特許 6696523 抵抗測定方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6696523

(24)【登録日】2020年4月27日

(45)【発行日】2020年5月20日

(54)【発明の名称】抵抗測定方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20200511BHJP

   G01R 35/00 20060101ALI20200511BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 R

   G01R35/00 J

【請求項の数】5

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2018-46483(P2018-46483)

(22)【出願日】2018年3月14日

(65)【公開番号】特開2019-158633(P2019-158633A)

(43)【公開日】2019年9月19日

【審査請求日】2019年5月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】392019709

【氏名又は名称】日本電産リード株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100074561

【弁理士】

【氏名又は名称】柳野 隆生

(74)【代理人】

【識別番号】100118496

【弁理士】

【氏名又は名称】青山 耕三

(74)【代理人】

【識別番号】100177264

【弁理士】

【氏名又は名称】柳野 嘉秀

(74)【代理人】

【識別番号】100124925

【弁理士】

【氏名又は名称】森岡 則夫

(74)【代理人】

【識別番号】100141874

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 久由

(74)【代理人】

【識別番号】100143373

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 裕人

(72)【発明者】

【氏名】椹木 雅也

【審査官】 島▲崎▼ 純一

(56)【参考文献】

【文献】 特開平４−３１５０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平９−１９６９９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２５８４７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２３９３６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平８−１４６１０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第７０２３２１７（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２７／０２

Ｇ０１Ｒ ３５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

（ａ）第一検査点と第二検査点とが対になった複数の検査点対が、それぞれに設けられた複数の被測定基板のうち少なくとも一つの被測定基板に対して、前記複数の検査点対のうち一つを対象検査点対として選択する工程と、
（ｂ）前記対象検査点対を除く残余の検査点対の前記第一検査点と前記第二検査点との間に予め設定された測定用電流を流しつつ、前記対象検査点対である検査点対に対応して予め設定された一対の測定点間の電圧を測定し、その測定された電圧に基づく電圧を、前記対象検査点対として選択された検査点対に対応する補正用電圧として記憶部に記憶する工程と、
（ｃ）前記対象検査点対を、前記複数の検査点対のうちの他の検査点対から順次選択して前記（ｂ）工程を実行することによって、前記各検査点対に対応する補正用電圧を記憶部に記憶する工程と、
（ｄ）前記複数の被測定基板のうち、前記少なくとも一つの被測定基板とは別の前記被測定基板について、前記複数の検査点対の前記第一検査点と前記第二検査点との間に前記測定用電流をそれぞれ流す工程と、
（ｅ）前記各検査点対に対応する前記一対の測定点間に生じた電圧を、前記（ｄ）工程の実行期間中に、前記各検査点対に対応する測定電圧として測定する工程と、
（ｆ）前記各検査点対に対応する前記測定電圧から前記補正用電圧を減算することによって、補正電圧を算出する工程と、
（ｇ）前記補正電圧と前記測定用電流とに基づいて、前記各検査点対間の抵抗値を算出する工程とを含む抵抗測定方法。

【請求項2】

前記（ｂ）及び（ｄ）工程において、定電流回路を用いて前記第一検査点へ前記測定用電流を供給し、定電流回路を用いて前記第二検査点から前記測定用電流を引き込むことによって、前記第一検査点と前記第二検査点との間に前記測定用電流を流す請求項１記載の抵抗測定方法。

【請求項3】

前記検査点対のうち一方は、その検査点対に対応する一対の測定点のうちの一方の測定点であり、その検査点対のうち他方は、その一対の測定点のいずれとも異なる検査点である請求項１又は２に記載の抵抗測定方法。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか１項に記載の抵抗測定方法によって前記各検査点対間の抵抗値を算出する抵抗測定装置。

【請求項5】

請求項１〜３のいずれか１項に記載の抵抗測定方法によって算出された抵抗値に基づいて、前記被測定基板の検査を行う基板検査部を備える基板検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、抵抗を測定する抵抗測定方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、回路基板に形成された配線パターンなどに、電源部から測定電流を流し、配線パターンに生じた電圧を電圧検出部によって測定することによって、その電流値と電圧値とから配線パターンの抵抗値を測定する基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−１８４３７４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、一枚の回路基板に形成される配線パターン等の導電部の数は、数百〜数千に及ぶ場合がある。このような多数の配線パターンに対し、一つずつ順番に電流供給と電圧測定を行って抵抗測定しようとすると、すべての配線パターンの抵抗を測定するのに時間がかかる。そこで、電流供給を行う電源部と、電圧測定を行う電圧検出部とを複数対用いて、複数箇所の抵抗測定を並行して実行したいというニーズがある。

【0005】

図９は、複数対の電源部と電圧検出部とによって複数箇所の抵抗測定を並行して実行する場合の課題を説明するための説明図である。図９に示す被検査基板９００には、導電部９１１，９２１が形成されている。導電部９１１の一端は検査点９１２とされ、導電部９１１の他端は検査点９１３とされている。検査点９１２には電流供給部ＣＳ１が接続され、検査点９１３は回路グラウンドに接続されている。導電部９２１の一端は検査点９２２とされ、導電部９２１の他端は検査点９２３とされている。検査点９２２には電流供給部ＣＳ２が接続され、検査点９１３は回路グラウンドに接続されている。

【0006】

電圧検出部ＶＭ１は検査点９１２と検査点９１３との間の電圧Ｖ１を測定し、電圧検出部ＶＭ２は検査点９２２と検査点９２３との間の電圧Ｖ２を測定する。

【0007】

ここで、導電部９１１，９２１は分離されているとは限られず、図９に示すように、例えば検査点９１２と検査点９２２とが導通経路９３１を介して導通し、検査点９１３と検査点９２３とが導通経路９３２を介して導通している場合がある。このような場合に、電流供給部ＣＳ１から検査点９１２へ電流Ｉ１を供給すると、電流Ｉ１は、導電部９１１を流れる電流Ｉ１ａと導通経路９３１を流れる電流Ｉ１ｂとに分流する。電流供給部ＣＳ２から検査点９２２へ電流Ｉ２を供給すると、電流Ｉ２は、導電部９２１を流れる電流Ｉ２ａと導通経路９３１を流れる電流Ｉ２ｂとに分流する。

【0008】

もし導通経路９３１，９３２がなければ、導電部９１１の抵抗値はＶ１／Ｉ１ａで求められ、導電部９２１の抵抗値はＶ２／Ｉ２ａで求められる。しかしながら、導通経路９３１，９３２があると、導通経路９３１，９３２による電流の回り込みが発生するため、導電部９１１には電流Ｉ１ａ＋Ｉ２ｂが流れ、導電部９２１には電流Ｉ２ａ＋Ｉ１ｂが流れる。電流Ｉ１ａ，Ｉ１ｂ，Ｉ２ａ，Ｉ２ｂは不明であるため、この場合は導電部９１１，９２１の抵抗値を求めることができない。

【0009】

本発明の目的は、被測定基板に形成された複数の検査点に対し、並行して電流供給しつつ、各検査点間の抵抗を測定することが可能な抵抗測定方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る抵抗測定方法は、（ａ）第一検査点と第二検査点とが対になった複数の検査点対が、それぞれに設けられた複数の被測定基板のうち少なくとも一つの被測定基板に対して、前記複数の検査点対のうち一つを対象検査点対として選択する工程と、（ｂ）前記対象検査点対を除く残余の検査点対の前記第一検査点と前記第二検査点との間に予め設定された測定用電流を流しつつ、前記対象検査点対である検査点対に対応して予め設定された一対の測定点間の電圧を測定し、その測定された電圧に基づく電圧を、前記対象検査点対として選択された検査点対に対応する補正用電圧として記憶部に記憶する工程と、（ｃ）前記対象検査点対を、前記複数の検査点対のうちの他の検査点対から順次選択して前記（ｂ）工程を実行することによって、前記各検査点対に対応する補正用電圧を記憶部に記憶する工程と、（ｄ）前記複数の被測定基板のうち、前記少なくとも一つの被測定基板とは別の前記被測定基板について、前記複数の検査点対の前記第一検査点と前記第二検査点との間に前記測定用電流をそれぞれ流す工程と、（ｅ）前記各検査点対に対応する前記一対の測定点間に生じた電圧を、前記（ｄ）工程の実行期間中に、前記各検査点対に対応する測定電圧として測定する工程と、（ｆ）前記各検査点対に対応する前記測定電圧から前記補正用電圧を減算することによって、補正電圧を算出する工程と、（ｇ）前記補正電圧と前記測定用電流とに基づいて、前記各検査点対間の抵抗値を算出する工程とを含む。

【0011】

また、本発明に係る抵抗測定装置は、上述の抵抗測定方法によって前記各検査点対間の抵抗値を算出する。

【0012】

これらの構成によれば、工程（ｂ）によって、対象検査点対を除く残余の検査点対の第一検査点と第二検査点との間に測定用電流を流しつつ、対象検査点対である検査点対に対応する一対の測定点間の電圧が測定される。そして、その測定された電圧に基づく電圧が、対象検査点対として選択された検査点対に対応する補正用電圧として記憶部に記憶される。補正用電圧は、対象検査点対以外の検査点対に供給された測定用電流の回り込みによって、対象検査点対に対応する測定点対間に生じた電圧に相当する。工程（ｃ）によって、各検査点対に対応する補正用電圧が、それぞれ記憶部に記憶される。

【0013】

工程（ｄ）で、各検査点対に対して並行して測定用電流が流される。そして、工程（ｅ）で、各検査点対に対応する一対の測定点間に生じた電圧が、（ｄ）工程の実行期間中に、各検査点対に対応する測定電圧として測定される。従って、各検査点対に対して並行して測定用電流を流しつつ、各検査点対に対応する測定電圧を測定することができるので、測定時間を短縮することが容易である。

【0014】

さらに、工程（ｆ）で、各検査点対に対応する測定電圧から補正用電圧が減算されて補正電圧が算出される。補正電圧は、他の各検査点対からの回り込み電流により生じる電圧であるから、測定電圧から補正用電圧を減算することによって、回り込み電流の影響が排除される。そして、工程（ｇ）で、回り込み電流の影響が排除された補正電圧と、測定用電流とに基づいて各検査点対間の抵抗値が算出されるので、並行して電流供給することにより測定時間を短縮しつつ、回り込み電流の影響を排除することが可能となる。

【0015】

また、前記（ｂ）及び（ｄ）工程において、定電流回路を用いて前記第一検査点へ前記測定用電流を供給し、定電流回路を用いて前記第二検査点から前記測定用電流を引き込むことによって、前記第一検査点と前記第二検査点との間に前記測定用電流を流すことが好ましい。

【0016】

この構成によれば、第一検査点へ供給される電流値と、第二検査点から引き込まれる電流値とが略等しくされるので、第一検査点と第二検査点との間に、他の検査点対からの回り込み電流が流れるおそれが低減される。

【0017】

また、前記検査点対のうち一方は、その検査点対に対応する一対の測定点のうちの一方の測定点であり、その検査点対のうち他方は、その一対の測定点のいずれとも異なる検査点であることが好ましい。

【0018】

この構成によれば、検査点対のうち一方と測定点対のうち一方とが同じ検査点にされており、検査点対のうち他方と測定点対のうち他方とは異なっている。例えば、被測定基板が、金属板がコアレス基板の一面に密着したような中間基板であり、各検査点がコアレス基板を貫通する導電部によって金属板で短絡されている場合等、検査点対のうち他方と測定点対のうち他方とを異ならせることにより、その他方の測定点には測定用電流が流れない。その結果、測定点と共通する側の検査点に連なる導電部の抵抗値とほぼ近似の抵抗値を測定することが可能となる。

【0019】

また、本発明に係る基板検査装置は、上述の抵抗測定方法によって算出された抵抗値に基づいて、前記被測定基板の検査を行う基板検査部を備える。

【0020】

この構成によれば、並行して電流供給することにより抵抗測定時間を短縮しつつ、回り込み電流の影響を排除することができるので、被測定基板の検査精度を維持しつつ、検査時間を短縮することが容易となる。

【発明の効果】

【0021】

このような構成の抵抗測定方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置は、被測定基板に形成された複数の検査点に対し、並行して電流供給しつつ、各検査点間の抵抗を測定することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法を用いる基板検査装置の構成を概念的に示す模式図である。

【図2】図１に示す測定部の電気的構成の一例を示すブロック図である。

【図3】基板の抵抗測定を行う状態を概念的に示す説明図である。

【図4】図３に示す説明図を等価回路で示した回路図である。

【図5】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、補正用電圧の取得動作の一例を説明するためのフローチャートである。

【図6】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、補正用電圧の取得動作の一例を説明するためのフローチャートである。

【図7】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、抵抗測定動作及び検査動作の一例を説明するためのフローチャートである。

【図8】本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、抵抗測定動作及び検査動作の一例を説明するためのフローチャートである。

【図9】複数対の電源部と電圧検出部とによって複数箇所の抵抗測定を並行して実行する場合の課題を説明するための説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法を用いる基板検査装置１の構成を概念的に示す模式図である。図１に示す基板検査装置１は、測定対象となる基板Ｂ（被測定基板）の抵抗値に基づいて、基板Ｂを検査する。

【0024】

図１に示す基板検査装置１は、筐体１１２を有している。筐体１１２の内部空間には、基板固定装置１１０と、測定部１２１と、測定部１２２と、測定部移動機構１２５と、制御部２０と、操作部２１とが主に設けられている。基板固定装置１１０は、測定対象の基板Ｂを所定の位置に固定するように構成されている。

【0025】

測定部１２１は、基板固定装置１１０に固定された基板Ｂの上方に位置する。測定部１２２は、基板固定装置１１０に固定された基板Ｂの下方に位置する。測定部１２１，１２２は、基板Ｂに形成されたパッドにプローブＰｒを接触させるための測定治具４Ｕ，４Ｌを備えている。

【0026】

測定治具４Ｕ，４Ｌには、複数のプローブＰｒが取り付けられている。測定治具４Ｕ，４Ｌは、基板Ｂの表面に形成されたパッドの配置と対応するように複数のプローブＰｒを配置、保持する。測定部移動機構１２５は、制御部２０からの制御信号に応じて測定部１２１，１２２を筐体１１２内で適宜移動させ、測定治具４Ｕ，４ＬのプローブＰｒを基板Ｂの各検査点に接触させる。

【0027】

なお、基板検査装置１は、測定部１２１，１２２のうちいずれか一方のみを備えてもよい。そして、基板検査装置１は、いずれか一方の測定部によって、基板Ｂを表裏反転させてその両面の測定を行うようにしてもよい。

【0028】

基板Ｂは、例えばプリント配線基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、フィルムキャリア、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、コアレス基板、半導体基板、及びこれらの基板を製造する過程にある基板であってもよい。

【0029】

基板Ｂの表面には、パッド、電極、配線パターン等の導電部が形成されている。これら導電部のうち任意の箇所が、検査対象としてプローブＰｒが接触される検査点とされている。

【0030】

近年、支持体となるコア層を有しない、いわゆるコアレス基板が用いられている。コアレス基板の製造方法として、導電性の金属板（キャリア）を土台としてこの金属板の片面又は両面にビルドアップ層による配線層を積層する。このようにして積層形成された配線層を土台の金属板から剥離することによって、一枚又は二枚のコアレス基板を形成する方法がある。このような基板の製造方法において、土台の金属板からコアレス基板を剥離する前の状態の基板（以下、中間基板と称する）は、コアレス基板の一方の面に、金属板が密着した態様を有している。

【0031】

コアレス基板はコア層を有しないため、機械強度が弱い。そのため、コアレス基板が金属板で支持された状態のまま、コアレス基板に部品を実装することが行われている。部品を実装してしまうとコアレス基板を検査することができないので、中間基板の状態の基板Ｂに対して、基板検査が行われる。

【0032】

上述の中間基板が検査対象の基板Ｂである場合、コアレス基板の一方の面が金属板と密着しているので、その面に形成されたすべての導電部が金属板で短絡された状態で、反対側の面に形成された導電部相互間の抵抗値を測定することによって、基板Ｂの検査を行うことになる。

【0033】

図２は、図１に示す測定部１２１の電気的構成の一例を示すブロック図である。測定部１２２は、測定部１２１と同様に構成されているのでその説明を省略する。図３は、基板Ｂの抵抗測定を行う状態を概念的に示す説明図である。図３では、説明を簡単にするためスキャナ部３１の記載を省略している。

【0034】

図２に示す測定部１２１は、複数の測定ブロックＭ１，Ｍ２，Ｍ３、スキャナ部３１、及び複数のプローブＰｒを備えている。測定ブロックＭ１は電流供給部ＣＳ１、電流引込部ＣＭ１、及び電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ１ｂを備え、測定ブロックＭ２は電流供給部ＣＳ２、電流引込部ＣＭ２、及び電圧検出部ＶＭ２ａ，ＶＭ２ｂを備え、測定ブロックＭ３は電流供給部ＣＳ３、電流引込部ＣＭ３、及び電圧検出部ＶＭ３ａ，ＶＭ３ｂを備えている。

【0035】

以下、電流供給部ＣＳ１，ＣＳ２，ＣＳ３を総称して電流供給部ＣＳと称し、電流引込部ＣＭ１，ＣＭ２，ＣＭ３を総称して電流引込部ＣＭと称し、電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ１ｂ，ＶＭ２ａ，ＶＭ２ｂ，ＶＭ３ａ，ＶＭ３ｂを総称して電圧検出部ＶＭと称することがある。測定ブロックの数は、二ブロックであってもよく、四ブロック以上であってもよい。

【0036】

スキャナ部３１は、例えばトランジスタやリレースイッチ等のスイッチング素子を用いて構成された切り替え回路である。スキャナ部３１は、基板Ｂに抵抗測定用の電流を供給するための電流端子＋Ｆ，−Ｆと、電圧を検出するための電圧検出端子＋Ｓａ，−Ｓａ，＋Ｓｂ，−Ｓｂとを、各測定ブロックに対応して備えている。また、スキャナ部３１は、回路グラウンドに接続される接地端子Ｇを任意の個数備えている。スキャナ部３１には、複数のプローブＰｒが電気的に接続されている。スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて、電流端子＋Ｆ，−Ｆ、電圧検出端子＋Ｓａ，−Ｓａ，＋Ｓｂ，−Ｓｂ、及び接地端子Ｇと、複数のプローブＰｒとの間の接続関係を切り替える。

【0037】

電流供給部ＣＳは、その出力端子の一端が回路グラウンドに接続され、他端が電流端子＋Ｆに接続されている。電流供給部ＣＳは、制御部２０からの制御信号に応じて予め設定された供給電流Ｉo（測定電流）を電流端子＋Ｆへ供給する定電流回路である。

【0038】

電流引込部ＣＭは、その一端が電流端子−Ｆに接続され、他端が回路グラウンドに接続されている。電流引込部ＣＭは、制御部２０からの制御信号に応じて予め設定された引込電流Ｉｉ（測定電流）を電流端子−Ｆから回路グラウンドへ引き込む定電流回路である。

【0039】

各検査点の表面には、酸化により酸化膜が生じている場合がある。検査点の表面に酸化膜が生じると、プローブＰｒとの接触抵抗が増大するため抵抗測定の精度が低下する。このような酸化膜は、所定の酸化膜除去電流値以上の電流を流すことによって除去できる。酸化膜除去電流値は、例えば２０ｍＡである。プローブＰｒには、そのプローブを損傷させることなく流すことのできる電流値の上限値として定格電流値が定められている。プローブＰｒの定格電流値は、例えば４０ｍＡに満たない電流値であり、例えば３０ｍＡである。

【0040】

引込電流Ｉｉ及び供給電流Ｉo、即ち測定電流は、例えば２０ｍＡ以上、かつ３０ｍＡ以下に設定されている。これにより、プローブＰｒを損傷させることなく、かつ検査点の表面の酸化膜を除去して抵抗測定の精度を向上させるようになっている。

【0041】

各供給電流Ｉoと各引込電流Ｉｉとは、互いに略等しい電流値Ｉとされている。これにより、一対の電流供給部ＣＳと電流引込部ＣＭとによって、測定対象の導電部間に、予め設定された測定用電流Ｉを流すようになっている。各供給電流Ｉoと各引込電流Ｉｉとが互いに略等しい電流値Ｉとされていることによって、測定ブロックＭ１〜Ｍ３において、各導電部に流れる電流が均等化される。その結果、抵抗測定しようとする導電部に流れる電流のバラツキが減少し、抵抗測定精度が向上する。供給電流Ｉoと引込電流Ｉｉとの間には、電流供給部ＣＳ及び電流引込部ＣＭの電流精度誤差程度の差が生じている場合がある。

【0042】

電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ２ａ，ＶＭ３ａは、その一端が電圧検出端子＋Ｓａに接続され、他端が電圧検出端子−Ｓａに接続されている。電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ２ａ，ＶＭ３ａは、各測定ブロックの電圧検出端子＋Ｓａ，−Ｓａ間の電圧を測定し、その電圧値を制御部２０へ送信する電圧検出回路である。電圧検出部ＶＭ１ｂ，ＶＭ２ｂ，ＶＭ３ｂは、その一端が電圧検出端子＋Ｓｂに接続され、他端が電圧検出端子−Ｓｂに接続されている。電圧検出部ＶＭ１ｂ，ＶＭ２ｂ，ＶＭ３ｂは、各測定ブロックの電圧検出端子＋Ｓｂ，−Ｓｂ間の電圧を測定し、その電圧値を制御部２０へ送信する電圧検出回路である。

【0043】

スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて、接地端子Ｇ、測定ブロックＭ１〜Ｍ３の電流端子＋Ｆ，−Ｆ、及び電圧検出端子＋Ｓａ，−Ｓａ，＋Ｓｂ，−Ｓｂを、任意のプローブＰｒに導通接続可能にされている。これにより、スキャナ部３１は、制御部２０からの制御信号に応じて、プローブＰｒが接触している任意の検査点対間に電流を流し、任意の検査点対間に生じた電圧を電圧検出部ＶＭによって測定させ、任意の検査点を回路グラウンドに接続することが可能にされている。

【0044】

図３に示す基板Ｂは、金属板ＭＰの一方の面に基板ＷＢ１が形成され、金属板ＭＰの他方の面に基板ＷＢ１と同じ基板ＷＢ２が形成された中間基板の一例である。基板ＷＢ１，ＷＢ２は例えばコアレス基板である。

【0045】

基板ＷＢ１，ＷＢ２の基板面ＢＳ１には、パッドや配線パターン等の導電部ＰＡ１，ＰＢ１，・・・，ＰＺ１が形成されている。導電部ＰＡ１，ＰＢ１，・・・，ＰＺ１は検査点とされている。基板ＷＢ１，ＷＢ２の、金属板ＭＰとの接触面ＢＳ２には、パッドや配線パターン等の導電部ＰＡ２，ＰＢ２，・・・，ＰＺ２が形成されている。金属板ＭＰは、例えば厚さが１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の導電性を有する金属板である。

【0046】

接触面ＢＳ２は金属板ＭＰと密着しているので、導電部ＰＡ２，ＰＢ２，・・・，ＰＺ２は、金属板ＭＰを介して互いに導通している。

【0047】

導電部ＰＡ１〜ＰＺ１は、ビアや配線パターン等の接続部ＲＡ〜ＲＺによって導電部ＰＡ２〜ＰＺ２と電気的に接続されている。導電部ＰＡ２〜ＰＺ２が金属板ＭＰを介して互いに導通しているので、導電部ＰＡ１〜ＰＺ１もまた、接続部ＲＡ〜ＲＺと金属板ＭＰとを介して互いに導通している。

【0048】

図３では、基板Ｂを板厚方向に切断した断面で示している。図３では、便宜上、導電部ＰＡ１〜ＰＺ１及び導電部ＰＡ２〜ＰＺ２が一列に並んでいるように記載しているが、実際は、導電部ＰＡ１〜ＰＺ１，ＰＡ２〜ＰＺ２は、基板面ＢＳ１及び接触面ＢＳ２の二次元平面内に分散配置されており、抵抗測定時に各導電部間に流れる電流経路が互いに重複する場合がある。以下、導電部ＰＡ１〜ＰＺ１を総称して導電部Ｐと称する。

【0049】

図４は、図３に示す説明図を等価回路で示した回路図である。図４に示す等価回路では、金属板ＭＰを抵抗Ｒのネットワークで示している。

【0050】

制御部２０は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）と、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）と、所定の制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部２０４と、図略のタイマ回路、及びこれらの周辺回路等とを備えて構成されている。そして、制御部２０は、例えば記憶部２０４に記憶された制御プログラムを実行することにより、補正用電圧取得部２０１、抵抗測定部２０２、及び基板検査部２０３として機能する。

【0051】

操作部２１は、例えばキーボード、マウス、タッチパネルディスプレイ等の、操作入力装置である。操作部２１は、ユーザによる操作指示を受け付けて、その操作指示を制御部２０へ出力する。

【0052】

記憶部２０４には、所定の制御プログラムや、各検査点対間の抵抗値の基準値が予め記憶されている。

【0053】

補正用電圧取得部２０１は、下記の工程（ａ）〜（ｃ）を実行する。（ａ）工程では、補正用電圧取得部２０１は、第一検査点と第二検査点とが対になった複数の検査点対が、それぞれに設けられた複数の基板Ｂのうち少なくとも一つの基板Ｂに対して、複数の検査点対のうち一つを対象検査点対として選択する。

【0054】

以下の説明では、説明の便宜上、補正用電圧取得部２０１又は抵抗測定部２０２が電流供給部ＣＳ及び電流引込部ＣＭによって電流の供給、引込を実行させることを、単に補正用電圧取得部２０１又は抵抗測定部２０２が電流を流す、と記載し、補正用電圧取得部２０１又は抵抗測定部２０２が電圧検出部ＶＭによって電圧を測定させることを、単に補正用電圧取得部２０１又は抵抗測定部２０２が電圧を測定する、と記載することがある。

【0055】

例えば、図３、図４に記載の例では、導電部ＰＡ１，ＰＤ１，ＰＶ１が第一検査点の一例に相当し、導電部ＰＣ１，ＰＦ１，ＰＸ１が第二検査点の一例に相当し、導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、導電部ＰＶ１，ＰＸ１がそれぞれ検査点対の一例に相当し、導電部ＰＡ１，ＰＣ１が対象検査点対の一例に相当している。

【0056】

複数の基板Ｂ、とは、例えば基板Ｂの量産が予定されているなどして、基板Ｂが複数枚製造されることを意味する。必ずしも一箇所に同時に複数枚の基板Ｂが存在していなくてもよい。工程（ａ）〜（ｃ）における少なくとも一つの基板Ｂとしては、良品の基板Ｂ、あるいは良品であると推定される基板Ｂのサンプルを用いることが好ましい。

【0057】

（ｂ）工程では、補正用電圧取得部２０１は、対象検査点対を除く残余の検査点対の第一検査点と第二検査点との間、すなわち、導電部ＰＡ１，ＰＣ１を除く導電部ＰＤ１，ＰＦ１間と、導電部ＰＶ１，ＰＸ１間とに、電流供給部ＣＳ２，ＣＳ３と電流引込部ＣＭ２，ＣＭ３とによって測定用電流Ｉを流す。そしてこの測定用電流Ｉを流しつつ、対象検査点対である導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応して予め設定された一対の検査点である測定点対間に生じた電圧を補正用電圧として測定し、その補正用電圧を、対象検査点対として選択された導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する補正用電圧として記憶部２０４に記憶する。

【0058】

なお、補正用電圧が記憶される記憶部は、必ずしも基板検査装置に組み込まれている例に限らない。記憶部は、例えばメモリカードやＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等の記憶媒体であってもよく、装置外部に配設され、ネットワーク等を介してアクセス可能にされた記憶装置であってもよい。

【0059】

図３、図４に記載の例では、導電部ＰＡ１，ＰＢ１の一対と、導電部ＰＢ１，ＰＣ１の一対とが、それぞれ、導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応して設定された一対の測定点に相当している。導電部ＰＡ１，ＰＢ１間の電圧は電圧検出部ＶＭ１ａによって測定され、導電部ＰＢ１，ＰＣ１間の電圧は電圧検出部ＶＭ１ｂによって測定される。導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、導電部ＰＶ１，ＰＸ１の各検査点対に対応する測定点対は、予め設定されて記憶部２０４に記憶されている。

【0060】

（ｃ）工程では、補正用電圧取得部２０１は、対象検査点対を、複数の検査点対のうちの他の検査点対である導電部ＰＤ１，ＰＦ１、導電部ＰＶ１，ＰＸ１から順次選択して（ｂ）工程を実行することによって、各検査点対に対応する補正用電圧を記憶部２０４に記憶する。

【0061】

抵抗測定部２０２は、下記の工程（ｄ）〜（ｇ）を実行する。（ｄ）工程では、抵抗測定部２０２は、前記少なくとも一つの基板Ｂとは別の基板Ｂを測定対象として、複数の検査点対の第一検査点と第二検査点との間に測定用電流Ｉをそれぞれ流す。図３、図４の例によれば、すべての電流供給部ＣＳ１，ＣＳ２，ＣＳ３による電流供給と、すべての電流引込部ＣＭ１，ＣＭ２，ＣＭ３による電流引き込みとが、並行して実行される。

【0062】

別の基板Ｂとは、例えば基板Ｂの製造工程や、基板Ｂへの部品実装の前工程などで、検査しようとする対象の基板である。工程（ａ）〜（ｃ）の対象となった基板Ｂに対して工程（ｄ）〜（ｇ）を実行してもよいが、本発明の効果は、工程（ａ）〜（ｃ）の対象となった基板Ｂ以外の基板Ｂの抵抗値を測定する際に得られる。

【0063】

（ｄ）工程では、抵抗測定部２０２は、測定対象の基板Ｂについて、導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、及び導電部ＰＶ１，ＰＸ１の検査点対に測定用電流Ｉをそれぞれ流す。

【0064】

（ｅ）工程では、抵抗測定部２０２は、測定対象の基板Ｂについて、各検査点対である導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、及び導電部ＰＶ１，ＰＸ１に対応する各測定点対間に生じた電圧を、（ｄ）工程の実行期間中に、各検査点対に対応する測定電圧として測定する。

【0065】

（ｆ）工程では、抵抗測定部２０２は、各検査点対に対応する測定電圧と補正用電圧とに基づいて、補正電圧を算出する。

【0066】

（ｇ）工程では、抵抗測定部２０２は、補正電圧と測定用電流Ｉとに基づいて、各検査点対間の抵抗値を算出する。

【0067】

基板検査部２０３は、抵抗測定部２０２によって算出された各検査点対間の抵抗値に基づいて、基板Ｂの検査を実行する。

【0068】

次に、上述の基板検査装置１の動作について説明する。被測定基板が基板Ｂである場合を例に、測定部１２１を用いて基板部ＷＢ１の抵抗測定を行う抵抗測定方法について説明する。測定部１２２を用いて基板部ＷＢ２の抵抗測定を行う場合については、測定部１２１を用いて基板部ＷＢ１の抵抗測定を行う場合と同様であるのでその説明を省略する。

【0069】

図５、図６は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、補正用電圧の取得動作の一例を説明するためのフローチャートである。

【0070】

まず、ユーザが良品の基板Ｂを基板固定装置１１０に固定し、操作部２１を操作して補正用電圧の取得を指示する。そうすると、補正用電圧取得部２０１は、測定部移動機構１２５によって測定部１２１を移動させ、基板固定装置１１０に固定された基板Ｂの導電部Ｐに測定治具４ＵのプローブＰｒを接触させる（ステップＳ１）。図３に示す例では、いわゆる四端子測定法によって抵抗測定する場合を例示しており、電流供給用のプローブＰｒとは別に、電圧測定用のプローブＰｒが用いられている。

【0071】

なお、基板検査装置１は、四端子測定法によって抵抗測定を行う例に限られず、各導電部にプローブＰｒを一つずつ接触させ、一つのプローブＰｒで電流供給と電圧測定とを兼用する構成としてもよい。この場合、一対の検査点に対応する一対の測定点として、そのままその一対の検査点が用いられることになる。

【0072】

次に、補正用電圧取得部２０１は、導電部ＰＡ１，ＰＣ１を対象検査点対として選択する（ステップＳ２：工程（ａ））。補正用電圧取得部２０１は、電流供給部ＣＳ２，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ２，ＣＭ３によって、対象検査点対以外の検査点対である導電部ＰＤ１，ＰＦ１間と、導電部ＰＶ１，ＰＸ１間とに、それぞれ測定用電流Ｉを流させる。一方、補正用電圧取得部２０１は、電流供給部ＣＳ１及び電流引込部ＣＭ１からは、対象検査点対の導電部ＰＡ１，ＰＣ１には電流を流させない（ステップＳ３）。

【0073】

次に、補正用電圧取得部２０１は、電流供給部ＣＳ２，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ２，ＣＭ３による電流供給及び引き込みを開始させてから予め設定された設定待時間Ｔｗが経過した後（ステップＳ４でＹＥＳ）、導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する測定点対である導電部ＰＡ１，ＰＢ１と、導電部ＰＢ１，ＰＣ１とについて、導電部ＰＡ１，ＰＢ１間の電圧を電圧検出部ＶＭ１ａによって極性を含めて測定させ、導電部ＰＢ１，ＰＣ１間の電圧を電圧検出部ＶＭ１ｂによって極性を含めて測定させる（ステップＳ５）。

【0074】

導電部ＰＡ１〜ＰＺ１、接続部ＲＡ〜ＲＺ、及び金属板ＭＰには、浮遊容量が存在する。そのため、各電流供給部ＣＳからの電流供給開始直後は、その供給電流によって浮遊容量が充電され、測定点対間の電圧が充電に伴って徐々に上昇する。そのため、各電流供給部ＣＳからの電流供給開始直後に測定点対間の電圧を測定すると、充電過程の過渡的な電圧が測定される結果、補正用電圧の測定精度が低下する。

【0075】

そこで、補正用電圧取得部２０１は、ステップＳ４及び後述するステップＳ９，Ｓ１５において、導電部対への電流供給開始から設定待時間Ｔｗが経過するのを待って、電圧測定を実行する。設定待時間Ｔｗは、浮遊容量が充電されて測定点対間の電圧が安定するのに十分な時間、例えば１秒程度の時間が予め設定されている。

【0076】

次に、補正用電圧取得部２０１は、電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ１ｂの測定電圧を、対象検査点対である導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する補正用電圧Ｖｃ１ａ及び補正用電圧Ｖｃ１ｂとして記憶部２０４に記憶させる（ステップＳ６）。ステップＳ３〜Ｓ６は、工程（ｂ）の一例に相当している。

【0077】

以上、ステップＳ２〜Ｓ６によれば、導電部ＰＡ１，ＰＣ１以外の検査点対に対応するすべての電流供給部ＣＳ２，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ２，ＣＭ３により流れた電流によって導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する二対の測定点である導電部ＰＡ１，ＰＢ１及び導電部ＰＢ１，ＰＣ１に生じた電圧が、補正用電圧Ｖｃ１ａ及び補正用電圧Ｖｃ１ｂとして記憶部２０４に記憶される。

【0078】

補正用電圧Ｖｃ１ａ及び補正用電圧Ｖｃ１ｂは、電流供給部ＣＳ２，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ２，ＣＭ３に起因する回り込み電流によって生じた電圧に相当している。

【0079】

次に、補正用電圧取得部２０１は、導電部ＰＤ１，ＰＦ１を新たな対象検査点対として選択する（ステップＳ７）。以下、補正用電圧取得部２０１は、ステップＳ３〜Ｓ６と同様の処理を、導電部ＰＤ１，ＰＦ１を対象検査点対とすると共に、導電部ＰＤ１，ＰＥ１の対と、導電部ＰＥ１，ＰＦ１の対とを新たな測定点対として実行し、導電部ＰＤ１，ＰＦ１に対応する補正用電圧Ｖｃ２ａ及び補正用電圧Ｖｃ２ｂを記憶部２０４に記憶させる（ステップＳ８〜Ｓ１２）。

【0080】

以上、ステップＳ７〜Ｓ１２によれば、導電部ＰＤ１，ＰＦ１以外の検査点対に対応するすべての電流供給部ＣＳ１，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ１，ＣＭ３により流れた電流によって導電部ＰＤ１，ＰＦ１に対応する二対の測定点である導電部ＰＤ１，ＰＥ１及び導電部ＰＥ１，ＰＦ１に生じた電圧が、補正用電圧Ｖｃ２ａ及び補正用電圧Ｖｃ２ｂとして記憶部２０４に記憶される。

【0081】

補正用電圧Ｖｃ２ａ及び補正用電圧Ｖｃ２ｂは、電流供給部ＣＳ１，ＣＳ３及び電流引込部ＣＭ１，ＣＭ３に起因する回り込み電流によって生じた電圧に相当している。

【0082】

次に、補正用電圧取得部２０１は、導電部ＰＶ１，ＰＸ１を新たな対象検査点対として選択する（ステップＳ１３）。以下、補正用電圧取得部２０１は、ステップＳ３〜Ｓ６と同様の処理を、導電部ＰＶ１，ＰＸ１を対象検査点対とすると共に、導電部ＰＶ１，ＰＷ１の対と、導電部ＰＷ１，ＰＸ１の対とを新たな測定点対として実行し、導電部ＰＶ１，ＰＸ１に対応する補正用電圧Ｖｃ３ａ及び補正用電圧Ｖｃ３ｂを記憶部２０４に記憶させる（ステップＳ１４〜Ｓ１７）。ステップＳ８〜Ｓ１７は、工程（ｃ）の一例に相当している。

【0083】

以上、ステップＳ１３〜Ｓ１７によれば、導電部ＰＶ１，ＰＸ１以外の検査点対に対応するすべての電流供給部ＣＳ１，ＣＳ２及び電流引込部ＣＭ１，ＣＭ２により流れた電流によって導電部ＰＶ１，ＰＸ１に対応する二対の測定点である導電部ＰＶ１，ＰＷ１及び導電部ＰＷ１，ＰＸ１に生じた電圧が、補正用電圧Ｖｃ３ａ及び補正用電圧Ｖｃ３ｂとして記憶部２０４に記憶される。

【0084】

補正用電圧Ｖｃ３ａ及び補正用電圧Ｖｃ３ｂは、電流供給部ＣＳ１，ＣＳ２及び電流引込部ＣＭ１，ＣＭ２に起因する回り込み電流によって生じた電圧に相当している。

【0085】

以上、ステップＳ１〜Ｓ１７の処理によって、導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、及び導電部ＰＶ１，ＰＸ１の各検査点対に対応する補正用電圧Ｖｃ１ａ，Ｖｃ１ｂ、補正用電圧Ｖｃ２ａ，Ｖｃ２ｂ、及び補正用電圧Ｖｃ３ａ，Ｖｃ３ｂが記憶部２０４に記憶される。

【0086】

なお、ステップＳ１〜Ｓ１７を、一枚の基板Ｂに対して実行する例に限らない。例えば、ステップＳ１〜Ｓ５，Ｓ７〜Ｓ１１，Ｓ１３〜Ｓ１６を、複数枚の基板Ｂに対して実行し、ステップＳ６，Ｓ１２，Ｓ１７では、ステップＳ５，Ｓ１１，Ｓ１６で、複数枚の基板Ｂで測定された、複数枚分の測定値の平均値を、補正用電圧Ｖｃ１ａ，Ｖｃ１ｂ、補正用電圧Ｖｃ２ａ，Ｖｃ２ｂ、及び補正用電圧Ｖｃ３ａ，Ｖｃ３ｂとして記憶部２０４に記憶するようにしてもよい。

【0087】

これにより、複数枚の被測定基板から得られた補正用電圧が、記憶部に記憶されるので、基板の特性バラツキの影響が低減され、補正用電圧の精度が向上する。

【0088】

図７、図８は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定方法における、抵抗測定動作及び検査動作の一例を説明するためのフローチャートである。まず、ユーザが、抵抗測定を行おうとする基板Ｂを基板固定装置１１０に固定し、操作部２１を操作して抵抗値測定を指示する。そうすると、抵抗測定部２０２は、測定部移動機構１２５によって測定部１２１を移動させ、基板固定装置１１０に固定された基板Ｂの導電部Ｐに測定治具４ＵのプローブＰｒを接触させる（ステップＳ２１）。

【0089】

次に、抵抗測定部２０２は、各電流供給部ＣＳ及び各電流引込部ＣＭによって、導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、及び導電部ＰＶ１，ＰＸ１間に、それぞれ測定用電流Ｉを流させる（ステップＳ２２：工程（ｄ））。

【0090】

次に、抵抗測定部２０２は、各電流供給部ＣＳ及び各電流引込部ＣＭによる電流供給及び引き込みを開始させてから設定待時間Ｔｗが経過した後（ステップＳ２３でＹＥＳ）、導電部ＰＡ１，ＰＢ１間の電圧と導電部ＰＢ１，ＰＣ１間の電圧とを、電圧検出部ＶＭ１ａ，ＶＭ１ｂによって、測定電圧Ｖｓ１ａ，Ｖｓ１ｂとして極性を含めて測定させ（ステップＳ２４：工程（ｅ））、導電部ＰＤ１，ＰＥ１間の電圧と導電部ＰＥ１，ＰＦ１間の電圧とを、電圧検出部ＶＭ２ａ，ＶＭ２ｂによって、測定電圧Ｖｓ２ａ，Ｖｓ２ｂとして極性を含めて測定させ（ステップＳ２５：工程（ｅ））、導電部ＰＶ１，ＰＷ１間の電圧と導電部ＰＷ１，ＰＸ１間の電圧とを、電圧検出部ＶＭ３ａ，ＶＭ３ｂによって、測定電圧Ｖｓ３ａ，Ｖｓ３ｂとして極性を含めて測定させる（ステップＳ２６：工程（ｅ））。

【0091】

次に、抵抗測定部２０２は、記憶部２０４に記憶された補正用電圧Ｖｃ１ａ，Ｖｃ１ｂ，Ｖｃ２ａ，Ｖｃ２ｂ，Ｖｃ３ａ，Ｖｃ３ｂと、ステップＳ２４〜Ｓ２６で測定された測定電圧Ｖｓ１ａ，Ｖｓ１ｂ，Ｖｓ２ａ，Ｖｓ２ｂ，Ｖｓ３ａ，Ｖｓ３ｂとに基づいて、下記の式（１）〜（６）を用いて補正電圧Ｖ１ａ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ａ，Ｖ２ｂ，Ｖ３ａ，Ｖ３ｂを算出する（ステップＳ３１：（ｆ））。
補正電圧Ｖ１ａ＝Ｖｓ１ａ−Ｖｃ１ａ ・・・（１）
補正電圧Ｖ１ｂ＝Ｖｓ１ｂ−Ｖｃ１ｂ ・・・（２）
補正電圧Ｖ２ａ＝Ｖｓ２ａ−Ｖｃ２ａ ・・・（３）
補正電圧Ｖ２ｂ＝Ｖｓ２ｂ−Ｖｃ２ｂ ・・・（４）
補正電圧Ｖ３ａ＝Ｖｓ３ａ−Ｖｃ３ａ ・・・（５）
補正電圧Ｖ３ｂ＝Ｖｓ３ｂ−Ｖｃ３ｂ ・・・（６）

【0092】

次に、抵抗測定部２０２は、下記の式（７）〜（１２）に基づいて、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂを算出する（ステップＳ３２）。
抵抗値Ｒ１ａ＝Ｖ１ａ／ Ｉ ・・・（７）
抵抗値Ｒ１ｂ＝Ｖ１ｂ／ Ｉ ・・・（８）
抵抗値Ｒ２ａ＝Ｖ２ａ／ Ｉ ・・・（９）
抵抗値Ｒ２ｂ＝Ｖ２ｂ／ Ｉ ・・・（１０）
抵抗値Ｒ３ａ＝Ｖ３ａ／ Ｉ ・・・（１１）
抵抗値Ｒ３ｂ＝Ｖ３ｂ／ Ｉ ・・・（１２）

【0093】

以上、ステップＳ２１〜Ｓ３２の抵抗測定方法によれば、導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂと、導電部ＰＤ１，ＰＦ１に対応する抵抗値Ｒ２ａ，Ｒ２ｂと、導電部ＰＶ１，ＰＸ１に対応する抵抗値Ｒ３ａ，Ｒ３ｂとを算出することができる。

【0094】

ステップＳ２２によれば、測定ブロックＭ１，Ｍ２，Ｍ３によって、導電部ＰＡ１，ＰＣ１、導電部ＰＤ１，ＰＦ１、及び導電部ＰＶ１，ＰＸ１の各検査点対に対して、並行して測定用電流Ｉを流すことができるので、各検査点対に対して、個別に順次電流を流す場合と比べて処理時間を短縮することができる。

【0095】

各検査点対に対して個別に電流を流して順次測定する場合、検査点対を切り換える都度設定待時間Ｔｗが発生するため、処理時間が長くなる。一方、ステップＳ２２，Ｓ２３によれば、設定待時間Ｔｗによる充電時間待ちは一回でよいので、各検査点対に対して個別に電流を流して順次測定する場合と比べて処理時間の短縮効果が大きい。

【0096】

ステップＳ１〜Ｓ１７による補正用電圧の測定処理は、一枚又は所定枚数の基板Ｂで実行すればよく、その後の基板Ｂの抵抗測定は、ステップＳ２１〜Ｓ３２のみを実行すればよいので、抵抗測定対象の基板Ｂの枚数が増加するほど、処理時間の短縮効果が増大する。

【0097】

また、ステップＳ２２のように、各検査点対に対して並行して測定用電流Ｉを流す場合、抵抗測定しようとする検査点対間に、その検査点対とは別の検査点対に対応する電流供給部ＣＳ及び電流引込部ＣＭからの電流が回り込むおそれがある。このような電流の回り込みが生じると、その検査点対に流れる電流の電流値が、本来流そうとしている測定用電流Ｉとは異なる電流値になってしまう。この場合、オームの法則に基づき測定された電圧値を測定用電流Ｉで除算すると、実際に流れた電流値と異なる電流値で除算することになるため、算出された抵抗値に誤差が生じる。

【0098】

そこで、ステップＳ３１において、測定電圧から補正用電圧を減算して補正電圧を算出する。補正用電圧は、上述したように、回り込み電流で生じた電圧に相当しているから、測定電圧から補正用電圧を減算することによって、回り込み電流の影響を排除することができる。ステップＳ３２では、このようにして得られた補正電圧に基づいて抵抗値が算出されるので、抵抗値の測定精度を向上することができる。

【0099】

ステップＳ３，Ｓ８，Ｓ１４，Ｓ２２で、本来流そうとしている測定用電流Ｉの方向と、回り込みにより生じた電流の方向とが逆方向であった場合、回り込み電流は、測定電圧を低下させるように作用する。しかしながら、ステップＳ５，Ｓ１１，Ｓ１６において、補正用電圧（回り込み電流により生じた電圧）を、極性を含めて測定しているので、電流方向が逆であった場合には、補正用電圧がマイナスの値となる。その結果、ステップＳ３１において、回り込み電流が逆方向の場合はマイナスの補正用電圧を減算、すなわち補正用電圧の絶対値を加算することになる。その結果、回り込み電流が逆方向の場合であっても、ステップＳ３１において、回り込み電流の影響を排除することができる。

【0100】

すなわち、ステップＳ１〜Ｓ３２の抵抗測定方法によれば、複数の電源部から並行して電流供給しつつ、各検査点間の抵抗を測定することによって、抵抗測定精度の低下を抑制しつつ、抵抗測定時間を短縮することが可能となる。

【0101】

次に、基板検査部２０３は、基準値Ｒｅｆ（１ａ），Ｒｅｆ（１ｂ），Ｒｅｆ（２ａ），Ｒｅｆ（２ｂ），Ｒｅｆ（３ａ），Ｒｅｆ（３ｂ）に基づいて、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂの良否を判定する（ステップＳ３３）。基準値Ｒｅｆ（１ａ），Ｒｅｆ（１ｂ），Ｒｅｆ（２ａ），Ｒｅｆ（２ｂ），Ｒｅｆ（３ａ），Ｒｅｆ（３ｂ）は、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂの良否を判定するための基準値であり、予め記憶部２０４に記憶されている。

【0102】

例えば、基板検査部２０３は、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂと、基準値Ｒｅｆ（１ａ），Ｒｅｆ（１ｂ），Ｒｅｆ（２ａ），Ｒｅｆ（２ｂ），Ｒｅｆ（３ａ），Ｒｅｆ（３ｂ）とをそれぞれ比較し、その差が予め設定された許容範囲内であれば、その抵抗値は良好、許容範囲外であれば不良と判定する（ステップＳ３３）。

【0103】

そして、基板検査部２０３は、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂの全てが良好であれば（ステップＳ３４でＹＥＳ）検査対象の基板Ｂは良品と判定し（ステップＳ３５）、抵抗値Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂが一つでも不良であれば（ステップＳ３４でＮＯ）検査対象の基板Ｂは不良と判定し、処理を終了する。

【0104】

基板検査部２０３は、抵抗測定精度の低下を抑制しつつ、抵抗測定時間を短縮することが可能な抵抗測定方法によって得られた抵抗値に基づいて基板Ｂの検査を行うので、検査精度の低下を抑制しつつ、基板Ｂの検査時間を短縮することが可能となる。

【0105】

なお、図３、図４では、検査点対のうち一方は、その検査点対に対応する一対の測定点のうちの一方の測定点であり、その検査点対のうち他方は、その一対の測定点のいずれとも異なる検査点である例を示している。

【0106】

具体的には、例えば測定ブロックＭ１を例に説明すると、導電部ＰＡ１，ＰＣ１（検査点対）のうち一方の導電部ＰＡ１は、導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応する測定点対である導電部ＰＡ１，ＰＢ１のうち一方であり、導電部ＰＡ１，ＰＣ１のうち他方の導電部ＰＣ１は、その測定点対である導電部ＰＡ１，ＰＢ１とは異なる検査点である。また、導電部ＰＡ１，ＰＣ１（検査点対）のうち一方の導電部ＰＣ１は、導電部ＰＡ１，ＰＣ１に対応するもう一つの測定点対である導電部ＰＢ１，ＰＣ１のうち一方であり、導電部ＰＡ１，ＰＣ１のうち他方の導電部ＰＡ１は、その測定点対である導電部ＰＢ１，ＰＣ１とは異なる検査点である。

【0107】

このようにすると、測定点対である導電部ＰＡ１，ＰＢ１間の電圧を測定する電圧検出部ＶＭ１ａは、導電部ＰＡ１から、接続部ＲＡ、金属板ＭＰ、及び接続部ＲＢを介して導電部ＰＢ１に至る経路の両端電圧を測定することになる。ここで、接続部ＲＢは電流供給部ＣＳ１及び電流引込部ＣＭ１の電流経路から外れているので、電圧検出部ＶＭ１ａの測定電圧は、接続部ＲＡと金属板ＭＰの直列抵抗に生じた電圧となる。さらに、金属板ＭＰは面状導体であるため、接続部ＲＡより低抵抗になる可能性が高い。その結果、電圧検出部ＶＭ１ａの測定電圧を測定用電流Ｉで除して得られた抵抗値は、ほぼ、接続部ＲＡの抵抗値に近い。

【0108】

同様に、電圧検出部ＶＭ１ｂの測定電圧を測定用電流Ｉで除して得られた抵抗値は、ほぼ、接続部ＲＣの抵抗値に近い。

【0109】

このように、コアレス基板等の基板ＷＢ１の一方の面に導体板が密着された中間基板等を抵抗測定対象として、検査点対のうち一方を、その検査点対に対応する一対の測定点のうちの一方の測定点とし、その検査点対のうち他方を、その一対の測定点のいずれとも異なる検査点とした場合には、検査点と測定点とに共用される導電部ＲＡ１に連なる接続部ＲＡの抵抗値を電圧検出部ＶＭ１ａの測定電圧に基づき測定可能となり、検査点と測定点とに共用される導電部ＲＣ１に連なる接続部ＲＣの抵抗値を電圧検出部ＶＭ１ｂの測定電圧に基づき測定可能となる。

【0110】

なお、電圧検出部ＶＭ１ｂ，ＶＭ２ｂ，ＶＭ３ｂを備えない構成としてもよい。さらに、電圧検出部ＶＭ１ａによって導電部ＰＡ１，ＰＣ１間の電圧を測定させ、電圧検出部ＶＭ２ａによって導電部ＰＤ１，ＰＦ１間の電圧を測定させ、電圧検出部ＶＭ３ａによって導電部ＰＶ１，ＰＸ１間の電圧を測定させる構成としてもよい。

【0111】

また、電流引込部ＣＭ１，ＣＭ２，ＣＭ３を備えず、回路グラウンドに接続されたプローブＰｒを、導電部ＰＣ１，ＰＦ１，ＰＸ１に接触させる構成としてもよい。

【0112】

また、基板検査装置１は、基板検査部２０３を備えない抵抗測定装置として構成されていてもよい。また、上述の抵抗測定方法は、必ずしも一台の装置によって実行されるものに限らない。上述の抵抗測定方法は、複数の装置によって分担して実行されてもよい。例えば、ステップＳ１〜Ｓ１７（工程（ａ）〜（ｃ））と、ステップＳ２１〜Ｓ３２（工程（ｄ）〜（ｇ））とが、異なる装置によって実行されてもよい。

【符号の説明】

【0113】

１ 基板検査装置（抵抗測定装置）
４Ｕ，４Ｌ 測定治具
２０ 制御部
２１ 操作部
３１ スキャナ部
１１０ 基板固定装置
１１２ 筐体
１２１，１２２ 測定部
１２５ 測定部移動機構
２０１ 補正用電圧取得部
２０２ 抵抗測定部
２０３ 基板検査部
２０４ 記憶部
Ｂ 基板（被測定基板）
ＢＳ１ 基板面
ＢＳ２ 接触面
ＣＭ，ＣＭ１，ＣＭ２，ＣＭ３ 電流引込部
ＣＳ，ＣＳ１，ＣＳ２，ＣＳ３ 電流供給部
Ｇ 接地端子
Ｉ 測定用電流
Ｉｉ 引込電流
Ｉo 供給電流
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ 測定ブロック
ＭＰ 金属板
Ｐ，ＰＡ１〜ＰＺ１，ＰＡ２〜ＰＺ２ 導電部
ＰＡ１，ＰＤ１，ＰＶ１ 導電部（第一検査点）
ＰＣ１，ＰＦ１，ＰＸ１ 導電部（第二検査点）
Ｐｒ プローブ
Ｒ 抵抗
Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂ 抵抗値
ＲＡ〜ＲＺ 接続部
Ｒｅｆ 基準値
Ｔｗ 設定待時間
Ｖ１ａ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ａ，Ｖ２ｂ，Ｖ３ａ，Ｖ３ｂ 補正電圧
Ｖｃ１ａ，Ｖｃ１ｂ，Ｖｃ２ａ，Ｖｃ２ｂ，Ｖｃ３ａ，Ｖｃ３ｂ 補正用電圧
ＶＭ，ＶＭ１ａ，ＶＭ１ｂ，ＶＭ２ａ，ＶＭ２ｂ，ＶＭ３ａ，ＶＭ３ｂ 電圧検出部
Ｖｓ１ａ，Ｖｓ１ｂ，Ｖｓ２ａ，Ｖｓ２ｂ，Ｖｓ３ａ，Ｖｓ３ｂ 測定電圧
ＷＢ１，ＷＢ２ 基板部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】