特許6676701ＳｉＣ表面の平坦化方法

発明の名称　ＳｉＣ表面の平坦化方法

出願人　インフィネオン　テクノロジーズ　アーゲー　（識別番号 501209070）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6676701

公報発行日　2020年4月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6676701

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