特許6697558半導体ウェハをエピタキシャル被覆するための方法

発明の名称　半導体ウェハをエピタキシャル被覆するための方法

出願人　ジルトロニック　アクチエンゲゼルシャフト　（識別番号 599119503）

　　　　特許公開件数ランキング 1241 位（17件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1111 位（17件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6697558

公報発行日　2020年5月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6697558

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6697558「半導体ウェハをエピタキシャル被覆するための方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録