特許第6681977号(P6681977)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6681977基板を真空処理するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び、真空チャンバ内で基板キャリアとマスクキャリアを搬送するための方法
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  • 特許6681977-基板を真空処理するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び、真空チャンバ内で基板キャリアとマスクキャリアを搬送するための方法 図000002
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