エアシリンダ２５の動作を制御して、押圧部材１１および研磨テープ７をウェハＷのエッジ部から離間させる。次いで、制御部６は、ウェハＷの回転を停止する（ステップ５）。制御部６は、ステップ４で研磨量が目標研磨量に到達したことを検出するまで、押圧サイクルＰＣを繰り返しながら研磨テープ７によるウェハＷのエッジ部の研磨を継続する。

【0052】

研磨終点を検出するための方法は、押圧部材１１の鉛直方向の位置を検出可能な距離センサ４１を用いる方法に限定されず、様々な公知の方法で、研磨終点を検出してもよい。例えば、研磨終点は、制御部６に接続されたタイマーによって計測される研磨時間に基づいて決定されてもよいし、ステージモータ３に供給される電流値の変化に基づいて決定されてもよい。いずれの研磨終点検出方法を用いた場合でも、制御部６は、該制御部６が研磨終点を検出するまで、押圧サイクルＰＣを繰り返しながら研磨テープ７によるウェハＷのエッジ部の研磨を継続する。

【0053】

本実施形態によれば、研磨テープ７を許容値Ｆｋよりも大きな第１の荷重Ｆ１（すなわち、Ｆ１＞Ｆｋ）でエッジ部に押し付ける第１の押圧動作Ａ１と、研磨テープ７を許容値Ｆｋ以下である第２の荷重Ｆ２（すなわち、Ｆｋ≧Ｆ２）でエッジ部に押し付ける第２の押圧動作Ａ２を含む押圧サイクルＰＣを繰り返しながら、ウェハＷのエッジ部が研磨される。このような押圧荷重の制御を実行することにより、許容値Ｆｋよりも高い平均押圧荷重で、ウェハＷのエッジ部を研磨することができる。平均押圧荷重は、ウェハＷのエッジ部の研磨開始から研磨終了までの間の押圧荷重の平均値である。図７に示すグラフでは、この平均押圧荷重は、太い実線で描かれており、６４．２Ｎである。図７のグラフに示されるように、平均押圧荷重（＝６４．２Ｎ）は許容値Ｆｋ（＝２４Ｎ）よりも高い。

【0054】

このように、本実施形態の研磨方法では、押圧部材１１に第１の荷重Ｆ１を第１の時間間隔Ｔ１だけかけることにより、研磨テープ７でウェハＷを研磨し（第１の押圧動作Ａ１）、第１の時間間隔後に、押圧部材１１に第２の荷重Ｆ２を第２の時間間隔だけかけることにより、研磨テープ７でウェハＷを研磨する（第２の押圧動作Ａ２）。さらに、本実施形態の研磨方法では、押圧部材１１に第１の荷重Ｆ１と第２の荷重Ｆ２とを繰り返しかけて、ウェハＷを研磨する（すなわち、第１の押圧動作Ａ１と第２の押圧動作Ａ２とを含む押圧サイクルＰＣを繰り返しながら、ウェハＷを研磨する）。第１の荷重Ｆ１は、第２の荷重Ｆ２よりも大きい値に設定されている。

【0055】

図１１を参照して説明されたように、研磨圧力を増加させると（すなわち、押圧荷重を増加させると）、エッジ部の研磨に利用される研磨テープ７の研磨能力が増加する。したがって、平均押圧荷重を増加させることにより、研磨テープ７の研磨能力を十分に利用しながら、該研磨テープ７でウェハＷのエッジ部を研磨することができる。その結果、研磨時間を低減することができるとともに、研磨テープ７の消費量を低減することができる。

【0056】

押圧荷重が許容値Ｆｋ以下である場合は、テープ送り装置２０は、研磨テープ７を所定の送り速度で研磨ヘッド１０から巻き取りリール１５に送ることができる。したがって、平均押圧荷重（すなわち、平均研磨能力）を増加させるために、第２の荷重Ｆ２を許容値Ｆｋと等しい値に設定するのが好ましい。さらに、従来の押圧荷重（すなわち、従来の研磨装置で設定されていた押圧荷重）が許容値Ｆｋよりも小さい値に設定されていた場合は、第２の荷重Ｆ２を従来の押圧荷重よりも大きな値に設定するのが好ましい。より具体的には、従来の押圧荷重を「Ｆａ」と表すと、第２の荷重Ｆ２は、許容値Ｆｋ以下であり、かつ従来の押圧荷重Ｆａよりも大きい値に設定される（すなわち、Ｆｋ≧Ｆ２＞Ｆａ）。言及するまでもないが、第２の荷重Ｆ２を、従来の押圧荷重以下の値に設定してもよい（すなわち、Ｆｋ≧Ｆａ≧Ｆ２）。

【0057】

本実施形態では、第１の荷重Ｆ１は、許容値Ｆｋよりも大きい値に設定されているが、第１の荷重Ｆ１は、許容値Ｆｋ以下であってもよい。例えば、第１の押圧荷重Ｆ１が従来の押圧荷重Ｆａよりも大きい場合は、第１の押圧荷重Ｆ１が許容値Ｆｋ以下であっても、平均押圧荷重を増加させることができる。この場合は、第１の押圧荷重Ｆ１は許容値Ｆｋ以下であり、かつ従来の押圧荷重Ｆａよりも大きい（すなわち、Ｆｋ≧Ｆ１＞Ｆａ）。さらに、第２の押圧荷重Ｆ２は、好ましくは、従来の押圧荷重Ｆａよりも大きい値に設定される（すなわち、Ｆｋ≧Ｆ１＞Ｆ２＞Ｆａ）。言及するまでもないが、第２の荷重Ｆ２を、従来の押圧荷重Ｆａ以下の値に設定してもよい（すなわち、Ｆｋ≧Ｆ１＞Ｆａ≧Ｆ２）。

【0058】

研磨テープ７の平均研磨能力を増加させるために、第１の時間間隔Ｔ１は、第２の時間間隔Ｔ２よりも長く設定されるのが好ましい。図７のグラフに示される例では、第２の時間間隔Ｔ２に対する第１の時間間隔Ｔ１の比は、７／３に設定されている。すなわち、第１の時間間隔Ｔ１は、第２の時間間隔の２倍以上の時間間隔に設定されている。ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間の距離Ｄ（図３参照）を調整することにより、第１の時間間隔Ｔ１を長く設定することができる。上述したように、伸びた研磨テープ７が破断に至るまでの時間は、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間の距離Ｄに依存する。したがって、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間の距離Ｄが長くなるように、テープ送り装置２０を研磨ヘッド１０からできる限り離して配置するのが好ましい。

【0059】

研磨テープ７の平均研磨能力を上げるために、第１の荷重Ｆ１は、最大の研磨能力でウェハＷのエッジ部を研磨する押圧荷重に設定されるのが好ましい。以下の説明では、最大の研磨能力でウェハＷのエッジ部を研磨する押圧荷重を最大押圧荷重という。最大押圧荷重は、図９に示される最大研磨圧力に対応する押圧荷重である。最大押圧荷重で研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける場合は、接触点Ｐ２における研磨テープ７の送り速度が大きく低下する（例えば、研磨テープ７の送り速度が０になる）。この場合、研磨テープ７の単位時間あたりの伸び率が増加するので、第１の時間間隔Ｔ１が第２の時間間隔よりも短くなるおそれがある。したがって、第１の時間間隔Ｔ１を増加させるために、ニップ点Ｐ１と接触点Ｐ２との間の距離Ｄが長くなるように、テープ送り装置２０を研磨ヘッド１０からできる限り離して配置するのが好ましい。

【0060】

制御部６は、記憶装置５０に電気的に格納されたプログラムに従って動作する。すなわち、制御部６は、最初に、ウェハ（基板）Ｗを回転させる動作をウェハ保持部１に実行させるステップ（図７のステップ１参照）を実行する。次いで、制御部６は、研磨テープ７をウェハＷに押し付ける押圧部材１１に第１の荷重Ｆ１を第１の時間間隔Ｔ１かけながらウェハＷを研磨し、第１の時間間隔Ｔ１後に、押圧部材１１に第１の荷重Ｆ１よりも小さい第２の荷重Ｆ２を第２の時間間隔Ｔ２かけながらウェハＷを研磨し、さらに、押圧部材１１に第１の荷重Ｆ１と第２の荷重Ｆ２とを繰り返しかけて、ウェハＷを研磨する動作を研磨ヘッド１０に実行させるステップを実行する。すなわち、制御部６は、第１の荷重Ｆ１で研磨テープ７をウェハＷのエッジ部に押し付ける第１の押圧動作Ａ１と、第１の荷重Ｆ１よりも小さい第２の荷重Ｆ２で研磨テープ７をエッジ部に押し付ける第２の押圧動作Ａ２を含む押圧サイクルＰＣを繰り返す動作を研磨ヘッド１０に実行させるステップ（図７のステップ２参照）を実行する。第１の荷重Ｆ１は、好ましくは、研磨テープ７が破断に至らないように予め設定された許容値Ｆｋよりも大きく、第２の荷重Ｆ２は、好ましくは、許容値Ｆｋ以下である。次いで、制御部６は、ウェハＷのエッジ部の研磨中に、研磨量が目標研磨量に到達したか否かを監視するステップ（図７のステップ３参照）と、研磨量が目標研磨量に到達したときに、ウェハＷのエッジ部の研磨を終了する動作を研磨ヘッド１０に実行させるステップ（図７のステップ４参照）と、ウェハＷの回転を停止させる動作をウェハ保持部１に実行させるステップ（図７のステップ５参照）と、を実行する。

【0061】

これらステップを制御部６に実行させるためのプログラムは、非一時的な有形物であるコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録され、記録媒体を介して制御部６に提供される。または、プログラムは、インターネットなどの通信ネットワークを介して制御部６に提供されてもよい。

【0062】

これまで、ウェハＷのエッジ部を研磨する研磨方法の実施形態を説明してきたが、上述した実施形態に係る研磨方法を、研磨テープで基板を研磨する全ての研磨装置で用いることができる。例えば、これら実施形態に係る研磨方法で、ウェハＷのベベル部および／またはボトムエッジ部（図８（ａ）および図８（ｂ）参照）を研磨することができる。

【0063】

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

【符号の説明】

【0064】

１ ウェハ保持部（基板保持部）
２ ウェハステージ（基板ステージ）
３ ステージモータ
６ 制御部
７ 研磨テープ
９ テープ供給回収機構
１０ 研磨ヘッド
１１ 押圧部材
１４ 巻き出しリール
１５ 巻き取りリール
１７，１８ リールモータ
２０ テープ送り装置
２１ 第１のガイドローラ
２２ 第２のガイドローラ
２５ エアシリンダ
２７ 荷重伝達部材
３０ 真空ライン
３１ ニップローラ
３２ テープ送りローラ
３３ 直動ガイド
３６ テープ送りモータ
３９ フレーム
４１ 距離センサ
５０ 記憶装置
５１ 主記憶装置
５２ 補助記憶装置
５４ 処理装置
５５ 入力装置
５６ 記憶媒体読み込み装置
５７ 記憶媒体ポート
５８ 出力装置
５９ ディスプレイ装置
６０ 印刷装置
６３ 通信装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】