特許第6681994号(P6681994)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6681994真空チャンバ内で基板キャリアを搬送するための装置、基板の真空処理のためのシステム、及び真空チャンバ内で基板キャリアを搬送するための方法